• 제목/요약/키워드: deposition condition

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어븀-실리사이드/p-형 실리콘 접합에서 쇼트키 장벽 높이 변화 (Change of Schottky barrier height in Er-silicide/p-silicon junction)

  • 이솔;전승호;고창훈;한문섭;장문규;이성재;박경완
    • 한국진공학회지
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    • 제16권3호
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    • pp.197-204
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    • 2007
  • p-형 실리콘 기판 위에 수 ${\AA}$ 두께의 어븀 금속을 증착하고, 후열처리 과정을 통하여 어븀-실리사이드/p-형 실리콘 접합을 형성하였다. 초고진공 자외선 광전자 분광 실험을 통하여 증착한 어븀의 두께에 따라 어븀-실리사이드의 일함수가 4.1 eV까지 급하게 감소하는 것을 관찰하였으며, X-ray 회절 실험에 의하여 형성된 어븀 실리사이드가 주로 $Er_5Si_3$상으로 구성되어 있음을 밝혔다. 또한, 어븀-실리사이드/p-형 실리콘 접합에 알루미늄 전극을 부착하여 쇼트키 다이오드를 제작하고, 전류전압 곡선을 측정하여 쇼트키 장벽의 높이를 산출하였다. 산출된 쇼트키 장벽의 높이는 $0.44{\sim}0.78eV$이었으며 어븀 두께 변화에 따른 상관 관계를 찾기 어려웠다. 그리고 이상적인 쇼트키 접합을 가정하고 이미 측정한 일함수로부터 산출한 쇼트키 장벽의 높이는 전류-전압 곡선으로부터 산출한 값에 크게 벗어났으며, 이는 어븀-실리사이드가 주로 $Er_5Si_3$ 상으로 구성되어 있고, $Er_5Si_3/p-$형 실리콘 계면에 존재하는 고밀도의 계면 상태에 기인한 것으로 사료된다.

인라인 스퍼터링에 의한 저항막 방식 터치패널용 ITO 기판 제조공정 최적화 기술 (Process Optimization of ITO Film on PC Substrate Deposited by In-line Sputtering Method for a Resistive-type Touch Panel)

  • 안민형;조의식;권상직
    • 한국진공학회지
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    • 제18권6호
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    • pp.440-446
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    • 2009
  • 본 연구에서는 인라인 스퍼터링 공정을 이용하여 저항막 방식 터치패널에 적용이 가능한 인듐 주석 산화물(indium tin oxide: ITO)기판 제조 공정을 최적화하였다. 플라스틱 기판으로 고분자 기판인 폴리카보네이트(polycarbonate : PC) 기판을 사용하였으며 면저항 $500{\pm}50\;{\Omega}$/□, 면저항 균일도 10 % 이내, 투과율 87 %(at550nm)이상, 두께 $120{\sim}250\;{\AA}$의 조건을 만족하는 ITO 기판의 공정 최적화를 위한 실험을 진행하였다. 스퍼터링 공정은 초기 진공도 $1{\times}10^{-6}\;torr$ 일 때 상온에서 DC 전압을 인가하여 진행되었으며 산소/알곤 가스의 비율, 인가 전압, 공정 압력, 기판의 이송 속도를 변수로 하여 요구되는 ITO 박막의 특성에 가장 최적화된 공정 조건을 형성하였다. 인라인 방식의 스퍼터 장비에서 최적화된 공정 조건은 실제 생산 라인에 적용이 가능할 것으로 판단되며 향후 지속적인 연구를 통해 현재 수입에 의존하고 있는 ITO 기판 제조기술의 국산화에 기여할 수 있을 것이다.

1D deformation induced permeability and microstructural anisotropy of Ariake clays

