Properties of Reducing On-resistance for JFET Region in Power MOSFET by Double Ion Implantation (JFET 영역의 이중이온 주입법을 이용한 Power MOSFET의 온저항 특성에 관한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.28 no.4
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- pp.213-217
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- 2015