Fabricated were ultra-shallow $p^+-n$ junctions on n-type Si(100) substrates using decaborane $(B_{10}H_{14})$ ion implantation. Decaborane ions were implanted at the acceleration voltages of 5 kV to 10 kV and at the dosages of $1\times10^{12}\textrm{cm}^2$.The implanted specimens were annealed at $800^{\circ}C$, $900^{\circ}C$ and $1000^{\circ}C$ for 10 s in $N_2$ atmosphere through a rapid thermal process. From the measurement of the implantation-induced damages through $2MeV^4 He^{2+}$ channeling spectra, the implanted specimen at the acceleration voltage of 15 kV showed higher backscattering yield than those of the bare n-type Si wafer and the implanted specimens at 5 kV and 10 kV. From the channeling spectra, the calculated thicknesses of amorphous layers induced by the ioin implantation at the acceleration voltages of 5 kV, 10 kV and 15 kV were 1.9 nm, 2.5 nm and 4.3 nm, respectively. After annealing at $800^{\circ}C$ for 10 s in $N_2$ atmosphere, most implantation-induced damages of the specimens implanted at the acceleration voltage of 10 kV were recovered and they exhibited the same channeling yield as the bare Si wafer. In this case, the calculated thickness of the amorphous layer was 0.98 nm. Hall measurements and sheet resistance measurements showed that the dopant activation increased with implantation energy, ion dosage and annealing temperature. From the current-voltage measurement, it is observed that leakage current density is decreased with the increase of annealing temperature and implantation energy.
Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference
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1994.11a
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pp.156-162
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1994
The existence of the elastic anisotropic channeling is based on the experimental evidences. The rotating electron pairs orbits play the role of basic bonding orbitals. The abnormal signals from ligand domain and train-membrane in cancer cell, Deformation in fatigue and creep at low stress, con duction, superconduction and semiconduction are all from the new metallic bonding orbital.
Proceedings of the Korean Vacuum Society Conference
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1998.02a
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pp.41-41
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1998
Rare earth metal films have been used as a buffer layer for growing ferroelectric t thin film or a seed layer for magnetic multilayer. But when it was deposited on s semiconductor substrates for the application of magneto-optic (MO) storage media, it i is difficult to exactly measure magnetic cons떠nts due to shunting current, and so it n needs to grow metal films on insulator substrate to reduce such effect. Recently, it w was reported that ultra-thin Pt layer were epitaxially grown on A12O:J by ion beam s sputtering in 비떠 high vacuum and it can be used as a seed layer for the growth of C Co-contained magnetic multilayer. In this stu$\phi$, Pt thin film were epi떠xially grown on AI2D3 ($\alpha$)OJ) by RF magnetron s sputtering. The crystalline structure was analyzed by transmission electron microscope ( (TEM) and Rutherford Back Scattering (RBS)/Ion Channeling. In TEM study, Pt was b believed to be twinned on AI잉3($\alpha$)01) su$\pi$ace about Pt(ll1) plane.Moreover, RBS c channeling spectra showed that minimum scattering yield of Pt(111)/AI2O:J(1$\alpha$)OJ) was 4 4% and Pt(11J)/AI2D3($\alpha$)OJ) had 3-fold symmetry.
International Journal of Advanced Culture Technology
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v.10
no.3
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pp.127-145
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2022
Vaccine diplomacy is a manifestation of competition for political influence among great powers amidst the Covid-19 pandemic's blatant illustration of ineluctable interdependency across the global community. The reinforcement of trends bolstering global polity construction intensify concomitantly with nationalist populist value and attitude expressions increasing political polarization. The interdependency graphically illustrated in the Cold War-era's mutual assured destruction incentivized competition into indirect competitive intervention in the internal politics of third actors. Indirect international influence contestations included extended, de facto challenge competitions to generate soft power on behalf of the victor, e.g., the space race. The Covid-19 pandemic has intensified this competition to offer alternative development models while intense domestic political polarization undermines the mobilizational capacities for achieving sustainable development. In contrast to multinational and multiethnic states, nation states have an inherent mobilizational advantage because of the enhanced control capabilities available to the authorities without emphasizing coercion. Control through Gramscian hegemonic mechanisms is more readily feasible in nation states through the greater feasibility of commodification of social relations by states authorities regulating and channeling social competition to encourage social mobility and creativity. The regulation of the so-called private sector serves to manage and contain social competition while channeling it to develop the institutional capacities for control and allocation of developing societal human resources. It enhances developed state control mechanisms and international influence capacities. The appeal of offers of aid and assistance to the so-called developing world becomes ever more urgent amidst Anthropocene crises including its most recent, current Covid-19 pandemic disaster.
In this study, the characteristics of magnetotelluric (MT) responses due to a three-dimensional (3-D) body are analyzed with 3-D numerical modeling. The first model for the analysis consists of a single isolated conductive body embedded in a resistive homogeneous half-space. The second model has an additional conductive overburden while the other conditions remain the same as the first one. The analysis of apparent resistivities shows well that the 3-D effects are dominant over some frequency range for the first model. Two mechanisms, current channeling and induction, for secondary electric fields due to the conductive body are analyzed at various frequencies: at high frequencies induction is more dominant than channeling, while at low frequencies channeling is more dominant than induction. Tippers have a strong relation to the position of anomalous body and the real and imaginary parts of induction vector also indicate the position of anomalous body. off-line conductive anomaly sometimes causes severe problem in 2-D interpretation. In such case, induction vector analysis can give information on the existence and location of the anomalous body. Each parameter of the second model shows similar responses as those of the first model. The only difference is that the magnitude of all parameters is decreased and that the domain showing the 3-D effects becomes narrower. As shown in this study, the analysis of 3-D effects provides a useful and effective means to understand the 3-D subsurface structure and to interpret MT survey data.
Journal of the Microelectronics and Packaging Society
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v.23
no.3
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pp.69-75
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2016
This study investigated the effect of heat treatment conditions not only on the Cr surface crack propagation behaviors but also on the Ni/Cr interfacial reaction characteristics in electroless Ni/electroplated Cr double coating layers on Cu substrate. Clear band layer of Ni-Cr solid solutions were developed at Ni/Cr interface after heat treatment at $750^{\circ}C$ for 6 h. Channeling cracks formed in Cr layer after 1 step heat treatment, that is, heat treatment after Ni/Cr plating, while little channeling cracks formed after 2 step heat treatment, that is, same heat treatments after Ni and Cr plating, respectively, due to residual stress relaxation due to crystallization of Ni layer before Cr plating.
We previously developed and presented the 3D ion implantation simulation code, TRICSI. In this paper, we performed the multiple implants into (100) silicon substrate with our recently enhanced version. Our results for the multiple implants were compared with the previously published SIMS data and obtained the good agreements. In this paper the channeling behaviour of implanted impurity and the damage accumulation are analyzed and discussed in the simple 3D structure, named the Hole structure which has a rectangular implant window.
One of the most important factors determining the properties of a material is its grain size. However, unclear grain boundaries in the image hinder an accurate measurement of grain size. We demonstrate that grain boundaries existing in the images obtained by scanning transmission electron microscopy (STEM) can be clearly distinguished by applying a Sobel filter to a tilting series of STEM images of a hydrogenation-disproportionation-desorption-recombination processed Nd2Fe14B magnet sample.
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