Resist characteristics and molecular structure control of polystyrene by plasma polymerization method (플라즈마중합법에 의한 폴리스티렌의 분자구조 제에 및 레지스트 특성 조사)
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- The Transactions of the Korean Institute of Electrical Engineers
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- v.45 no.3
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- pp.438-443
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- 1996