Numerical Study on Wafer Temperature Considering Gap between Wafer and Substrate in a Planetary Reactor (Planetary 형 반응기에서 웨이퍼와 기판 사이의 틈새가 웨이퍼 온도에 미치는 영향에 대한 연구)
-
- Journal of the Semiconductor & Display Technology
- /
- v.16 no.3
- /
- pp.1-7
- /
- 2017