• 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
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• 한국전기전자재료학회 1998년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.117-120
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• 1998

In this study, $Al_2O_3/MgO$ bilayer was prepared with Electron-beam evaporation and the properties of the film was investigated in order to improve the property of MgO film, which is used for the protection layer in PDP(P1asma Display Panel). The thickness of $Al_2O_3/MgO$ bilayer was optimized by the Matrix Theory for the fabrication of antireflection structure for 5350A wavelength. The secondary electron emission yields of as-deposited film and annealed film were measured and compared, the bilayer was considered for the applicability as PDP. XRD showed the strong (200) primary peak of MgO. The intensity of (200) peak in the film annealed at 300C was decreased. As the result of SEM analysis for MgO films and Alz03 films, it is considered that the morphology of the films were improved of roughness and it were condensed by annealing.

• 한국광학회지
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• 제20권6호
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• pp.334-338
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• 2009

최근 디스플레이 기기의 수요가 증대되면서 대면적 노광에 대한 요구가 증대되고 있는데, 내부전반사(total internal reflection: TIR)홀로그래픽 리소그라피는 대면적 노광을 위한 효과적인 방법으로 연구가 진행되고 있다. TIR 홀로그래피에서는 일반적으로 레이저를 이용하여 영상을 기록하고 재생한다. 그러나 자외선 램프와 같은 비가간섭광을 이용하여 재생한다면, 가간섭성에 의해 나타나는 영상잡음을 줄일 수 있고, 대면적 노광에도 보다 용이할 것이다. TIR 홀로그램의 재생을 위하여 자외선 램프를 이용할 때, 램프의 유한한 선폭과 확산각이 재생 영상에 미치는 영향을 분석하고, 재생패턴에 나타나는 선폭 확대 결과를 실험을 통하여 검증하였다. ${\mu}m$ 규모의 선폭을 갖는 대면적 패턴을 TIR 홀로그램으로부터 얻기 위한 재생 광원으로, 가간섭성 광원인 레이저 대신 저잡음성과 경제성을 갖춘 일반적인 자외선 램프의 사용이 가능할 것으로 기대된다.

• Journal of KIEE
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• 제11권1호
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• pp.41-45
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• 2001

The addressing time should be reduced by modifying cell structure and/or driving method in order to replace the dual scan system by single scan and increase the luminance in large ac plasma display panel(PDP). In this paper, the effects of the dielectric layer thickness and the barrier rib height on the addressing time of ac PDP are investigated. It is found out that the addressing time was decreased with decreasing thickness of dielectric layer on the front glass and thickness of white dielectric layer on the rear glass. The decreasing rate were 160ns/10${\mu}{\textrm}{m}$ and 270nsd/10${\mu}{\textrm}{m}$, respectively. Also in case of decreasing the height of barrier rib, addressing time was decreased at the rate of 550ns/10${\mu}m$.

• 한국가스학회지
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• 제22권1호
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• pp.78-85
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• 2018

본 연구를 통하여 반도체 FPD 제조설비 및 클린룸에 관련한 설비의 위험성분석과 그에 대한 근원적인 안전대책을 연구하고, 설비 및 환경의 특수성을 고려한 방폭 설계 모델링화를 검토하여 관련 설비의 설계 및 제작에 기술적인 기준과 근거로 활용하고자 하며, 아래와 같은 성과로서 향후 반도체 FPD 산업의 기술적 기준 수립 및 관련 산업에 기여할 것으로 생각한다. 1) 관련 국제 기술규격과 법령, 설비의 특성을 반영한 FAB 장비의 최적화된 폭발위험장소의 모델링 도출 2) FAB 장비 및 클린 룸의 특성을 고려한 위험설비의 안전성 확보 (Fool-Proof와 Fail Safe)를 위한 안전시스템 구축방안과 안전기준 및 대책 도출 3) 향후 FAB 장비의 방폭 설계에 대한 가장 효율적인 기준 적용을 통한 신규 FAB 장비의 방폭 성능의 유연성 확보하고 수립된 안전기준을 통한 설비와 안전시스템의 신뢰성 검증 절차 운영을 위한 "안전인증제도"의 자율적 향상화.

