Optimization of vertical SOI slot optical waveguide with confinement factor and sensitivity for integrated-optical biochemical sensors (구속계수와 감지도에 기반한 집적광학 바이오케미컬 센서에 적합한 수직 SOI 슬롯 광 도파로 최적화)
-
- Journal of Sensor Science and Technology
- /
- v.30 no.3
- /
- pp.131-138
- /
- 2021