• 한국표면공학회지
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• 제45권5호
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• pp.188-192
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• 2012

The hetero junction on dielectrics and ferrite for LTCC was prepared by using NiCuZn ferrite. The shrinkage behaviour of ferrite tapes in combination with a dielectric tape was investigated. The characteristics of NiCuZn ferrite were investigated using XRD (X-ray diffractometer), Dilatometer, FE-SEM (Field emission scanning electron microscope), EDS (Energy dispersive spectrometer). NiCuZn ferrite calcined at $700^{\circ}C$ had a good apparent density and initial permeability of magnetic properties. The shrinkage rate of the NCZF700 ferrite and dielectric material was similar. The multilayer revealed dense, uniform morphologies with excellent interface quality. Diffusion of hetero junction such as dielectric and ferrite was not occuring at $900^{\circ}C$.

• 한국진공학회:학술대회논문집
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• 한국진공학회 2014년도 제46회 동계 정기학술대회 초록집
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• pp.109-110
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• 2014

주사전자현미경(Scanning Electron Microscopy: SEM)은 고체상태에서 미세조직과 형상을 관찰하는 데에 가장 다양하게 쓰이는 분석기기로서 최근에 판매되고 있는 고분해능 SEM은 수 나노미터의 분해능을 가지고 있다. 그리고 SEM의 초점심도가 크기 때문에 3차원적인 영상의 관찰이 용이해서 곡면 혹은 울퉁불퉁한 표면의 영상을 육안으로 관찰하는 것처럼 보여준다. 활용도도 매우 다양해서 금속파면, 광물과 화석, 반도체 소자와 회로망의 품질검사, 고분자 및 유기물, 생체시료 nnnnnnnnn와 유가공 제품 등 모든 산업영역에 걸쳐 있다(Fig. 1). 입사된 전자빔이 시료의 원자와 탄성, 비탄성 충돌을 할 때 2차 전자(secondary electron)외에 후방산란전자(back scattered electron), X선, 음극형광 등이 발생하게 되는 이것을 통하여 topography (시료의 표면 형상), morphology(시료의 구성입자의 형상), composition(시료의 구성원소), crystallography (시료의 원자배열상태)등의 정보를 얻을 수 있다. SEM은 2차 전자를 이용하여 시료의 표면형상을 측정하고 그 외에는 SEM을 플랫폼으로 하여 EDS (Energy Dispersive X-ray Spectroscopy), WDS (Wave Dispersive X-ray Spectroscope), EPMA (Electron Probe X-ray Micro Analyzer), FIB (Focus Ion Beam), EBIC (Electron Beam Induced Current), EBSD (Electron Backscatter Diffraction), PBMS (Particle Beam Mass Spectrometer) 등의 많은 분석장치들이 SEM에 부가적으로 장착되어 다양한 시료의 측정이 이루어진다. 이 중 결정구조, 조성분석을 쉽고 효과적으로 할 수 있게 하는 X선 분석장치인 EDS를 SEM에 일체화시킨 장비와 EDS 및 PBMS를 SEM에 장착하여 반도체 공정 중 발생하는 나노입자의 형상, 성분, 크기분포를 측정하는 PCDS(Particle Characteristic Diagnosis System)에 대해 소개하고자 한다. - EDS와 통합된 SEM 시스템 기본적으로 SEM과 EDS는 상호보완적인 기능을 통하여 매우 밀접하게 사용되고 있으나 제조사와 기술적 근간의 차이로 인해 전혀 다른 방식으로 운영되고 있다. 일반적으로 SEM과 EDS는 별개의 시스템으로 스캔회로와 이미지 프로세싱 회로가 개별적으로 구현되어 있지만 로렌츠힘에 의해 발생하는 전자빔의 왜곡을 보정을 위해 EDS 시스템은 SEM 시스템과 연동되어 운영될 수 밖에 없다. 따라서, 각각의 시스템에서는 필요하지만 전체 시스템에서 보면 중복된 기능을 가지는 전자회로들이 존재하게 되고 이로 인해 SEM과 EDS에서 보는 시료의 이미지의 차이로 인한 측정오차가 발생한다(Fig. 2). EDS와 통합된 SEM 시스템은 중복된 기능인 스캔을 담당하는 scanning generation circuit과 이미지 프로세싱을 담당하는 FPGA circuit 및 응용프로그램을 SEM의 회로와 프로그램을 사용하게 함으로 SEM과 EDS가 보는 시료의 이미지가 정확히 일치함으로 이미지 캘리브레이션이 필요없고 측정오차가 제거된 EDS 측정이 가능하다. - PCDS 공정 중 발생하는 입자는 반도체 생산 수율에 가장 큰 영향을 끼치는 원인으로 파악되고 있으며, 생산수율을 저하시키는 원인 중 70% 가량이 이와 관련된 것으로 알려져 있다. 현재 반도체 공정 중이나 반도체 공정 장비에서 발생하는 입자는 제어가 되고 있지 않은 실정이며 대부분의 반도체 공정은 저압환경에서 이루어지기에 이 때 발생하는 입자를 제어하기 위해서는 저압환경에서 측정할 수 있는 측정시스템이 필요하다. 최근 국내에서는 CVD (Chemical Vapor Deposition) 시스템 내 파이프내벽에서의 오염입자 침착은 심각한 문제점으로 인식되고 있다(Fig. 3). PCDS (Particle Characteristic Diagnosis System)는 오염입자의 형상을 측정할 수 있는 SEM, 오염입자의 성분을 측정할 수 있는 EDS, 저압환경에서 기체에 포함된 입자를 빔 형태로 집속, 가속, 포화상태에 이르게 대전시켜 오염입자의 크기분포를 측정할 수 있는 PBMS가 일체화 되어 반도체 공정 중 발생하는 나노입자 대해 실시간으로 대처와 조치가 가능하게 한다.

