• 제목/요약/키워드: bilayer film

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$SiN_x$/고분자 이중층 게이트 유전체를 가진 Zinc 산화물 박막 트랜지스터의 저온 공정에 관한 연구 (Study on the Low-temperature process of zinc oxide thin-film transistors with $SiN_x$/Polymer bilayer gate dielectrics)

  • 이호원;양진우;형건우;박재훈;구자룡;조이식;권상직;김우영;김영관
    • 한국응용과학기술학회지
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    • 제27권2호
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    • pp.137-143
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    • 2010
  • Oxide semiconductors Thin-film transistors are an exemplified one owing to its excellent ambient stability and optical transparency. In particular zinc oxide (ZnO) has been reported because It has stability in air, a high electron mobility, transparency and low light sensitivity, compared to any other materials. For this reasons, ZnO TFTs have been studied actively. Furthermore, we expected that would be satisfy the demands of flexible display in new generation. In order to do that, ZnO TFTs must be fabricated that flexible substrate can sustain operating temperature. So, In this paper we have studied low-temperature process of zinc oxide(ZnO) thin-film transistors (TFTs) based on silicon nitride ($SiN_x$)/cross-linked poly-vinylphenol (C-PVP) as gate dielectric. TFTs based on oxide fabricated by Low-temperature process were similar to electrical characteristics in comparison to conventional TFTs. These results were in comparison to device with $SiN_x$/low-temperature C-PVP or $SiN_x$/conventional C-PVP. The ZnO TFTs fabricated by low-temperature process exhibited a field-effect mobility of $0.205\;cm^2/Vs$, a thresholdvoltage of 13.56 V and an on/off ratio of $5.73{\times}10^6$. As a result, We applied experimental for flexible PET substrate and showed that can be used to ZnO TFTs for flexible application.

NiFe/Cu/NiFe/IrMn 스핀밸브 박막소자의 자화 용이축에 따른 형상 자기이방성 (Shape Magnetic Anisotropy on Magnetic Easy Axis of NiFe/Cu/NiFe/IrMn Spin Valve Thin Film)

  • 최종구;곽태준;이상석;심정택
    • 한국자기학회지
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    • 제20권2호
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    • pp.35-40
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    • 2010
  • NiFe/Cu/NiFe/IrMn 스핀밸브 박막소자에 대해 자화 용이축에 의존하는 형상 자기이방성을 조사하였다. Ta(5 nm)/NiFe(8 nm)/Cu(2.3 nm)/NiFe(4 nm)/IrMn(8 nm)/Ta(2.5 nm) 다층박막을 증착할 때 350 Oe의 자기장으로 인가한 자화 용이축을 폭 방향 또는 길이 방향으로 설정하여 $1\;{\mu}m\;{\times}\;18\;{\mu}m$의 소자를 제작하였다. 2단자 방법으로 소자의 자기저항 곡선으로부터 자장감응도를 측정하고 자화 용이축에 따른 형상 자기이방성을 비교하였다. 측정한 소자 길이 방향의 센싱전류와 고정층의 자화 용이축이 소자 폭방향 각도가 GMR-SV 소자를 바이오센서로 활용하는데 중요한 요인임을 확인하였다.

표면수식된 프로리포솜에 의한 표적부위 지향성 약물수송체의 개발 I-갈락토스 당쇄로 표면수식된 리포솜의 간세포 렉틴 결합성- (Development of Target-Specific Drug Delivery Systems Using Glycosylated Proliposome I-Binding of Asialofetuin-Labeled Liposomes to Lectin RCA-)

