Diaphragm-Type Pressure Sensor with Cu-Ni Thin Film Strain Gauges-I: Development of Cu-Ni Thin Film Strain Gauges (Cu-Ni 박막 스트레인 게이지를 이용한 다이어프램식 압력 센서-I: Cu-Ni 박막 스트레인 게이지 개발)
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- Electrical & Electronic Materials
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- v.10 no.9
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- pp.938-944
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- 1997