TFT 제조 방법 중 LTPS (Low Temperature Polycrystalline Silicon)는 저온과 저비용 등의 이점으로 인하여 flat panel display 제작에 널리 사용된다. 이동도와 전류 점멸비 등에서 이점을 가지는 ELA(Excimer Laser Annealing)가 널리 사용되고 있지만, 이 방법은 uniformity 등의 문제점을 가지고 있다. 이를 극복하기 위한 방법으로 MICC(Metal Induced Capping Crystallization)이 사용되고 있다. 이 방법은 $SiN_x$, $SiO_2$, SiON등의 capping layer를 diffusion barrier로 위치시키고, Ni 등의 금속을 capping layer에 도핑 한 뒤, 다시 한번 열처리를 통하여 a-Si에 Ni을 확산시키킨다. a-Si 층에 도달한 Ni들이 seed로 작용하여 Grain size가 매우 큰 film을 제작할 수 있다. 채널의 grain size가 클 경우 grain boundary에 의한 캐리어 scattering을 줄일 수 있기 때문에 MIC 방법을 사용하였음에도 ELA에 버금가는 소자의 성능과 안정성을 얻을 수있었다. 본 연구에서는 large grain TFT의 Gate bias stress에 따른 소자의 안정성 측정 및 분석에 목표를 두었다.
Honeycomb structure has been fabricated by brazing method using 0.1 wt%C and 1.0wt%C carbon steel core and STS304 stainless steel face sheet. Core shear strength ratio in W and L directions was 1:1.03 in 7 mm cell size, whereas 1:1.45 in 4 mm cell size. Flexural strength on face sheet was 166.4 MPa (0.1 wt%C, W direction), 171.1 MPa (0.1 wt%C, L direction), and 120.2 MPa (1.0 wt%C, W direction) in 7 mm cell size. And in 4mm cell size specimen, it was 169.2 MPa (0.1 wt%C, W direction), 224.2 MPa (0.1 wt%C, L direction). This means that flexural strength of 0.1 wt%C core material was higher than that of 1.0wt%C core material, which was contrary to expectation. SEM and EDS analysis represented that grain boundary diffusion had occurred in0.1 wt%C core, but no grain boundary diffusion in 1.0 wt%C core. And corrugated surface of 0.1 wt%C core was flat, whereas that of 1.0 wt%C core was not flat. As a result, contact area between two 1.0 wt%C cores was much less than that of 0.1 wt% cores, It is thought to be main reason for lower flexural strength of 1.0 wt%C core.
우리나라서해안의 곰소만 조간대에서 조간대 퇴적층의 형성 및 보존과정을 규명하기 위해 지형, 퇴적물의 입도, 집적률 등의 계절적 변화를 조사하였다. 조간대를 횡단하는 측선에 대해 계절별로 수준측량한 결과, 겨울과 태풍 때 중부 조간대의 조간대사주(intertidal sand shoal)와 상부 조간대의 쉐니어(chenier)가 육지방향으로 크게 이동하였고, 특히 태풍 때에는 중 하부 조간대가 광범위하게 침식되었다. 그러나 여름에는 조간대사주와 쉐니어의 이동이 제한되었고, 중부 조간대의 상부역과 상부 조간대에 펄이 퇴적되었다. 퇴적물의 계절적 입도변화는 주로 중부 조간대의 상부역에서 크게 나타났으며, 대체로 5.5 ${\phi}$에서 모드를 갖는 펄질 퇴적물의 집적(여름)과 침식(겨울, 태풍)에 의해 야기되었다. 해저면에서 기준면까지의 깊이를 2 개월 간격으로 측정한 결과, 상부 조간대에서는 연중 지속적으로 퇴적이 이루어지고 겨울보다 여름에 집적률이 높은 반면, 중부 조간대에서는 여름보다 겨울에 퇴적이 우세하고 태풍 때 간헐적으로 침식되는 특징을 보였다. 그리고 하부 조간대는 주로 겨울에 퇴적되었고 여름과 태풍 때 침식되었다. 캔코아를 통해 퇴적층의 보존모습을 분석한 결과, 위의 계절변화 양상이 대체로 코아의 상부층에만 제한적으로 보존되었고, 하부층으로 갈수록 폭풍 퇴적층의 출현빈도가 증가하였다. 이상의 결과들에 기초하여 볼 때, 곰소만 조간대층의 많은 부분이 겨울 폭풍 또는 간헐적 태풍에 의해 재구성된 폭풍 퇴적층일 가능성이 높은 것으로 판단된다.
