Proceedings of the Materials Research Society of Korea Conference (한국재료학회:학술대회논문집)
- 1997.05a
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- Pages.117-117
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- 1997
Stress and microstructure of $WN_{x}$ bilayer films for X-ray mask
X-선 마스크 흡수체로써 텅스텐나이트라이드 이중 층의 응력과 미세구조
Abstract
Keywords