• 대한전기학회논문지:전기물성ㆍ응용부문C
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• 제53권5호
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• pp.237-241
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• 2004

Amorphous silicon (a-Si) films are used in a broad range of solar cell, flat panel display, and sensor. Because of the greater ease of deposition and lower processing temperature, thin films are widely used for thin film transistors (TFTs). However, they have lower stability under the exposure of visible light and because of their low field effect mobility ($\mu$$_{FE}$ ) , less than 1 c $m^2$/Vs, they require a driving IC in the external circuits. On the other hand, polycrystalline silicon (poly-Si) thin films have superiority in $\mu$$_{FE}$ and optical stability in comparison to a-Si film. Many researches have been done to obtain high performance poly-Si because conventional methods such as excimer laser annealing, solid phase crystallization and metal induced crystallization have several difficulties to crystallize. In this paper, a new crystallization process using a molybdenum substrate has been proposed. As we use a flexible substrate, high temperature treatment and roll-to-roll process are possible. We have used a high temperature process above 75$0^{\circ}C$ to obtain poly-Si films on molybdenum substrates by a rapid thermal annealing (RTA) of the amorphous silicon (a-Si) layers. The properties of high temperature crystallized poly-Si studied, and poly-Si has been used for the fabrication of TFT. By this method, we are able to achieve high crystal volume fraction as well as high field effect mobility.

• 한국표면공학회:학술대회논문집
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• 한국표면공학회 2001년도 추계학술발표회 초록집
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• pp.35-35
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• 2001

agnesium Oxide (MgO) with a NaCI structure is well known to exhibit high secondary electron emission, excellent high temperature chemical stability, high thermal conductance and electrical insulating properties. For these reason MgO films have been widely used for a buffer layer of high $T_c$ superconducting and a protective layer for AC-plasma display panels to improve discharge characteristics and panel lifetime. Up to now MgO films have been synthesized by lE-beam evaporation, Molecular Beam Epitaxy (MBE) and Metalorganic Chemical Vapor Deposition (MOCVD), however there have been some limitations such as low film density and micro-cracks in films. Therefore magnetron sputtering process were emerged as predominant method to synthesis high density MgO films. In previous works, we designed and manufactured unbalanced magnetron source with high power density for the deposition of high quality MgO films. The magnetron discharges were sustained at the pressure of O.lmtorr with power density of $110W/\textrm{cm}^2$ and the maximum deposition rate was measured at $2.8\mu\textrm{m}/min$ for Cu films. In this study, the syntheses of MgO films were carried out by unbalanced magnetron sputtering with various $O_2$ partial pressure and specially target power densities, duty cycles and frequency using pulsed DC power supply. And also we investigated the plasma states with various $O_2$ partial pressure and pulsed DC conditions by Optical Emission Spectroscopy (OES). In order to confirm the relationships between plasma states and film properties such as microstructure and secondary electron emission coefficient were analyzed by X-Ray Diffraction(XRD), Transmission Electron Microscopy(TEM) and ${\gamma}-Focused$ Ion Beam (${\gamma}-FIB$).

• Journal of Electrical Engineering and Technology
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• 제9권2호
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• pp.514-522
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• 2014

A new type of high precision electromagnetic suspension (EMS) which can support heavy tray along long stroke rail is proposed in this paper. Compared with the conventional EMS, the suggested moving-core typed EMS has the levitation electromagnets (EMs) on the fixed rail. This scheme has high load capability caused by iron-core and enables simple tray structure. Also it does not have precision degradation caused by heat generation from EMs, which is a drawback of conventional EMS. With these merits, the proposed EMS can be an optimal contactless linear bearing in next generation flat panel display (FPD) manufacturing process if the ability of long stroke movement is proved. So a special Section Switching Algorithm (SSA) is derived from the resultant force and moment equations of the levitated tray which enables long stroke movement of the tray. In order to verify the feasibility of the suggested SSA, a simple test-setup of the EMS with 2 Section-changes is made up and servo-controlled in the simulation and experiment. The simulation shows the perfect changeover the EMs, and the experiment shows overall control performance of under ${\pm}40{\mu}m$ gap deviations. These results reveal that the newly suggested contactless linear bearing can simultaneously achieve high load capability and precision gap control as well as long stroke.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제19권8호
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• pp.13-18
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• 2005

