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플라즈마 디스플레이 패널의 감광성 격벽을 위한 B2O3-Al2O3-SiO2 유리계의 굴절률과 밀도 (Refractive Indices and Densities of B2O3-Al2O3-SiO2 Glass System for Photosensitive Barrier Ribs of Plasma Display Panel)

  • 원주연;황성진;이상호;김형순
    • 한국전기전자재료학회논문지
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    • 제22권6호
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    • pp.506-511
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    • 2009
  • For the application of the photosensitive barrier ribs with optimal properties such as glass transition temperature, refractive index and coefficient thermal expansion, the boro-silicate glasses was studied. The glass transition temperature, coefficient thermal expansion, and refractive index of the glasses based on the $B_2O_3-Al_2O_3-Al_2O_3-SiO_2$ glass system have been investigated with the different ratio of BaO/$Na_2O$ and $B_2O_3/Na_2O$. Increasing the ratio of $B_2O_3/Na_2O$ was led to the increase of coefficient thermal expansion and the decrease of glass transition temperature. The increase of refractive index of boro-silicate glasses increased with the density of glasses. We suggest the empirical equation for the prediction of refractive index with the glass density, $n=0.123{\rho}+1.182$ with 0.042 as the standard deviation in the boro-silicate glass system. The aim of the present paper is to give a basic result of the thermal and optical properties for designing the composition of photosensitive barrier ribs in PDP.

TFT-LCD bus line을 위한 Al-W 박막 특성에 관한 연구 (The characteristics of AlW thin film for TFT-LCD bus line)

  • Dong-Sik Kim;Chong Ho Yi;Kwan Soo Chung
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.233-236
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    • 2000
  • TFT-LCD(thin film transistor-liquid crystal display) 패널의 데이터 배선 재료로 사용하기 위하여 AlW(3 wt%)의 Al합금 박막을 dc 마그네트론 스퍼터링 방법으로 유리 기판에 증착하여 열처리전과 열처리 후의 박막 특성을 조사하였다. 또한 TFT-LCD의 식각 공정상에서 발생할 수 있는 chemical attack에 대한 저항성을 확인하기 위하여 순환전압전류법(cyclic voltammetry)을 사용하여 Ag/AgCl 전극에 대한 ITO와 AlW alloy의 전극 전위를 측정하였다. 증착된 박막을 $350^{\circ}C$에서 20분간 열처리하였을 때 AlW 박막은 비저항이 감소하였고 약 $11\;{\mu\Omega}cm$의 다소 높은 비저항 특성을 보였다. 주사전자현미경(SEM)과 원자힘현미경(AFM)으로 표면을 분석한 결과 좋은 힐록방지 특성을 보임을 알 수 있었다. 순환전압전류법을 사용하여 측정한 Ag/AgCl 에 대한 ITO의 전극 전위은 약 -1.8V이었고, AlW alloy의 전위 전극은 W의 wt.%가 3% 이상이었을 때, ITO의 전극 전위보다 작게 나타났다. 따라서 측정된 특성 값을 볼 때 AlW(over 3 wt.%) 박막은 data bus line으로 사용할 수 있는 것으로 나타났다.

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TFT-LCD bus line용 AlNd 박막 특성에 관한 연구 (The characteristics of AlNd thin film for TFT-LCD bus line)

  • Dong-Sik Kim;Sung Kwan Kwak;Kwan Soo Chung
    • 한국진공학회지
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    • 제9권3호
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    • pp.237-241
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    • 2000
  • TFT-LCD(thin film transistor-liquid crystal display) 패널의 데이터 배선 재료로 사용하기 위하여 AlNd(2 wt%)의 Al합금 박막을 dc 마그네트론 스퍼터링 방법으로 유리 기판에 증착하여 열처리전과 열처리후의 구조적, 전기적, 식각 박막 특성을 조사하였다. 또한 증착한 박막을 식각하여 그 특성을 조사하였고, ITO를 증착하여 AlNd과의 접촉 저항을 Kelvin resistor를 사용하여 측정하였다. 증착된 박막을 $350^{\circ}C$에서 20분간 열처리 하였을때 AlW박막은 비저항이 감소하였고 약 $4\;{\mu\Omega}cm$의 아주 좋은 비저항 특성을 보였다. 주사전자 현미경(SEM)과 원자힘현미경(AFM)으로 표면을 분석한 결과 좋은 힐록방지 특성을 보임을 알 수 있었다. AlNd의 식각 특성은 아주 좋게 나타났고, ITO와 AlNd의 최저 접촉저항값은 약 $110\;{\mu\Omega}cm$이었다. 측정된 특성들을 바탕으로 AlNd(2 wt.%) 박막의 적용 가능성을 해상도와 화면 크기 측면에서 살펴보았을 때, 25인치 SXGA급 패널에 적용 가능함을 알 수 있었다.

