MEMS-based Micro Fluxgate Sensor Using Solenoid Excitation and Pick-up Coils (MEMS 공정 제작방법에 의한 솔레노이드형 여자 코일과 검출코일을 사용한 마이크로 플럭스게이트 센서)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.16 no.2
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- pp.120-124
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- 2003