• Title/Summary/Keyword: control vibration

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A study on dynamic design for the sub-micro vibration control of substructure in semi-conductor factory (반도체공장에서 미진동제어를 위한 격자보의 동적 설계에 관한 연구)

  • 이홍기;권형오;김두훈
    • Proceedings of the Korean Society for Noise and Vibration Engineering Conference
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    • 1994.10a
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    • pp.52-57
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    • 1994

  • 본 논문에서는 실험적 모우드해석법을 이용하여 현재, 국내에서 가동 또는 건설 중인 반도체공장의 세가지 유형에 대한 격자보의 동적특성을 분석, 결정하고 이를 격자보의 동적설계에 활용하고자 한다.

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