• 한국전기전자재료학회논문지
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• 제29권2호
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• pp.95-100
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• 2016

We fabricated a tin sulfide (SnS) layer with Sn/Mo/glass layers followed by a RTP (rapid thermal processing), and studied the film growth and structural characteristics as a function of annealing temperature and time. The elemental sulfur (S) was cracked thermally and applied to form SnS polycrystalline film out of the Sn percursor at pre-determined pressures in the RTP tube. The sulfurization was done at the temperature from $200^{\circ}C$ to $500^{\circ}C$ for a time period of 10 to 40 min. At ${\leq}300^{\circ}C$, 20 min., p-type SnS thin films was grown and showed the best composition of at.% of [S]/[Sn] $${\sim_=}$$ 1 and [111] preferred orientation as investigated from using XRD (X-ray diffraction) analysis and EDS (energy dispersive spectroscopy) and SEM (scanning electron microscopy), and optical absorption by a UV-VIS spectrometer. In this paper, we report the details of growth characteristics of single phase SnS thin film as a function of annealing temperature and time associated with the pressure and ambient gas in the RTP tube.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제44권2호
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• pp.187-192
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• 2006

폴리페닐렌 옥사이드(PPO)를 이용하여 헤테로폴리산(HPA)을 고정시킨 박막 제조를 통해 새로운 고분자 복합막을 제조하고 특성을 분석하였다. 헤테로폴리산인 텅스토인산(PWA)이나 몰리브도인산(PMA)을 혼합한 PPO 박막은 서로 같은 용매에 녹지 않으므로 혼합용매를 사용하여 제조하였다. 본 연구에서는 PWA를 녹이기 위한 용매로 메탄올을 PPO를 녹이기 위한 용매로 클로로포름을 사용하였으며, 혼합된 PPO-PWA 용액을 유리판 위에서 제막하였다. 다공성의 PPO-PWA 박막에 나피온 혼합물을 사용하여 복합막을 제조하였고, 제조된 복합막은 이온 전도도와 메탄올 투과도를 측정하여 특성화하였다. PPO-PWA 복합막의 형태와 구조는 SEM(scanning electron microscopy)과 EDS(energy dispersive spectrometer)로 관찰하였고, 복합막은 직접 메탄올 연료전지(DMFC)용 전해질로서의 성능을 시험하였다. PPO-PWA 구조를 가지고 있는 복합막을 이용함으로써 DMFC 내에서의 메탄올 투과 현상을 66％ 줄일 수 있었다.