  • Chai, Jinchun;Jia, Rui;Nie, Jixiang;Aiga, Kosuke;Negami, Takehito;Hino, Takenori
    • Geomechanics and Engineering
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    • 제8권1호
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    • pp.81-95
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    • 2015
  • The permeability behavior of Ariake clays has been investigated by constant rate of strain (CRS) consolidation tests with vertical or radial drainage. Three types of Ariake clays, namely undisturbed Ariake clay samples from the Saga plain, Japan (aged Ariake clay), clay deposit in shallow seabed of the Ariake Sea (young Ariake clay) and reconstituted Ariake clay samples using the soil sampled from the Saga plain, were tested. The test results indicate that the deduced permeability in the horizontal direction ($k_h$) is generally larger than that in the vertical direction ($k_v$). Under odometer condition, the permeability ratio ($k_h/k_v$) increases with the vertical strain. It is also found that the development of the permeability anisotropy is influenced by the inter-particle bonds and clay content of the sample. The aged Ariake clay has stronger initial inter-particle bonds than the young and reconstituted Ariake clays, resulting in slower increase of $k_h/k_v$ with the vertical strain. The young Ariake clay has higher clay content than the reconstituted Ariake clay, resulting in higher values of $k_h/k_v$. The microstructure of the samples before and after the consolidation test has been examined qualitatively by scanning electron microscopy (SEM) image and semi-quantitatively by mercury intrusion porosimetry (MIP) tests. The SEM images indicate that there are more cut edges of platy clay particles on a vertical plane (with respect to the deposition direction) and there are more faces of platy clay particles on a horizontal plane. This tendency increases with the increase of one-dimensional (1D) deformation. MIP test results show that using a sample with a larger vertical surface area has a larger cumulative intruded pore volume, i.e., mercury can be intruded into the sample more easily from the horizontal direction (vertical plane) under the same pressure. Therefore, the permeability anisotropy of Ariake clays is the result of the anisotropic microstructure of the clay samples.

무전해 니켈 도금된 폴리스티렌 복합 입자 제조 및 도금 조건의 영향 (Preparation of Composite Particles via Electroless Nickel Plating on Polystyrene Microspheres and Effect of Plating Conditions)

  • 김병철;박진홍;이성재
    • 폴리머
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    • 제34권1호
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    • pp.25-31
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    • 2010
  • 무전해 니켈 도금법을 사용하여 단분산 폴리스티렌 입자 표면에 니켈이 도금된 고분자 코어/금속 쉘의 복합 입자를 제조하였다. 단분산 입자는 분산중합으로 제조하였는데 사용한 분산매질의 종류에 따라 다양한 크기의 단분산 폴리스티렌 입자를 제조할 수 있었다. 그 중 직경 $3.4\;{\mu}m$ 크기의 단분산 폴리스티렌 입자를 선택하여 무전해 니켈 도금을 시도하였다. 니켈 도금에 영향을 미치는 도금 조건을 파악하기 위하여 활성화제인 $PdCl_2$의 농도, 착화제인 glycine의 농도와 니켈 도금액의 투여 시간에 따른 니켈 도금된 폴리스티렌 복합 입자의 모폴로지를 관찰하였다. 본 연구조건하에서는 $PdCl_2$의 농도 0.4 g/L, glycine 농도 1 M 이상인 경우 폴리스티렌 입자 위에 균일한 두께의 니켈층을 형성하였고 석출되는 니켈도 적었다. 도금 시간 2 시간 중에서 동일양의 도금액을 투여 속도를 달리하며 도금한 경우 모폴로지 상의 뚜렷한 차이는 없었으나 0.15 mL/min 속도로 1시간 동안 투여한 경우가 상대적으로 균일한 도금 특성을 보여 주었다.

강우유출수 모래 필터의 여과기능 및 폐색 현상에 대한 필터 여재 깊이의 영향 평가 (Evaluation of the Impact of Filter Media Depth on Filtration Performance and Clogging Formation of a Stormwater Sand Filter)

  • SegismundoEzequielQ.;이병식;김이형;구본홍
    • 한국물환경학회지
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    • 제32권1호
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    • pp.36-45
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    • 2016
  • 강우유출수 오염물 제거를 위한 침투시설에서 모래필터가 널리 적용된다. 공극폐색, 즉 필터 여재에 부유물이 침전되면 침투능이 저하되어 침투시설의 기능과 수명이 단축된다. 침투시설의 효과적인 설계 및 유지관리를 위해 모래필터 내의 물리적, 화학적, 생물학적 폐색 특성을 알아야 한다. 이 논문에서는 여재 깊이 변화에 따른 모래필터의 물리적 폐색 특성변화를 검토하였다. 연직방향, 변수위 침투조건에서 시행한 실험실 컬럼 침투실험으로부터 이들 특성변화를 관찰하였다. 실험결과, 폐색현상의 결과로서 필터의 여재 깊이가 증가할수록 부유물 제거효율이 증가하지만, 필터의 성능유지 기간은 감소하는 현상을 보였다. 모든 여재 깊이 조건에서 여재 깊이의 상부 15%에서 100~250 μm의 부유물이 침전되면서 폐색현상이 발현하는 조기폐색이 발생했다. 결과에 근거하여 침투시설의 첫번째 유지관리 시침투능 확보를 위해 여재깊이의 상부 15%를 긁어내는 방법을 제안할 수 있었다.

