반응성 스퍼터링법으로 제조된 anatase TiO$_2$ 박막의 미세조직에 관한 연구
(Microstructures of Anatase TiO$_2$ Thin Films by Reactive Sputtering)
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- 한국재료학회지
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- 제11권9호
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- pp.751-758
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- 2001