Characterization of Piezoelectric Microspeaker Fabricated with C-axis Oriented ZnO Thin Film (C-축 배향된 ZnO 박막을 이용하여 제작한 압전형 마이크로 스피커의 특성 평가)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.19 no.6
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- pp.531-537
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- 2006