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레이저 흡수 분광법을 이용한 He-Ne-Xe 상종가스의 외부전곡 램프의 $1s_4$ 공명준위와 $1s_5$ 준안정준위의 제논 원자 밀도에 대한 연구 (Laser absorption spectroscopy of ternary gas mixture of He-Ne-Xe in External Electrode Fluorescent Lamp (EEFL))

  • 정세훈;오필용;이준호;조광섭;최은하
    • 한국진공학회지
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    • 제15권6호
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    • pp.576-580
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    • 2006
  • 본 논문에서는 수은 램프를 대체하기 위하여 제논 기체를 사용한 무수은 램프를 제작하여 제논 여기종 밀도에 대한 연구를 진행하였다. 진공자외선을 방사할 수 있는 $1s_4$ 공명준위의 제논 원자 밀도와 $1s_5$ 준안정준위의 제논 원자 밀도를 레이저 흡수 분광법을 사용하여 다양한 기체조건 및 방전전류에 따라서 측정하였다. 우리는 주어진 압력에서 방전전류에 따른 $1s_4$ 공명준위의 제논 원자 밀도와 $1s_5$ 준안정준위의 제논 원자 밀도를 측정하였으며 이러한 기본적인 방전 특성의 이해는 EEFL뿐만 아니라 플라스마 디스플레이에서도 발광 효율을 높이는데 매우 큰 기여를 할 것이다.

CCFL 백라이트 패턴 설계툴 개발에 관한 연구 (A Study on the Development of Pattern Design Tool for CCFL Backlight)

  • 조영창;최병진;윤정오
    • 한국산업정보학회논문지
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    • 제11권2호
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    • pp.79-85
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    • 2006
  • 휴대용 정보기기의 발달은 평판 디스플레이 장비 및 부품 소재의 수요급증으로 이어지고 있으며, 이 중에서 LCD는 LCD TV, 컴퓨터 모니터, 디지털 카메라, CNS(car navigation system), 게임기 등의 다양한 제품으로 그 응용범위가 폭넓어지고 있다. 이와 같이 LCD 시장이 급증함에 따라 LCD 배면조명 모듈인 BLU(backlight unit) 생산을 위한 제조업체들의 수도 크게 증가하였으며, 우수한 품질의 광학적 특성을 갖는 BLU 개발을 위해 광반사면 설계에 관한 연구가 꾸준히 진행되고 있다. 본 연구에서는 경험과 시행착오에 기초하여 수작업에 주로 의존하여 온 기존의 패턴설계환경을 개선하기 위해 CCFL을 광원으로 한 백라이트의 패턴 설계툴을 개발하였다. 본 연구의 검증을 위해 실모델의 백라이트에 대한 광반사면을 설계한 후, BM-7으로 휘도균일도를 측정하였다. 휘도균일도 측정결과, 본 연구의 설계툴을 사용한 BLU가 기존의 설계방식으로 보통 5회 이상의 시도에서 얻을 수 있는 휘도균일도를 1차 시도에서 얻을 수 있었다는 점에서 기존의 설계방식보다 우수한 설계 성능을 보임을 알 수 있었다.

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디지털전계방출 디스플레이의 형광체 최적조건에 관한 연구 (A study on the of Phosphors most suitable a condition of digital FED)

  • 김수용
    • 한국정보통신학회논문지
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    • 제11권4호
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    • pp.754-759
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    • 2007
  • FED는 잠재적인 평판패널기술에 따라 현재 탐구를 하였다. 특정하게, 최적화는 $Y_2O_3-Nb_2O_5$와 영향으로 효과적인 청색방출 형광체에 따라 형광체의 입자의 크기에 의해 발광이 모이는 정통한 것이었다. 여기는 254nm 이하이며, Bi는 $YNbO_4$ 형광체가 강하게 보였고, 청색 방출대는 비교적 폭이 좁았으며, 약 420-450 nm에 효과가 정점에 달하였다. 특정하게, 0.4 wt% Bi는 이트륨 형광체로서 도핑 이었으며 최대 방출강도를 보였고, $Y_2SiO_5:Ce$ 형광체가 훨씬 많음에 따라 거의 3배였다. 마지막으로 Ce는 $Y_2SiO_5$ 형광체로서 도핑이었으며 광대한 청색방출대와 강하게 나타내었다. 0.02-0.03 mol 농도로서 최대방출강도와 390-420 nm 이며 중심이었다.