  • 심창구;이창용;김종국
    • Journal of Pharmaceutical Investigation
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    • 제22권2호
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    • pp.155-161
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    • 1992
  • Although glycosylated liposomes have attracted much attention as targeting delivery systems (DDS) of drugs to specific organs which have glycoside receptors, physical instability of liposomes greatly limits their practical application. In this case, proliposomes might be a potential answer to solve this problem. Utilizing the proliposomes as tageting DDS has been a goal of our series of works; we have tried to develop DDS which form liposomes uppon adding water and can deliver drugs to specific target organs/cells such as hepatocytes. In this paper, preparation of glycosylated liposomes and binding of the liposomes with lectin (agglutinin RCA 120) was studied. Asialoletuin (AF) was selected as a model compound which has galactose terminal and is favorable for binding with galactose receptor on the surface of hepatocytes. AF was obtained by splitting the terminal N-acetylneuraminic acid (NANA) of fetuin. Small unilamellar AF-liposomes were prepared by mixing aqueous solution of AF-palmitate with thin film of phosphatidyl choline and cholesterol (30:10 w/w) formed on the innersurface of the round bottomed flask. They were successively extruded through polycarbonate membranes (0.45 mm). Palmitoyl-AF not incorporated into the liposomal bilayer was separated from liposomes by a Sepharose 4B column equilibrated with 10 mM Tris-HCI buffered saline. Lectin (agglutinin RCA 120) was added to the suspension of AF-liposomes and incubated at $37^{\circ}C$ for 2 hr. After centrifugation, the unbound lectin in the supernatant was assayed for protein. The binding of the lectin to AF-liposomes (AF content 2.8 nmole) at $37^{\circ}C$ was linear at least upto 35 mg of lectin indicating high affinity association of the lectin to AF molecules of the liposomes.

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Flexible 박막 Si태양전지 응용을 위한 SUS기판 위의 AZO-Ag 이중구조 배면전극의 전기/구조적 특성 (Electrical and structural properties of back reflecting layer with AZO-Ag bilayer structure on a stainless steel substrate for thin film Si based solar cell applications)

  • 홍창우;최용성;박재철;이종호;김태원
    • 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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    • 한국신재생에너지학회 2011년도 춘계학술대회 초록집
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    • pp.125.1-125.1
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    • 2011
  • 빛 에너지를 전기에너지로 변환하는 발전소자인 태양전지는 청정 재생 에너지원으로 최근 Si 박막 태양전지의 고 효율화를 위해 여러 기술적인 면에서 개발되어지고 있다. 현재 박막형 태양전지는 실리콘계가 주류를 이루고 있으며, 유리 혹은 유연성기판(금속 or 고분자)에 비정질 실리콘 박막을 형성시킨 태양전지와 실리콘웨이퍼의 양면에 태양전지를 형성함으로써 효율을 극대화시킨 이종접합태양전지 등이 연구되고 있다. 특히 flexible 태양전지는 hard 기판에 비해 비교적 저가인 플라스틱 필름과 금속 foil을 기판으로 이용함으로서 저가화가 용이하며, 가볍고 유연성을 갖추고 있어 휴대와 시공에 있어 매우 우수한 장점을 가지고 있다. 본 연구에서는 flexible 기판(stainless steel)을 이용하여 태양전지 내 반사막 층이 미치는 영향을 알아보기 위하여 AZO/Ag 이중구조 박막의 특성을 연구하였다. RF magnetron sputtering system을 이용하였으며, 상온에서 Ag/AZO 이중구조 박막을 제조하였다. stainless steel 기판 위에 Ag층을 25nm 두께로 증착하였으며 연속공정으로 AZO 박막을 100~500nm의 두께경사를 가지도록 성장시켰다. 이 때의 AZO/Ag 이중구조 박막의 표면 morphology는 AFM 분석결과 7nm~3nm의 값을 나타내었으며, AZO 박막의 두께가 증가할수록 rms 값이 감소하는 경향을 보여주었다. 본 발표에서는 flexible 기판 상에 성장된 AZO/Ag 이중구조 박막의 전기적, 광학적 특성 등에 관하여 추가적으로 토론한 후 태양전지 효율 중 흡수층 내 반사막 층이 미치는 역할을 알아보겠다.

