Effect of Si Content on Thermal Stability and Mechanical Properties of Ti-Si-N Films using Hybrid Coating System (하이브리드 코팅 시스템을 이용한 Ti-Si-N 박막의 Si 함량에 따른 열화학적 특성 및 기계적 특성 평가)
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- Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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- 한국진공학회 2008년도 제35회 하계학술대회 초록집
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- pp.121-121
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- 2008