폴리머 위에 엑시머 레이저 방법으로 결정화된 다결정 실리콘의 특성 (Characteristics of Excimer Laser-Annealed Polycrystalline Silicon on Polymer layers)

  • 김경보;이종필;김무진;민영실
    • 융합정보논문지
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    • 제9권3호
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    • pp.75-81
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    • 2019
  • 본 논문은 유기물로 이루어진 폴리머 기판상에 저온 다결정 실리콘 박막트랜지스터 제조방법에 대해 연구하였다. 먼저, 폴리머 기판에 화학증착방식으로 비결정 실리콘 박막을 증착하였고, 열처리 장치인 퍼니스로 탈수소 및 활성화 공정을 430도에서 2시간동안 진행하였다. 이후 엑시머 레이저를 이용하여 결정화를 진행하여 다결정 실리콘 반도체 막을 제조하였다. 이 박막은 박막트랜지스터 제작을 위한 활성층으로 사용하였다. 제작된 p형 박막트랜지스터는 이동도 $77cm^2/V{\cdot}s$, on/off 전류비는 $10^7$이상의 동작특성을 보였고, 이는 결정화된 박막내부에 결함 농도가 낮음을 의미한다. 이 결과로 유기물 기판상에 엑시머 레이저로 형성된 다결정 실리콘으로 제작된 전자소자는 플렉서블 AMOLED 디스플레이 회로 형성에 최적의 기술임을 알 수 있다.

반도체 작업환경의 VOCs 농도분포 특성 (Emission Characteristics of VOCs Distributions in Semiconductor Workplace)

  • 이정주
    • 한국도시환경학회지
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    • 제18권4호
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    • pp.503-509
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    • 2018
  • 본 연구에서는 양자전이 비행시간질량분석기(PTR-ToF-MS)를 이용하여 반도체 공정의 작업환경(PHOTO, FPD, OLED, WET 공정)에서 VOCs를 실시간으로 모니터링하였다. 작업환경에서 평균 VOCs 농도는 PHOTO 6.5 ppm, FPH 6.4 ppm, WET 2.0 ppm, OLED 1.3 ppm이었다. VOCs 중 methyl ethyl ketone이 2.8 ppm (69%), acetaldehyde가 0.5 ppm (13.2%)로 나타났다. 반도체 공정 특성에 따라 다양한 VOCs 가 작업환경에서 관측되었다. 관측된 VOCs 농도는 작업환경기준보다 낮지만, 이러한 VOCs를 지속적으로 모니터링하여 효과적으로 관리해 나갈 필요가 있다.

FPD 장비 습식공정에서의 안전한 히터 공급 계통도 및 제어 회로 (Safety Schematic Diagram and Sequence of Heater in FPD Wet Equipment)

  • 유흥렬;손영득
    • 전기전자학회논문지
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    • 제23권1호
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    • pp.107-111
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    • 2019
  • FPD(Flat Panel Display) WET(습식) 장비의 히터 사용은 필수로 사용된다. 히터 사용에 따른 단선과 과열로 인한 전기사고가 다발하여 안전적인 전기 계통도 및 인터락이 필요하다. 따라서 본 논문에서는 FPD WET장비에 들어가는 전기 계통도 및 인터락을 제안하였다. 레벨센서, 과열방지기, SSR heater sink와 같은 하드웨어 인터락을 넣었으며, 전기 계통도로써는 ELB-MC-SSR-EOCR-Heater로 구성되어 있다. 인터락 발생시 마그네틱 컨텍터(MC)가 오프되어 Heater의 전원을 차단하는 방식이다. 전기적 과전류 보호장치인 EOCR 과전류, 부족전류, 단선 체크를 하면서 히터에 이상 있을 시 MC를 차단하는 인터락이 구성되어 있다. 이러한 회로 구성 및 인터락은 WET 장비 뿐만 아니라 히터가 들어가는 어떠한 장비에도 유용할 것으로 보인다.

양방향 정전기력 구동 구조에 기반한 고출력 햅틱 진동 액추에이터 모듈 및 인터페이스 개발 (Development of high-power haptic vibration actuator module and interface based on bidirectional electrostatic force driving structure)

  • 김재익;이재경;박영환;서정태;양태헌
    • 문화기술의 융합
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    • 제7권1호
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    • pp.662-667
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    • 2021
  • 진동 햅틱 피드백은 최신 터치 디스플레이의 주요한 기능으로, 화면의 인터페이스와 상호 작용할 때 사용자의 조작성 및 몰입감을 크게 향상시킨다. 본 연구에선 정전기력 기반의 메커니즘을 적용하여 강한 진동 출력을 생성할 수 있으면서도, 얇은 평판 타입으로 제작이 가능하여 중대형 디스플레이의 뒷면에 탑재하기에 적합한 진동 햅틱 액추에이터를 제안하고자 한다. 제안된 액추에이터는 방사형 판스프링에 매달려 전기적으로 접지된 Mass를 이격 되어 있는 상하의 전극에 의해 정전기력으로 상하로 교번하여 진동력을 증폭시킬 수 있는 구조로 개발되었다. 성능평가 결과, 개발된 액추에이터가 2개 내장된 Bar-Type 모듈에서 170 Hz에서 최대 3.3g의 우수한 진동 출력을 보여, 중대형 터치 디스플레이에서 햅틱 피드백 제공에 대한 가능성이 확인되었다.