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양이온성 지질이 포함된 PEG 리포솜의 세포내 이입 및 항암효력 평가 (Intracellular delivery and anti-tumor activity of polyethyleneglycol liposomes containing cationic lipid)

  • 정순화;김성규;정석현;성하수;조선행;신병철
    • Journal of Pharmaceutical Investigation
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    • 제38권3호
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    • pp.163-169
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    • 2008
  • Liposomes are spherical vesicles composed of lipid bilayer membranes. However, the conventional liposomes have been found to be plagued by rapid opsonization and taken up by the reticuloendothelial system (RES), resulting in shortened circulation time and limited intracellular uptake to target cell. In this study, polyethyleneglycol-cationic liposomes (PCL) containing cationic lipid and DSPE-mPEG were prepared by thin film cast-hydration method. The PEG liposomes had approximately $97.0{\pm}1.3\;nm$ of mean particle diameter and $-21.7{\pm}1.2\;mV$ of zeta potential value. PCL had $96.4{\pm}1.8\;nm$ of mean particle diameter and $-8.7{\pm}1.1\;mV$ of zeta potential value with a decrease of about 10 mV compared to the PEG liposomes. Loading of model drug, doxorubicin (DOX), in liposomes were carried out by using remote loading method and the loading efficiency of DOX in liposomes was about $95.0{\pm}1.9%$. Intracellular uptake and cytotoxicity of PCL were higher than that of PEG liposomes to murine B16F10 melanoma cells. In addition, anti-tumor activity of PCL was similar to that of PEG liposomes on growth of A549 human lung carcinoma in BALB/c mice. Consequently, PCL modified with cationic lipid may be applicable as anticancer drug carriers that can increase intracellular uptake and therapeutic efficacy.

이방성 자기저항측정을 이용한 NiO/NiFe 박막의 교환결합연구 (The Exchange Bias of NiO/NiFe Thin Eilm by the Measurement of Anisotropic Mngnetoresistance)

  • 김종기;김선욱;이기암;이상석;황도근
    • 한국자기학회지
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    • 제12권4호
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    • pp.143-148
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    • 2002
  • 일축이방성을 부여한 NiO/NiFe 박막을 제작하고 이들의 강한 교환결합력과 약한 교환결합력의 분포에 대하여 조사하였다. 제작된 시편들의 교환결합력의 크기는 VSM 측정과 이방성자기저항측정을 통하여 확인하였으며, 회귀분석법을 통하여 두 교환결합력의 상호관계를 조사하였다. NiO(60nm)/NiFe(10nm)시편의 경우 전체 교환결합력 중에서 차지하는 약한 교환결합력의 크기는 외부인가자장의 크기에 관계없이 일정한 비율($\alpha$=0.2~0.4)을 나타내었고 이는 약한 교환결합을 하는 영역이 일정하게 존재함을 보여준다. 교환결합력의 크기가 서로 다른 시편의 경우는 교환결합력의 크기가 작을수록 전체 교환결합력 중에서 차지하는 약한 교환결합력의 크기가 컸으며, 교환결합력의 크기가 증가할수록 그 비율이 감소하였다. 이는 약한 교환결합을 하는 영역이 일정하게 존재한다고 가정할 경우 전체의 평균 교환결합력의 크기가 감소함에 따라 그 비율이 증가한 것으로 해석할 수 있다. 따라서 NiO/NiFe 박막에서 강한 교환결합을 하는 영역과 약한 교환결합을 하는 영역이 일정하게 존재함을 알 수 있다.

