The use electron-beam(E-beam) manufacturing system provides a means to alleviate optic exposure equipment's problems. We are developing an E-beam manufacturing system with scanning electron microscope(SEM) function. The E-beam manufacturing system consist of high voltage generator, beam blanker, condenser lenses, object lenses, stigmator and stage. The development of E-beam manufacturing system is used on the method of remaking SEM's structure. The functions of SEM are developed. It is important for the test of E-beam performance. In E-beam manufacturing system and SEM, beam focus is important function. In this paper, we propose intelligent remote control function for beam focus in E-beam manufacturing system. The function extends the user's function and gives convenience.
피에조소자를 구동하여 자동카메라의 초점을 자동으로 제어하는 시스템에서 피에조를 구동하는 집적회로를 설계하였다. 가공된 피에조에 변위를 만들기 위해서는 고전압 DC가 필요하다. 휴대형기기에서 사용하는 3[V]~4.2[V]정도의 낮은 전원전압을 약 80[V]로 승압하여 피에조 구동전압으로 제공하는 한편 입력되는 1[Vp-p]의 제어신호를 -20[V]에서 +80[V]까지 조절되도록 설계하였다. 또한 IC 외부에 적용되는 소자가 최소가 되도록 하여 시스템의 전체 크기를 줄일 수 있도록 하였다. 제어용 프로세서로 IIC(Inter-IC) 인터페이스를 적용하기 위하여 구동회로 내부에 IIC 인터페이스 디지털 로직을 내장하였는데, 이는 제품의 검증, 양산시 양품판정을 쉽게 해주는 장점이 있다. 제작공정은 AMIS 사의 I2T100 2P_3M 공정을 사용하였는데 0.6[um], 100[V]급 BCD공정이며, 6INCH 웨이퍼를 사용하였다. 전원전압 3.6[V], 소비전력은 약 40[mW]정도이다. 칩 사이즈는 1600*1500 [$um^2$]이며, 칩을 소형패키지에 내장하여 조립하였기 때문에 휴대형기기에 적용이 편리하게 되어있다.
실리카와 폴리메틸실세스퀴옥세인(polymethylsilsesquioxane, PMSQ)은 화장품 원료로 널리 쓰이는 실리콘 분체이다. 본 연구팀은 각각 실리카와 PMSQ의 전구체로서 테트라에톡시실란(tetraethyoxysilane, TEOS)과 메틸트라이메톡시실란(methyltrimethoxysilane, MTMS)을 사용하여 졸-겔 법(sol-gel method)을 통해 실리카-PMSQ 복합분체를 합성하였다. 또한, 합성에 사용된 실란 단량체인 TEOS와 MTMS의 단순한 비율 조절만으로 복합분체의 형태 제어에 성공하였다. 실리카-PMSQ 복합분체는 구형, 라즈베리형, 도넛형, 총 3가지 형태를 띠었고, 공통적으로 사용감이 부드럽고 수분산에 용이하며 소프트 포커스 효과를 나타내었다. 복합분체의 형태에 따라서 사용감과 밀착력, 소프트 포커스 효과의 강도에 차이가 있었다. 라즈베리형 복합분체는 가장 강한 소프트 포커스 효과를 보였고, 도넛형 복합분체는 가장 강한 밀착력을 보였으며, 구형 복합분체는 가장 부드러운 사용감을 보였다. 본 연구 결과를 바탕으로, 실리카-PMSQ 복합분체를 원하는 형태로 간편하게 합성할 수 있을 것이다. 더 나아가, 목적에 맞는 복합분체를 선택하여 화장품에 적용할 수 있을 것이다.
Objective : The purpose of study is to define the term Dong(動) in diagnosis view. Method : To define term Dong(動), I refer to Korean, Chinese, Japanese dictionary and Todo Yoshimasu (吉益東洞)'s writing, Yakucho(藥徵) Houkyoku(方極). Next, I search for the diagnosis definition of Dong(動) in 11 case reports. Results : The diagnosis definitions of Dong(動) are two meanings. One is objective symptoms which are doctor can examine, trembling, movement, etc. The other is subjective symptoms which are patient's feeling, emotional problems, etc. It seperates 6 meanings concretely. Conclusions: (1) visible moving of a focus, (2) movement of a focus, (3) appearance of abnormal secretion, (4) abnormal change of focus, (5) feel like moving, (6) change of emotion beyond patient's control. 1~4 are objective symptoms which are doctor can examine, and 5~6 are subjective symptoms which are patient's feeling.
We propose a new-focusing method for test handlers of compact camera module (CCM), The MMD (max-min difference) method is applied to calculate the focus value quickly considering the noisy output of CCM. Also, the fuzzy search method is applied to find the maximum focus value effectively. We design a fuzzy processor to control the lens position by focus values and brightness values, which improves the focusing performance in the sense of speed and processor memory. The proposed method is implemented by program and installed at the CCM test handler machines. The simulation results are presented to verify the usefulness of the proposed method.
Recently image display devices have become large and high quality. To control the qualities of the component, measurements of the shape and thickness of a plate glass has been required. In order to measure the shape of the specular objects, Non-Contact Optical Sensor using Hologram laser unit was proposed. The sensor has a optical system that is composed of a Hologram laser and objective lens used for CD Player, and the sensor showed high performance for measuring the shape and thickness of transparent plates. In the sensor, the temperature of the sensor body is controlled by TEC(Thermoelectric Cooler). In this paper, we proposed the measuring method to make better performance of sensor using focus error signal of a hologram laser unit. It can measure the shape and the thickness of transparent objects with the s-type focus error signal which is generated by the sensor while it goes to the object.
International Journal of Aerospace System Engineering
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제5권2호
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pp.8-15
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2018
For small earth observation satellites, alignment between the optical components is important for precise observation. However, satellite cameras are structurally subject to misalignment in the launch environment where vibration excitations and impacts apply, and in space environments where zero gravity, vacuum, radiant heat and degassing occur. All of these variables can cause misalignment among the optical components. The misalignment among optical components results in degradation of image quality, and a re-alignment process is needed to compensate for the misalignment. This process of re-alignment between optical components is referred to as a refocusing process. In this paper, we proposed a 3 - axis focusing mechanism to perform the refocusing process. This mechanism is attached to the back of the secondary mirror and consists of three piezoelectric inertia-friction actuators to compensate the x-axis, y-axis tilt, and de-space through three-axis motion. The fabricated focus mechanism demonstrated excellent servo performance by experimenting with PD servo control.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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