• 제목/요약/키워드: flexible substrates

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플랙시블 기판 위에서 제작된 단일 ZnO 나노선 inverter 논리 소자 (Single ZnO Nanowire Inverter Logic Circuits on Flexible Plastic Substrates)

  • 강정민;이명원;구상모;홍완식;김상식
    • 전기학회논문지
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    • 제59권2호
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    • pp.359-362
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    • 2010
  • In this study, inverter logic circuits on a plastic substrate are built with two top-gate FETs in series on a single ZnO nanowire. The voltage transfer characteristics of the ZnO nanowire-based inverter logic circuit exhibit a clear inverting operation. The logic swing, gain and transition width of the inverter logic circuit is about 90 %, 1.03 and 1.2 V, respectively. The result of mechanical bending cycles of the inverter logic circuit on a plastic substrate shows that the stable performance is maintained even after many hundreds of bending cycles.

디스플레이용 플라스틱 기판의 전망 (Plastic Substrates for Flexible Display)

  • 김기현;송윤호
    • 전자통신동향분석
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    • 제23권5호
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    • pp.111-123
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    • 2008
  • 플렉시블 기판은 플렉시블 디스플레이의 공정성, 성능, 신뢰성, 가격을 결정하는 가장 중요한 부품으로서 산업적인 주목을 받고 있다. 플렉시블 기판 중에서는 플라스틱이 가공의 용이성, 저중량, 연속공정의 적합성으로 인해 적용이 광범위하게 검토되고 있지만, 광학용 기판으로서는 많은 소재적/공정적 문제점을 안고 있다. 이를 해결하기 위해 플라스틱 기판의 특성(주로 열적 안정성)을 향상시키거나, 플라스틱 기판에 적합한 저온 형성용 유/무기 소재 및 공정을 개발하는 연구가 많이 진행되고 있으나, 수요 업체의 요구수준에는 미치지 못하고 있다. 본 자료에서는 디스플레이용 기판으로서 플라스틱의 문제점을 살펴보고 이를 개선하기 위한 최근의 소재 및 수요 업체의 동향을 알아 본다.

Langmuir-Blodgett 법을 이용한 P(VDF-TrFE) 박막 트랜지스터 (P(VDF-TrFE) Thin Film Transistors using Langmuir-Blodgett Method)

  • 김광호
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제19권2호
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    • pp.72-76
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    • 2020
  • The author demonstrated organic ferroelectric thin-film transistors with ferroelectric materials of P(VDF-TrFE) and an amorphous oxide semiconducting In-Ga-Zn-O channel on the silicon substrates. The organic ferroelectric layers were deposited on an oxide semiconductor layer by Langmuir-Blodgett method and then annealed at 128℃ for 30min. The carrier mobility and current on/off ratio of the memory transistors showed 9 ㎠V-1s-1 and 6 orders of magnitude, respectively. We can conclude from the obtained results that proposed memory transistors were quite suitable to realize flexible and werable electronic applications.

유기기판위에 PEDOT: PSS 중간층에 의한 ITO 유연성 개선 (Improvement of ITO brittleness by PEDOT: PSS buffer layer on flexible substrates)

  • 임경아;김종국;강재욱;김창수;좌성훈;은경태;김도근
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2011년도 춘계학술대회 및 Fine pattern PCB 표면 처리 기술 워크샵
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    • pp.106-107
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    • 2011
  • Organic Light Emitting Diode(OLED), Optical Photovotaic Device(OPV)와 같은 유기소자에서 전극으로 적용되어지고 있는 Indium Tin Oxide (ITO) 박막의 유연성을 향상시키기 위하여 중간층으로 투명도(~80%)와 전도도(~1000 S/cm)가 우수한 PEDOT:PSS(PH1000)을 적용하였다. PEDOT:PSS(PH1000)의 적용으로 인하여 ITO 박막의 유연성이 현저히 개선됨과 동시에 PEDOT:PSS(PH1000)의 우수한 전도도로 인하여 보다 얇은 ITO의 두께에서도 우수한 면 저항(25 ${\Omega}/{\square}$ ~ 220 ${\Omega}/{\square}$) 및 비저항(3.75E-4 ${\Omega}{\cdot}cm$ ~ 4.40E-4 ${\Omega}{\cdot}cm$)의 값을 측정하였다.

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연성기판에 증착한 투명전도막의 제작 (Preparation of thransparent conductive film using flexible substrates)

  • 조범진;금민종;김경환
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 학술대회 및 기술세미나 논문집 디스플레이 광소자
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    • pp.39-40
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    • 2006
  • We prepared ZnO:Al (AZO) thin films on polycarbonate (Pc) and polyethersulfon (PES). Because the polymer substrate has weak thermal resistance. The AZO thin films were deposited at room temperature by facing targets sputtering (FTS) method In the work, AZO thin films were deposited with different thickness in 1mTorr and $O_2$ gas flow rate 0.05. The electrical, optical and crystallographic properties were measured From the results, the resistivity of $7.3{\times}10^{-4}{\Omega}cm$ and transmittance of over 80% in visible range were obtained.