호안 녹화용 매트 시공 후 식생변화 모니터링 - 성남시 탄천을 중심으로 - (Monitoring Vegetation Changes after Constructing the Vegetation-mat Measures for Greening in Embankment - A Case Study of Tancheon, Seongnam -)

  • 이수동;강현경;장한솔
    • 한국환경생태학회지
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    • 제24권3호
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    • pp.302-317
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    • 2010
  • 본 연구는 탄천내 기존 콘크리트 호안블럭을 제거하지 않고 호안녹화용 매트를 적용하여 경관개선 및 생물서식기반을 조성하고자 하는 지역의 복원 효과 확인 및 관리방안을 제안하고자 하였다. 모니터링 결과 식물상은 2006년 18과 38종 3변종 총 41종류, 2007년 19과 56종 3변종 총 59종류, 2008년 29과 59종 8변종 총 64종류로 매년 식물종이 증가하고 있었다. 식물상 분포의 특징은 공법 적용지를 중심으로 식재한 물억새, 수크령 등이 세력을 형성하고 있었으며 범람시 토사 퇴적으로 자생종 중심의 다양한 종이 출현하고 있어 생태적으로 양호한 상태이었다. 현재는 자생종이 우점하고 있었으나 주기적인 범람에 의한 교란 유발 종과 외래종의 증가가 예상되므로 장기모니터링을 통해 관리가 이루어져야 양호한 수변생태계가 형성될 수 있을 것이다. 결국 하천천이 초기식생과 교란지 식생이 혼재되어 나타나는 생육양상이었다. 이와 같은 호안 녹화용 식생매트 공법은 콘크리트를 제거하지 않고 상부에 코이어 매트를 포설하여 불량경관을 개선할 수 있을 뿐만 아니라 식물생육의 기반을 제공하여 계속적인 식물종의 증가에 따른 종다양성을 확보하는데 효과가 있는 것으로 분석되었다.

임상검사 및 설문조사를 통한 청소년의 치주상태 연구 (Clinical Assessment and Survey of Periodontal Condition among Adolescents)

  • 김태형;이대우;김재곤;양연미
    • 대한소아치과학회지
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    • 제43권3호
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    • pp.227-236
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    • 2016
  • 치주질환은 3대 구강질환으로 성인 대상으로는 연구가 활발히 이루어지고 있다. 하지만, 청소년의 경우 치주질환이 증가하는 추세에도 불구하고 청소년의 치주상태에 대한 관심은 부족한 실정이다. 본 연구는 청소년의 치주상태와 치주질환 유병률을 조사하고 그 기여요인을 파악하고자 시행되었다. 전주시 10세, 13세, 16세 청소년을 대상으로 임상 검사 및 설문조사를 실시하여 다음과 같은 결과를 얻었다. 치주질환 유병률과 치태지수는 남자가 여자보다 높게 관찰되었고(p < 0.05), 13세에서 가장 높은 치주질환 유병률(73.3%)과 치태지수가 관찰되었다(p < 0.05). 치아별 치태지수의 경우 하악 중절치가 가장 높게 나타났다. 예상위험요인과 관련한 설문조사에서 13세의 구강 위생관리가 가장 부족하게 나타났다. 스케일링을 받은 환자에서 치태지수가 높게 관찰되었으며(p < 0.05), 스트레스가 많은 청소년에게서 치석 침작 및 치태지수가 증가하였다(p < 0.05).

Surface Chemical Aspects of Coagulation, Deposition, and Filtration Processes: Variation of Electrokinetic Potential at Metal Oxide-Water and Organic-Water Interfaces in the $Na^+$ and $Ca^{2+}$ Ion Solutions

