열증착방법에 의해 제조된 Si(100)/X(500$\AA$ )/Zn(1000$\AA$ ) 이중박막 성장에 관한 연구
(A Study on the growth of Si(001)/X(500$\AA$ )/Zn(1000$\AA$ ) double layers deposited by thermal evaporation process.)
-
- 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
- /
- 한국전기전자재료학회 2001년도 하계학술대회 논문집
- /
- pp.1026-1029
- /
- 2001