• 자원리싸이클링
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• 제31권6호
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• pp.81-91
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• 2022

리튬이온 배터리의 사용은 전자기기 및 전기차 등의 생산량 증가로 인해 사용량이 크게 증가하고 있으며, 이와 맞물려 향후 폐배터리의 발생량 증가도 예상된다. 따라서 폐배터리를 구성하고 있는 여러 유가 자원 중 Ni, Co, Mn, Li 등이 함유되어 있는 양극 활물질이 매우 중요한 유가 자원으로, 이를 재활용하기 위한 많은 연구가 진행되고 있다. 양극 활물질 회수를 위해서 일반적으로 폐배터리로부터 블랙 매스(Black mass)를 회수하고, 이를 처리하여 주요 금속 자원을 회수한다. 블랙 매스를 회수하는 공정은 폐배터리를 수거-방전-해체-파쇄-분급의 순서로 이루어지며, 본 연구에서는 블랙 매스 회수를 위한 파쇄/분급 공정을 분석하였다. 파쇄/분급 공정을 통해 다양한 공정 산물의 입도 특성을 분석하고, 이 과정에서 생산된 산물의 입도별 형상을 현미경 및 SEM(Scanning Electron Microscopy)-EDS(Energy Dispersive Spectrometer)로 분석하였다. 분석 결과 블랙 매스로 회수되는 입자 중 74 ㎛의 미세한 입자들은 양극/음극 활물질이 전극으로부터 단체분리되어 존재하였지만, 100 ㎛ 이상의 입자들은 전극과 활물질이 붙어있는 상태에서 파쇄에 의해 입도가 감소되어 존재함을 확인하였다. 또한 배터리의 특징인 2종 혼합물(전극과 활물질)이 결합되어 있는 시료에 대해 파분쇄 특성을 모사할 수 있는 PBM(Population Balance Model) 을 개발하였으며, 2종 혼합물의 분쇄 상수를 도출하고 입도 분포 예측 성능을 검증하였다.

• 한국산업보건학회지
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• 제20권2호
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• pp.119-130
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• 2010

Pulmonary toxicity of talc containing tremolite asbestos (TCT) has been studied in term sequential in Sprague-Dawely rats. UICC chrysotile(average diameter 0.03${\mu}m$, average length 2.93${\mu}m$) was applied as the positive control. TCT was analyzed for its physicochemical properties by transmission electron microscope equipped with energy dispersive X-ray spectrometer(TEM-EDS). The effects of 2mg TCT(talc average diameter 9.7${\pm}$8.4${\mu}m$; tremolite average diameter 1.6${\pm}$1.6${\mu}m$, average length 10.8${\pm}$7.0${\mu}m$) on pathological changes were evaluated after 1, 8 weeks instilled into rat lungs. 2mg Chrysotile continuously affected lung pathological changes. Inflammation and granuloma response broke out from 1 week after instilled with chrysotile and the pathological examination further showed increased legions of lung after 8 weeks. But TCT did not showed lung pathological changes. The biopersistence of TCT and chrysotile was evaluated by TEM- EDS. Whereas chrysotile continuously have retained to 8 weeks instilled into rat lungs, talc of TCT showed statistically significant decrease of diameter from 1 weeks and statistically significant change in Si atomic % compositions at 8 weeks instilled into rat lungs. Physicochemical properties of tremolite of TCT were not affected until 8 weeks instilled into rat lungs. This study showed that the durability of TCT in the lungs is much weaker than chrysotile.

• 한국해양공학회지
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• 제10권2호
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• pp.77-87
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• 1996

The estimation of the remaining life for the aged components in power plant as well as chemical and peroleum plants has been recently coberned. The raw materials used in this syudy are the 1Cr-1Mo-0.25V rotor steel which intensified P and S compositions along with the nominal compositions of ASTM A470 standard. Five kinds of specimens with the different degradation levels were prepared by isothermal aging teat treatment at $630^{\circ}C$ The mechanical properties and fatigue strength of virgin and aged 1Cr-1Mo-0.25V rotor steel have been inbestigated through the hardness, tensile, fatigue test, SEM fractograph and EDS analysis at room temperature. Thus, the data of aged specimens were compared with those of virgin specimen to evaluate the aging effects. The main results obtained in this study are as follows; The decrease of the hardness due to degradation was distinguished until 50, 000hrs simulated service time. And is was confirmed that the considerable amount of P, Mn, Cr and S was precipitated at the grain boundary of aged material through the SEM and EDS analysis. The fatigue strength of 25, 000, 50, 000, 75, 000 and 100, 000hrs aged material was decreased 29.5%, 24.4%, 28.6%, 35.7% than that of virgin material at $10^7$ cycles of room temperature. The major cracks of virgin and aged materials initiated at the inclusions including Si, P and Mn compositions which were located at the outer periphery of the specimen.

