Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference (한국진공학회:학술대회논문집)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

Effect of Si Content on Thermal Stability and Mechanical Properties of Ti-Si-N Films using Hybrid Coating System

하이브리드 코팅 시스템을 이용한 Ti-Si-N 박막의 Si 함량에 따른 열화학적 특성 및 기계적 특성 평가

  • 최종원 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김도근 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 어광준 (한국기계연구원 부설 재료연구소) ;
  • 김종국 (한국기계연구원 부설 재료연구소)
  • Published : 2008.08.20
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