This study was carried out to investigate the effect of grain and veneer thickness on drying rate, required energy consumption, and drying defects such as checking, end waving, and burning during a far-infrared radiation drying process of decorative veneers of hard maple and beech. Most of the veneer could be dried from green to in-use moisture content within 30 to 360 seconds. The drying rates were significantly affected by veneer thickness, but there was little difference between edge-and flat-sliced veneers. The formation of checking during drying test was none or very slight. The percentages of the veneers defected by checks were higher in the flat-sliced veneers than in the edge-sliced veneers. The maximum end wavinesses in the flat-sliced veneers were almost 1.6 to 3 times larger than that in the edge-sliced veneers. All veneers were fee from burned marks during drying test.
Landsat TM 위성영상을 이용하여 전라북도 줄포만 간석지의 미지형을 무감독분류의 ISODATA 기법으로서 분석한 결과 mudflat, mixed flat, sandflat 의 3지형으로 분류되었다. 각각의 미지형들은 퇴적물 입도와 지형에 있어서 상이한 특성을 나타내었으며, mudflat은 내만쪽에 위치하고 snadflat은 만의 입구 그리고 mixedflat은 그 사이에 각각 분포하였다. 각 지역의 지형특성으로는 2m 내외의 갯골이 평탄면 사이에 분포하는 mudflat과 평균기복이 10cm 이하로서 아주 평탄한 지형으로 물결무늬가 발달한 sandflat 그리고 이 양자의 중간형태를 취하는 mixedflat 으로 구분되었다. 아울러 Landsat TM의 7개의 밴드중에서 밴드 5와 7이 간석지의 미지형분류, 밴드4는 육지와 간석지의 분류 그리고 밴드 3은 해면과 간석지의 분류에 각각 효율적임이 밝혀졌다.
The costal area where takes up over 32% in domestic teritory is considered as very importantly because it has not only economic facilities such as harbor and an industrial complex but also recreation facilities. Moreover, the tidal flat area has been used as culture ponds and salt farms because this area is occupied by various oceanic species. Also, the tidal flat area has played an important role to purify ocean pollution and maintain an ecosystem. However, the costal ecosystem has seriously threatened by domestic reclamation projects and a large-scale tide embankment during recent 10 years in Korea. This serious problem results in loosing 34%(810$km^2$) of the entire domestic costal area. In this paper, the micro-landform in the tidal flat area, which is called as Garolim bay in Korea, is classified by using Landsat TM images also verified through a filed report. Through the result of this, the tidal flat area is expected to manage efficiently especially through analyzing sediment environment and characteristic of grain size by using satellite images.
The shrinkage rate of solid state sintering has been theoretically derived by combining the rate equation of material transport and the net free energy change resulting from the decrease of solid-vapor interface and the increase of grain boundary during sintering. For a sinteing model an idealized situation of the spherical particles with BCC packing was taken as the initial condition and the shrinkage was assumed to occur by forming the flat circualr grain boundaries on each particle. The plotted shrinkage rates as a function of grain boundary to surface energy ratio $(gamma_g/gamma_s)$ have shown that the relative density increases linearly at the initial stage of sintering but the shrinkage rate is decreased upon further sintering due to a decrease in driving force for densificaton. It has been also shown that the densification is critically affected by the $gamma_g/gamma_s$ ratio. In order to get the complete densificatin the ratio should be less than $sqrt{3}$. Any additive or atmospheric condition causing the decrease of$_g/gamma_s$ ratio will enhance sintering.