• Mycobiology
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• 제36권3호
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• pp.143-147
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• 2008

We have detected the slime mold, Diachea leucopodia (GNU06-10) in a strawberry greenhouse located in Sancheong-gun, Gyeongnam. Typical fruiting bodies had developed gregariously on the strawberry leaves, petioles, and plant debris on ground soil habitat, and also surprisingly on plastic pipes and a vinyl covering. Field samples were examined via stereomicroscopy, light microscopy, and SEM for the determination of morphological characteristics. Dark-brown to black spores formed gregariously within the stipitate cylindrical sporangium, and were covered by an iridescent peridium, which may be intact at maturity, or may have disintegrated. The upper portion of the peridium generally breaks up to expose the spores, whereas the lower portion was usually persistent. The results of energy dispersive X-ray spectrometer (EDS) analysis showed that lime was present in the stalk and columella but absent from the spores, capillitium, and peridium. The above characteristics confirm its taxonomic position in the genus Diachea. However, this genus is intermediate in character between the Physarales and Stemonitales of the Myxogastromycetidae. Hence, this genus had been classified as a member of the Stemonitales until the mid-1970's, on the basis of its iridescent peridium and noncalcareous capillitial system, similar to Comatricha of the Stemonitaceae. By way of contrast, emphasis on morphological characteristics, most notably the calcareous stalk and typical columella, places Diachea within the order Physarales. The presence of a phaneroplasmodium during the trophic stage and lime deposition in its sporophores, as was confirmed in this work, supported the inclusion of Diachea in the Physarales, and the noncalcareous capillitial system verified its identification as a member of the Didymiaceae. Further characteristics of the species D. leucopodia include the following: phaneroplasmodium, spore globose 7.5 ${\mu}m$ in diameter, very minutely roughened; sporangia $500{\mu}m\times1mm$, more or less cylindrical, gregarious, stalked 1.2mm; stalk and columella white.

• Korean Chemical Engineering Research
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• 제49권3호
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• pp.381-386
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• 2011

염료감응형 태양전지의 광전극용 바인더로 화학적으로 기능기 작용을 가진 식물성 오일인 maleinized acrylated epoxidized soybean oil(MAESO)를 이용하였다. 제조된 광촉매의 특성을 고찰하기 위해 FE-SEM, EDS, XRD, XPS, 그리고 질소 흡착법(BET) 분석을 수행하였다. 식물성 오일 바인더를 이용하여 제조된 $TiO_{2}$ 입자는 P-25 광촉매와 비교하여 볼 때 비표면적과 특정한 크기를 갖는 세공의 수가 증가하였는데 이는 광촉매에 기능기가 증가하였기 때문이다. 기능기가 첨가된 $TiO_{2}$ 입자 표면에서 OH 관능기는 9.9에서 16.62%로 증가하였다.

• 대한치과교정학회지
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• 제47권1호
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• pp.3-10
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• 2017

Objective: Microbial aggregation around dental implants can lead to loss/loosening of the implants. This study was aimed at surface treating titanium microimplants with silver nanoparticles (AgNPs) to achieve antibacterial properties. Methods: AgNP-modified titanium microimplants (Ti-nAg) were prepared using two methods. The first method involved coating the microimplants with regular AgNPs (Ti-AgNP) and the second involved coating them with a AgNP-coated biopolymer (Ti-BP-AgNP). The topologies, microstructures, and chemical compositions of the surfaces of the Ti-nAg were characterized by scanning electron microscopy (SEM) equipped with energy-dispersive spectrometer (EDS) and X-ray photoelectron spectroscopy (XPS). Disk diffusion tests using Streptococcus mutans, Streptococcus sanguinis, and Aggregatibacter actinomycetemcomitans were performed to test the antibacterial activity of the Ti-nAg microimplants. Results: SEM revealed that only a meager amount of AgNPs was sparsely deposited on the Ti-AgNP surface with the first method, while a layer of AgNP-coated biopolymer extended along the Ti-BP-AgNP surface in the second method. The diameters of the coated nanoparticles were in the range of 10 to 30 nm. EDS revealed 1.05 atomic % of Ag on the surface of the Ti-AgNP and an astounding 21.2 atomic % on the surface of the Ti-BP-AgNP. XPS confirmed the metallic state of silver on the Ti-BP-AgNP surface. After 24 hours of incubation, clear zones of inhibition were seen around the Ti-BP-AgNP microimplants in all three test bacterial culture plates, whereas no antibacterial effect was observed with the Ti-AgNP microimplants. Conclusions: Titanium microimplants modified with Ti-BP-AgNP exhibit excellent antibacterial properties, making them a promising implantable biomaterial.