Effect of oxygen partial pressure on the optical and structural properties of Al doped ZnO thin films prepared by RF magnetron sputtering method (RF 마그네트론 스퍼터 방법으로 제조한 Al 도핑된 ZnO 박막의 구조 및 광학적 특성에 미치는 산소 분압비의 영향)
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- Korean Journal of Metals and Materials
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- v.46 no.4
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- pp.249-256
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- 2008