• Title/Summary/Keyword: bilayer films

Search Result 104, Processing Time 0.044 seconds

Thermal instability of Co-silicides formed by Co and Co/Ti bilayer (Co 및 Co/Ti 이중막에 의해 형성된 Co-실리사이드의 열적 불안정성)

  • 장지근;엄우용;신철상;장호정
    • Journal of the Korean Institute of Telematics and Electronics A
    • /
    • v.33A no.11
    • /
    • pp.105-111
    • /
    • 1996
  • We have invetigated the characteristics of thermal instability of Co-silicides annealed at 850$^{\circ}$C ~ 1000$^{\circ}$C for 10~90 minutes in a furance with N$_{2}$ ambient. In our experiments, Co-silicides and Co/Ti bilayer silicides were formed by depositing (Co, Ti) films on the clean Si substrates in an E-beam evaporator and performing the RTA annelaing. The sheet resistances of Co-silicides formed form Co exhibited the nearly constant value under the post-annealing time above 900$^{\circ}$C showing the increase of 30% and 60% under the conditions annealed at 900$^{\circ}$C and 1000$^{\circ}$C for 30minutes. On the other hand, there were no remarkable changes in the sheet resistance sof Co-silicides formed form Co/Ti bilayer under the post-annealing conditons below 1000$^{\circ}$C.

  • PDF

Fabrication of functional nanoparticles by layer-by-layer self-assembly method (LBL 법을 이용한 기능성 나노 입자 제조)

  • Kim, Jin-Ho;Hwang, Jong-Hee;Lim, Tae-Young;Kim, Sae-Hoon
    • Journal of the Korean Crystal Growth and Crystal Technology
    • /
    • v.19 no.6
    • /
    • pp.305-310
    • /
    • 2009
  • $TiO_2$ thin films consisting of positively charged poly (diallyldimethylammonium chloride) (PDDA) and negatively charged titanium (IV) bis (ammonium lactato) dihydroxide (TALH) were successfully fabricated on a poly (methyl methacrylate) (PMMA) by layer-by-layer (LBL) self-assembly method. By the measurement of quartz crystal microbalance (QCM), it was found that as the solution pH of TALH decreased, the deposition volume of TALH increased and the thickness of (PDDA/TALH) thin film coated on the surface of PMMA particles increased. The PMMA particles coated with the coating sequence of (PDDA/TALH)n showed the variation of color changes as a function of the number of bilayer. The number of bilayer (n) of (PDDA/TALH) thin films was 10 and 20, the values of $a^*$ and $b^*$ decreased from those of PMMA particles without coating films and the color changes was shifted to green and blue direction in the $a^*$, $b^*$ chromaticity diagram. And then, the number of n increased to 30 and 40, the values of $a^*$ and $b^*$ increased and the color changes was shifted to red and yellow direction, respectively. Finally the PMMA particles coated with $(PDDA/TALH)_{50}$ thin film showed a little same value of $a^*$ and $b^*$ with the PMMA particles without (PDDA/TALH) thin film.

Multiferroic properties of $Fe/BaTiO_3$ bilayer films ($Fe/BaTiO_3$ 이중박막의 다강성 연구)

  • Kim, Kyung-Man;Lee, Jai-Yeoul;Lee, Hee-Young
    • Proceedings of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers Conference
    • /
    • 2009.06a
    • /
    • pp.175-175
    • /
    • 2009
  • 최근 전자 소자의 소형화 집적화에 따른 대응 방안으로 한 개의 소자에 두가지 이상의 물리적 특성을 갖는 다기능성 소재의 개발에 많은 연구가 진행되고 있다. 다강체는 강유전성 (ferroelectricty ), 강자성 (ferromagnetism), 강탄성 (ferroelasticity) 중에서 두 개 이상의 현상을 나타내는 재료로, 이중에서도 특히 강유전성과 강자성을 동시에 나타내는 다강체가 학계 및 산업계로부터 집중적인 관심을 받으면서 최근 이 분야 연구가 국내 외적으로 매우 활발하게 이루어지고 있다. 이는 다강체를 이용하면 기존의 강유전 현상을 이용한 메모리소자인 FRAM이나 차세대 메모리소자로 주목을 받고 있는 MRAM을 결합한 새로운 방식의 메모리소자의 탄생이 가능할 수도 있기 때문이다. 즉, 일부 다강체가 나타내는 magnetoelectric (ME) 현상을 이용하면 자기적으로 신호를 인가하여 전기신호로 데이터를 저장하거나 또는 전기적으로 신호를 인가하여 자기적으로 데이터를 저장하는 것이 가능해지기 때문이다. 이 연구에서는 다강체 특성을 가지는 $Fe/BaTiO_3$ 이중박막을 IBSD(Ion Beam Sputter Deposition)을 이용하여 (111)Pt/Ti/$SiO_2/Si$ 기판에 증착을 하여 구조적, 전기적, 자기적 특성을 토론할 것이다.

  • PDF