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고분자 기판 상에 제작된 극저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터에 관한 연구 (Fabrication of Ultra Low Temperature Poly crystalline Silicon Thin-Film Transistors on a Plastic Substrate)

  • 김영훈;김원근;문대규;한정인
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2005년도 하계학술대회 논문집 Vol.6
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    • pp.445-446
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    • 2005
  • This letter reports the fabrication of polycrystalline silicon thin-film transistors (poly-Si TFT) on flexible plastic substrates using amorphous silicon (a-Si) precursor films by sputter deposition. The a-Si films were deposited with mixture gas of argon and helium to minimize the argon incorporation into the film. The precursor films were then laser crystallized using XeCl excimer laser irradiation and a four-mask-processed poly-Si TFTs were fabricated with fully self-aligned top gate structure.

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엑시머 레이저를 이용한 저온 다결정 실리콘 박막 트랜지스터의 특성 (Characteristics of low temperature poly-Si thin film transistor using excimer laser annealing)

  • 강수희;김영훈;한진우;서대식;한정인
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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    • 한국전기전자재료학회 2006년도 하계학술대회 논문집 Vol.7
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    • pp.430-431
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    • 2006
  • This letter reports the fabrication of polycrystalline silicon thin-film transistors (poly-Si TFT) on flexible plastic substrates using amorphous silicon (a-Si) precursor films by sputter deposition. The a-Si films were deposited with mixture gas of argon and helium to minimize the argon incorporation into the film. The precursor films were then laser crystallized using XeCl excimer laser irradiation and a four-mask-processed poly-Si TFTs were fabricated with fully self-aligned top gate structure.

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Molecular Layer Deposition of Organic/Inorganic Nanohybrid Dielectrics for OTFTs

  • 이병훈;이광현;임성일;성명모
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2009년도 제38회 동계학술대회 초록집
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    • pp.56-56
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    • 2010
  • We report a low-temperature fabrication of organic/inorganic nanohybrid dielectrics for organic thin film transistors. The self-assembled organic layers (SAOLs) were grown by repeated sequential adsorptions of C=C-terminated alkylsilane and metal (Al or Ti) hydroxyl with ozone activation, which was called "molecular layer deposition (MLD)". The $TiO_2$ and $Al_2O_3$ inorganic layers were grown by ALD, which relies on sequential saturated surface reactions resulting in the formation of a monolayer in each sequence and is a potentially powerful method for preparing high quality multicomponent superlattices. The MLD method combined with ALD (MLD-ALD) was applied to fabricate SAOLs-$Al_2O_3$-SAOLs-$TiO_2$ nanohybrid superlattices on polymer substrates at relatively low temperature. The MLD method is an ideal fabrication technique for various flexible electronic devices.

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유연성 소자 적용을 위한 전처리 조건에 따른 $SiO_xN_y$ 보호막 특성 평가 (Properties of $SiO_xN_y$ thin films prepared on ion beam pretreated plastic substrates for flexible devices)

  • 정유정;김도근;김종국;이건환
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
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    • 한국표면공학회 2007년도 춘계학술발표회 초록집
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    • pp.159-160
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    • 2007
  • 본 연구에서는 Si 타겟과 반응성 마그네트론 스퍼터링법을 적용하여 $SiO_xN_y$ 박막을 PET 필름상에 증착하였다. PET 필름상에 밀착력 증진 및 기판 표면 거칠기 제어를 위해 이온빔을 이용한 플라즈마 전처리를 수행하였다. 플라즈마 전처리 조건과 질소 가스 유량비에 따른 $SiO_xN_y$ 박막의 광학적 특성과 수분의 투습성에 대한 영향을 관찰하였다. 광학적 투과율은 전처리 및 조성비에 관계없이 95% 이상의 높은 광투과율을 보여주었다. 수분에 대한 투습 특성은 플라즈마 전처리 조건에 따라 다소 향상됨을 확인하였고, 질소 유량비가 증가함에 따라 투습 특성이 향상되었다.

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10 ${\mu}m$ 폴리이미드 기판에 성막된 플렉시블 투명 전도막용 Nitrocellulose/MWCNT 복합체의 제작 및 특성 (The Properties of the Nitrocellulose/MWCNT Composites Fabricated on the 10 ${\mu}m$ Polyimide Film for the Flexible Transparent Conduction Film)

  • 장경욱
    • 반도체디스플레이기술학회지
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    • 제9권2호
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    • pp.117-121
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    • 2010
  • The composite films were fabricated by air-spray method under the 2 kgf/$cm^2$ pressure using the multi-walled CNTs solution and the nitrocellulose on a 10 ${\mu}m$ polyimide film substrates. We obtained the composite films which were sprayed with the MWCNT dispersion by varying the spray time from 20, 40 and 60sec. The electrical and the optical properties of the sandwiched-structure-composite thin films were investigated by an UV/VIS spectrometer and a Hall Effect equipment. As a result, the optical transmittance of all thin films in the visible range, as well as the electrical conductance shows an available value for the transparent electrode. The carrier concentration and the light transmittance rate for the fabricated sample are between $3.733{\times}10^{10}$ and $6.551{\times}10^{14}cm^{-3}$, around 35 to 95%, respectively.