Several applications of radio-frequency (RF) thermal plasma to film formation are reviewed. Three types of injection plasma processing (IPP) technique are first introduced for the deposition of materials. Those are thermal plasma chemical vapor deposition (CVD), plasma flash evaporation, and plasma spraying. Radio-frequency (RF) plasma and hybrid (combination of RF and direct current(DC)) plasma are next introduced as promising thermal plasma sources in the IPP technique. Experimental data for three kinds of processing are demonstrated mainly based on our recent researches of depositions of functional materials, such as high temperature semiconductor SiC and diamond, ionic conductor $ZrO_2-Y_2O_3$ and high critical temperature superconductor $YBa_2Cu_3O_7-x$. Special emphasis is given to thermal plasma flash evaporation, in which nanometer-scaled clusters generated in plasma flame play important roles as nanometer-scaled clusters as deposition species. A novel epitaxial growth mechanism from the "hot" clusters namely "hot cluster epitaxy (HCE)" is proposed.)" is proposed.osed.
Indium tin oxide (ITO) thin film is a transparent electrode, which is widely applied to solar battery, illuminators, optical switches, liquid crystal displays (LCDs), plasma display panels (PDPs), and organic light emitting displays (OLEDs) due to its easy formation on glass substrates, goof optical transmittance, and good conductivity. ITO thin film is generally fabricated by various methods such as spray, CVD, evaporation, electron gun deposition, direct current electroplating, high frequency sputtering, and reactive DC sputtering. However, some problems such as peaks, bumps, large particles, and pin-holes on the surface of ITO thin film were reported, which caused the destruction of color quality, the reduction of device life time, and short-circuit. Chemical mechanical polishing (CMP) processis one of the suitable solutions which could solve the problems.
Transparent conductive ZnO/Ag/ZnO (ZAZ) multilayer films were deposited by Radio frequency (RF) magnetron sputtering and direct current (DC) magnetron sputtering. The effects of post deposition vacuum annealing temperature on the structural, electrical and optical properties of the ZAZ multilayer films were investigated. The thickness of ZAZ films is kept constant at ZnO 50 nm/Ag 5nm/ZnO 45 nm, while the vacuum annealing temperatures were varied from 200 and $400^{\circ}C$, respectively. As-deposited ZAZ films exhibit a sheet resistance of $6.1{\Omega}/{\Box}$ and optical transmittance of 72.7%. By increasing annealing temperature to $200^{\circ}C$, the resistivity decreased to as low as $5.3{\Omega}/{\Box}$ and optical transmittance also increased to as high as 82.1%. Post-deposition annealing of ZAZ multilayer films lead to considerably lower electrical resistivity and higher optical transparency, simultaneously by increased crystallization of the films.
D.C. traction systems can cause stray currents which could adversely affect both the railway concerned and outside installations, when the return circuit is not sufficiently insulated versus earth. As experience for several decades has not shown evident corrosion effects from a.c. traction systems and actual investigations are not completed, stary currents flowing from a d.c. traction system is issued. D.C. traction systems can cause stray currents can be corrosion and subsequent damage of metallic structures, where stray currents leave the metallic structures. There is also the risk of overheating, arcing and fire and subsequent danger to persons and equipment. Any provision employed to control the effects of stray currents be checked, verified and validated. Direct measurement of stray current is difficult and a provision employed to control the effects of stray currents is proposed.
In an aqueous piperacillin sodium solution, a well-defined single wave or single peak was observed by direct current(DC) polarography or differential pulse polarography(DPP). The peak potential change per pH unit was -54 mV in the phosphate buffer at $18^{\circ}C$, which indicated that protons were involved in the electrochemical reduction of the 2,3-dioxopiperazine moiety of piperacillin sodium with a $H^{+}e^{-}$ ratio of one. Using a phosphate buffer of pH 4.3, the $1.0{times}10^{-7}$ M piperacillin sodium single peak could be determined by DPP with relative standard deviation of 1.6 %(n=3). Piperacillin sodium could be analyzed with-out interference from penicillin G-potassium, which enabled the employment of DPP as a fast and simple technique for monitoring the synthetic process of the antibiotic.
