RF 마그네트론 스퍼터링법에 의한 $SrTiO_3$ 박막제조와 유전특성
(Preparation of $SrTiO_3$ Thin Film by RF Magnetron Sputtering and Its Dielectric Properties)
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- 한국재료학회지
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- 제5권6호
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- pp.754-762
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- 1995