최근 FPD (Flat Pannel Display) 시장이 커짐에 따라 고효율, 저비용 제작 공정이 화두로 떠오르고 있다. ELA (Excimer Laser Annenling)을 이용한 LTPS (Low Temperature Poly Silicon) 공정은 mobility와 전류 점멸비 등에서 장점을 가지지만, 고비용, 대면적과 short-range에서 uniformity가 어렵다는 단점이 있다. 이를 극복하기 위한 방법으로 dLTA (diode Laser Thermal Annealing) 공정에 대한 연구가 진행되고 있다. 본 연구에서는 Flexible Display을 만들기 위한 방법으로 dLTA 공정을 진행하였다. 이 방법은 PI (Poly imide) 기판 위에 a-Si을 ICP CVD로 증착시킨 후, Diode Laser (980 nm)를 이용한 annealing을 통하여 a-Si이 poly-Si으로 결정화가 되는 것을 확인하였고, 에너지 조사량에 따른 grain boundary와 grain size을 통하여 비교 분석하였다. 실험 결과 ELA 공정을 이용한 것과 버금가는 실험 결과를 얻을 수 있었다.
반폐쇄성 만인 여자만 조간대 퇴적물의 물성 및 집적률의 시공간적 분포 및 변화를 밝히고자 조간대 표층퇴적물을 분석하였다. 연중 관측결과 각 측선별 월별 입도조성 변화는 뚜렷하게 나타나지 않았으나 퇴적물 조성에서 점토가 약 $40\~70\%$로서 매우 두드러지게 나타났다. 점토의 함량은 만 북측에서 가장 높게 나타났고, 서측에서 가장 낮은 경향으로 나타났으며, 점토의 함량변화에 따라 함수율과 유기물함량도 상대적으로 높은 경향을 보이며, 평균입도도 세립화되었다. 전단응력은 전체적으로 0kPa로 나타났으며, 계절별 변화는 각 조간대에서 거의 동일하게 겨울과 봄에는 점토함량이 높고 여름과 가을에는 낮은 함량분포를 보였으며, 겨울과 봄에 퇴적경향을 나타내었다. 각 조간대 집적률 측정결과 평균 $-14.62\~38.57mm{\cdot}yr^{-1}$로써 북측이 $32.13mm{\cdot}yr^{-1}$, 서측이 $-14.62mm{\cdot}yr^{-1}$, 그리고 동측이 $6.46mm{\cdot}yr^{-1}$로 나타났다. 연구 기간 중 퇴적물의 퇴적은 북측 조간대에서 퇴적이 일어났으며, 서측 조간대에서는 침식이 일어난 것으로 나타났다. 그러나 동측 조간대에서는 북서측 조간대와는 다른 형태로 나타났으며, 이러한 현상은 여자만 해수 흐름이 시계방향 흐름에 기인하는 것으로 사료된다. 계절별로는 건기(겨울과 봄)에 퇴적되었으며, 우기(여름과 가을)에 침식되는 경향으로 나타났다.
한반도서남해안의 고창군 명사십리 대조차조간대에서 계절에 따른 퇴적물 조직과 퇴적 환경 변화를 연구하였다. 표층 퇴적물은 연구지역 3개 측선(각 측선 당 15개) 45지점에서 겨울철(2월), 여름철(8월)에 채취하였다. 개방형 명사십리의 표층 퇴적물은 세립사와 중립사가 우세하며 해안선과 평행한 띠 모양으로 분포한다. 입도 분포 곡선은 복모드 분포를 보이며, 겨울철 조간대의 입도분포가 여름철에 비하여 조립하다. 겨울철에 중립사가 상부 조간대에 집중되고 세립사가 하부 조간대에 집중된다. 이는 겨울철 동안 조석작용보다 파랑 에너지가 크게 작용함을 의미한다. 겨울철과 비교하여 여름철에 상대적으로 세립한 평균입도와 조직변수들 간의 상관관계는 여름철에 조석 에너지의 영향이 상대적으로 크게 작용한다는 것을 의미한다. 명사십리 조간대에 대한 연구는 퇴적환경이 해안으로 불어오는 바람과 파랑 강도의 계절별 변화로 겨울철 파랑-우세 환경에서 여름철 조석-우세 환경으로 변화한다는 것을 보여준다.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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