$O_2$ RIE 공정을 이용한 20{\mu}m$ 두께의 폴리이미드 마이크로 구조물의 제작
(Fabrication of the 20{\mu}m$ -height Polyimide Microstructure Using $O_2$ RIE Process)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1995년도 추계학술대회 논문집 학회본부
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- pp.600-602
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- 1995