A study on the characteristics of MEM structure of $SrBi_2Ta_2O_9$ thin films by RE magnetron sputtering
(RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 MFM 구조의 $SrBi_2Ta_2O_9$ 박막 특성에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Vacuum Society
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- v.9 no.2
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- pp.136-143
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- 2000