본 연구는 스캔 구동 회로의 변화에 따른 교류형 플라즈마 표시기의 구동 특성에 관한 것이다. 본 연구에서는 교류형 플라즈마 표시기의 용량성 부하 특성을 활용하여 스캔 라인 당 소요되는 스위치의 수를 줄일 수 있는 회로를 제안하고 그 적용 가능성을 고찰하였다. 제안된 방식의 실용화 가능성에 대한 검증을 위하여 방전 유지 전압의 변화에 따라 어드레싱 전압의 변화를 관찰하여 동적 전압 마진을 측정한 결과, 기존 방식에 비하여 9[V] 가량의 전압마진 감소가 관찰되었다. 이는 제안된 방식의 경우 선택된 전극의 스캔 기간에 이웃한 전극에 전위에 영향을 줌으로써 상호 간섭이 유발되는 효과에 의한 것으로 해석되었다. 최소 어드레싱 전압과 어드레싱 방전의 방전 지연 시간에 변화가 없는 점을 감안하면 제안된 방식의 실제 회로 적용은 가능할 것으로 사료된다.

• 조명전기설비학회논문지
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• 제22권5호
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• pp.31-40
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• 2008

최근 FPD 산업에서 물류이송장비의 전원장치로 비접촉 전원장치에 관한 연구가 활발히 진행되고 있다. 양산 라인에 적용되고 있는 물류장비의 비접촉 전원장치는 주로 직선구간을 왕복하고, 이송대차가 한 대인 경우에 적용하고 있다. 그러나 곡선 구간과 이송대차가 다수인 경우의 물류이송장비에는 적합하지 않다. 따라서 본 논문은 직 곡선 구간이 혼용되어진 구조이고, 이송대차가 한 대 이상으로 구동되는 물류이송장비의 비접촉 전원장치 시작품에 적용하였고, 적용된 비접촉 전원장치의 회로 구조는 풀 브릿지 구조를 갖는 직 병렬 공진 DC/DC 컨버터 회로로 하여 회로해석, 제어방법, 특성평가, 실험을 통한 적용 가능성에 대한 연구를 행하였다. 또한 비접촉 전원장치의 전체 제어는 1차측 전원공급장치에 일정한 공진전류를 제어하기 위해 듀티 제어를 사용하였고, 2차측 전원공급장치의 출력전압을 일정하게 유지하기 위해 다수의 이송대차가 자체 제어를 하도록 구성하였다. 실제 2대의 이송대차를 제작하여 직 곡선 구간을 구성하고, 물류이송장비를 운용하여 양호한 특성으로 적용 가능함을 알 수 있었다.

• 전력전자학회논문지
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• 제15권2호
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• pp.111-118
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• 2010

최근 저전력 소모와 얇은 두께, 무수은, 다양한 색표현력, 빠른 응답 속도 등의 다양한 장점을 가진 LED(Light Emitting Diode)를 광원으로 이용하는 LCD(Liquid Crystal Display) TV가 큰 주목을 받고 있다. 이러한 LCD TV의 화면을 균등한 휘도로 표현하기 위해 기존의 구동회로는 다 채널의 LED를 정전류로 제어하는 DC/DC 컨버터가 각각 적용되었고, 이는 원가 상승 및 효율 저하의 원인이 되었다. 이를 해결하기 위하여 본 논문에서는 각 LED 채널에 적용되는 DC/DC 컨버터 없이 트랜스포머를 이용하여 모든 LED 채널의 정전류 제어가 가능한 고효율 저가격형 구동회로를 제안하고, 이에 대한 이론적 해석을 제시한다. 최종적으로 제안 회로를 46" LCD TV 백라이트에 적용하여 그 실험 결과를 바탕으로 제안 회로의 타당성을 검증한다.