RF마그네트론 스퍼터링법으로 제조한 $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ 전도체 박막의 특성에 대한 기판의 영향
(Substrate effects on the characteristics of $YBa_2Cu_3O_{7-x}$ thin films prepared by RF magnetron sputtering)
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- E2M - 전기 전자와 첨단 소재
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- 제8권1호
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- pp.6-12
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- 1995