HVDC(High Voltage Direct Current) 시스템은 무효전력의 독립적인 제어가 가능하여 계통의 안정적인 연계가 가능하다. 또한, 멀티 터미널 DC grid 구성이 가능해 다수의 계통을 통합 연계할 수 있는 장점이 있다. HVDC 시스템은 단위 유닛인 서브모듈로 구성된 MMC(Modular Multi-level Converter) 구조를 갖으며 밸브 단위로 시스템이 구성된다. VSC(Voltage Source Converter) 밸브는 IEC 62501 기반의 규격을 바탕으로 하드웨어 설계의 건전성과 성능을 확인할 수 있다. 본 논문에서는 (주)효성이 개발중인 200MW 모듈형 멀티레벨 컨버터 밸브 단위의 성능과 설계의 건전성을 확인하기 위해 밸브단위 운전시험 회로를 구성하였으며, 운전 시험 결과를 분석하였다.
In order to explore the comprehensive evaluation means of the extent of hydraulic fracturing region in coal seams, we analyzed the feasibility of detecting the response of coal rock direct current (DC) apparent resistivity to hydraulic-fracturing using Archie's theory, and conducted experimental researches on the response of DC resistivity in the hydraulic fracturing process using small-scale coal rock samples. The results show that porosity and water saturation are the two factors affecting the apparent resistivity of coal rock while hydraulic fracturing. Water has a dominant effect on the apparent resistivity of coal rock samples. The apparent resistivity in the area where water flows through is reduced more than 50%, which can be considered as a core affect region of hydraulic fracturing. Stress indirectly impacts the apparent resistivity by changing porosity. Before hydraulic fracturing, the greater axial load applied, the more serious the rupture in the samples, resulting in the greater apparent resistivity. Apparent resistivity testing is a potential regional method to evaluate the influence range of hydraulic fracturing in coal seams.
In Floating PV (Photovoltaic) systems, PV modules are installed on water by utilizing the surface of idle water such as a reservoir and multipurpose dam. A floating PV system, therefore, has the advantage of efficiency in national land use and improved energy yield owing to cooling effect compared to on-land PV systems. Owing to the limitation of installation environment for a floating PV system, the system, however, has the disadvantage of an increase in transmission distance of DC (Direct current) cables. A longer transmission distance of a DC cable results in greater power loss due to a voltage drop. This leads to a decline in economic feasibility for the floating PV system. In this paper, the economic analysis for 10 floating PV systems installed in a reservoir has been conducted in terms of a change in annual power sales according to the variation of transmission losses depending on the factors affecting the voltage drop, such as transmission distance, cross-section area of underwater cable, the presence of joint box, and PV capacity.
In this paper, Characteristics of the ITO thin film deposited were analyzed using DC magnetron sputtering in order to investigate the deposition conditions of ITO thin film for transparent electrode. The experiment conditions were atmospheric pressure from 1 to 3[mTorr] with 1 [mTorr] step, bias electric voltage ranged from 260[V] to 330[V] with 10[V] step. The transmittance, refractive index and surface and cross-sectional shape of the deposited thin film were measured with an UV.-VIS. spectrophotometer, ellipsometer and SEM. Such condition as 1~2[mTorr] and near 300[V] voltage the transmittance was over 90[%] and the refractive index more than 2. Therefore, it was confirmed that the appropriate condition for making a highly transparent conductive electrode.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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2012.02a
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pp.389-389
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2012
Molybdenum is one of the most important materials used as a back ohmic contact for $Cu(In,Ga)(Se,S)_2$ (CIGS) solar cells because it has good electrical properties as an inert and mechanically durable substrate during the absorber film growth. Sputter deposition is the common deposition process for Mo thin films. Molybdenum thin films were deposited on soda lime glass (SLG) substrates using direct-current planar magnetron sputtering technique. The outdiffusion of Na from the SLG through the Mo film to the CIGS based solar cell, also plays an important role in enhancing the device electrical properties and its performance. The structure, surface morphology and electrical characteristics of Mo thin films are generally dependent on deposition parameters such as DC power, pressure, distance between target and substrate, and deposition temperature. The aim of the present study is to show the resistivity of Mo layers, their crystallinity and morphologies, which are influenced by the substrate temperature. The thickness of Mo films is measured by Tencor-P1 profiler. The crystal structures are analyzed using X-ray diffraction (XRD: X'Pert MPD PRO / Philips). The resistivity of Mo thin films was measured by Hall effect measurement system (HMS-3000/0.55T). The surface morphology and grain shape of the films were examined by field emission scanning electron microscopy (FESEM: Hitachi S-4300). The chemical composition of the films was obtained by the energy dispersive X-ray spectroscopy (EDX). Finally the optimum substrate temperature as well as deposition conditions for Mo thin films will be developed.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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