  • Kim, Sung-Jae
    • Environmental Sciences Bulletin of The Korean Environmental Sciences Society
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    • 제4권3호
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    • pp.173-183
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    • 2000
  • This study measured the zeta potential of both latex colloidal particles with carboxylate surface groups and glass beads (collectors) with silanol surface group employing various solution with different chemical characteristics. The results have been compared with the surface chemistry theory. The zeta potential of the particle and collector increased with increasing pH up to 5.0 regardless of the solution chemistry. For a monovalent electrolyte solution(sodium chloride solution) the zeta potential steadily increased until the pH reached 9.5. In contrast, little change in zeta potential was made between 5.0 and 9.5 for a divalent electrolyte solution (sodium chloride solution) the zeta potential steadily increased until the pH reached 9.5. In contrast, little change in zeta potential was made between 5.0 and 9.5 for a divalent electrolyte solution (calcium chloride solution). In other words, the more the pH decreases, the larger the effect of neutral salts, such as NaCl and CaCl$_2$, have on the ζ-potential values. In this study, the PZPC(point of zero proton condition) of the particle and collector occurred below a pH of 3.1, H(sup)+ and OH(sup)- acted as a PDI (potential determining ion), and Na(sup)+ acted as an IDI(indifferent ion). The magnitude of the negative ζ-potential values of the particle and collector monotonically increased as the concentrations of Na(sup)+ or Ca(sup)2+([Na(sup)+] or [Ca(sup)2+]) decreased (the values of pNa or pCa increased). In the case of latex particles, the ζ-potential should aproach zero (isoelectric point; IEP) asymptotically as the pNa approaches zero, while in the case of calcium chloride electrolyte, ζ-potential reversal may be expected to occur around 3.16$\times$10(sup)-2MCaCl$_2$(pCa=1.5). pH, valance and ionic strength can be used in various ways to improve the water treatment efficiency by modifying the charge characteristics of the particle and collector. Predictive capability is far less certain when EDL(electrical double layer) repulsive forces exist between the particle and collector.

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당뇨병성 궤양에 사용되는 레이저의 특성에 대한 연구 (Review of the Properties of the Laser and the Spectrum of Laser Instruments for Diabetic Ulcer)

  • 강기완;강자연;정민정;김홍준;서형식;장인수
    • 한방안이비인후피부과학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.14-23
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    • 2016
  • Objectives : One of major complications of diabetes, diabetic ulcer is also one of the main reasons for amputation, and the prevalence rate is 4-10%. Laser therapy is widely used for leg ulcer and diabetic ulcer, and it is known to improve wound epithelialization, cellular content, and collagen deposition. The purpose of this study is to investigate the properties of the laser and the spectrum of laser instruments for diabetic ulcer. Methods : We performed literature search using the PubMed, Cochrane, CINAHL and Web of science for the data in English. In addition, other databases were checked for different languages such as OASIS and NDSL for the literature in Korean, CNKI in Chinese, and CiNii and J-STAGE written in Japanese. We excluded all review article and experimental studies, and only clinical studies using laser or light emitting diode (LED) for diabetic ulcer were selected. Results : A total twenty papers were selected. Different light sources were used as follows: LED, HeNe, InGaAlP, GaAlAs, GaAs, CO2, and KTP. The number of LED studies was 9, and HeNe laser was 7, and InGaAlP and GaAlAs laser was 2, GaAs, CO2, and KTP laser was 1 for each. Various energy density of the clinical study were reported. Conclusions : It is suggested that to select appropriate laser type and give the adequate output power to treat diabetic ulcer. Further evaluation and research for the condition of laser therapy to treat diabetic ulcers are warranted.

프레스톤튜브를 이용한 복단면 하도의 하상전단응력 측정 및 분석 (Measurement and Analysis of Bed Shear Stresses in Compound Open Channels using the Preston Tube)

  • 이두한;김명환;김원;서일원
    • Ecology and Resilient Infrastructure
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    • 제4권4호
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    • pp.207-215
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    • 2017
  • 하도의 흐름 저항, 측벽 보정, 유사량, 하도 침식과 퇴적, 하도 설계 등의 수리학적 문제는 하상전단응력의 분포와 밀접한 관계가 있으나 하상전단응력 분포를 측정하는 것은 쉽지 않다. 본 연구에서는 간편하게 하상전단응력을 측정할 수 있는 프레스톤튜브를 이용하여 복단면의 하도의 하상전단응력 분포를 측정하고 수심비에 따른 전단응력분포 특성을 고찰하였다. 이를 위해 프레스톤튜브를 제작하여 검정실험을 통해 검정식을 개발하였다. 실험은 5가지 수심비 조건에 대해서 수행하여 전단응력분포를 측정하였다. 복단면 하도의 전단응력분포 특성은 기존 실험연구와 대체로 일치하였으며, 레이놀즈수 증가로 발생하는 전단응력의 변동성, 주수로 전단응력의 변곡점 형성, 홍수터 접합부 부근 전단응력 분포 특성 등에서 차이점을 확인하였다. 본 연구를 통해 프레스톤튜브를 이용한 하상전단응력측정 적용성을 확인하였으며 레이놀즈수와 수심비에 따른 복단면 하도의 전단응력분포 특성을 제시하였다.