Study of Energy Level Alignment at the Interface of P3HT and PCBM Bilayer Deposited by Electrospray Vacuum Deposition

  • Kim, Ji-Hoon;Hong, Jong-Am;Seo, Jae-Won;Kwon, Dae-Gyoen;Park, Yong-Sup
    • 한국진공학회:학술대회논문집
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    • 한국진공학회 2012년도 제42회 동계 정기 학술대회 초록집
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    • pp.134-134
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    • 2012
  • We investigated the interface of poly (3-hexylthiophene) (P3HT) and C61-butyric acid methylester (PCBM) by using photoelectron spectroscopy (PES). These are the most widely used materials for bulk heterojunction (BHJ) organic solar cells due to their high efficiency. Study of the BHJ interfaces is difficult because the organic films are typically prepared by spin coating in ambient conditions. This is incompatible with the interface electronic structure probes such as PES, which requires ultrahigh vacuum conditions. Study of interface requires gradual deposition of thin films that is also incompatible with the spin coating process. In this work, we used electrospray vacuum deposition (EVD) technique to deposit P3HT and PCBM in high vacuum conditions. EVD allows us to form polymer thin films onto ITO substrate in a step-wise manner directly from solutions and to use PES without exposing the sample to the ambient condition. Although the morphology of the EVD deposited P3HT films observed by optical and atomic force microscopes is quite different from that of the spin coated ones, the valence region spectra were similar. PCBM was deposited on the P3HT film in a similar manner and the energy level alignment between these two materials was studied. We discuss the relation between Voc of P3HT:PCBM solar cell and HOMO-LUMO energy offset obtained in this study.

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Cu-Phthalocyanine 유기장벽 두께에 따른 스핀소자의 전기적 특성 변화 양상 (Electrical Characteristics of Magnetic Tunnel Junctions with Different Cu-Phthalocyanine Barrier Thicknesses)

  • 배유정;이년종;김태희
    • 한국자기학회지
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    • 제22권5호
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    • pp.162-166
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    • 2012
  • Fe(100)/MgO(100)/CuPc/Co 자성터널접합 소자의 온도에 따른 전압-전류 특성 변화를 관찰하였다. 화학적 열적 안정성이 비교적 우수한 Cu-Phthalocyanine(CuPc)의 유기박막을 에피성장된 2 nm MgO(100) 박막 위에 2~10 nm 두께로 적층하여 두 강자성 Fe(100)와 Co 전극 사이의 무기-유기 복합 절연격벽으로 이용하였다. 저온 77 K에서 측정된 거대자기저항현상은 CuPc의 두께가 증가함에 따라 급격히 감소하여 10 nm의 CuPc 두께의 경우 전하축적에 의한 쌍안정 스위칭 거동(bistable switching behavior)이 관찰되었다. 이 스위칭 거동은 약 240 K의 온도에 이르면서 점차 소멸되어 상온에서는 정류기와 유사한 비대칭적 전압-전류 특성을 보였다. 이 연구에서 우리는 MgO/CuPc 층상구조에대해 유기물 스핀소자의 절연격벽뿐만 아니라 Polymer Random Access Memory(PoRAM)를 위한 응용 가능성에 대해 논하였다.

FeMn/NiFe에서 Laser 열처리에 의한 자구연구 (Magnetic Domain Structure in Laser-Annealed NiFe/FeMn Bilayers)

  • 최상대;김선욱;진대현;이미선;안진희;주호완;김영식;이기암;이상석;황도근
    • 한국자기학회지
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    • 제14권6호
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    • pp.224-227
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    • 2004
  • 교환결합된 NiFe/FeMn 이중박막에서 Laser 열처리를 통하여 국소적인 자화반전을 연구하였다. 600 G의 외부 자기장을 시편에 가하면서 DPSS Laser로 자화 반전시켰으며, 300 mW에서 15분 동안 국소적인 부분을 조사하였다. 국소적으로 자화반전 시킨 박막을 다시 원래 방향으로 역 반전시켜 자기저항(MR)곡선 피크가 감소된 것을 관찰하였다. 이는 직접적으로 Laser를 가한 박막의 손상과 계면에서 내부 확산에 의한 것으로 생각된다 국소적인 반전 자화의 자구구조는 MU을 통하여 관찰하였다. 자화반전 영역에서 새로운 자구벽을 형성하였으며, Laser가 조사된 영역근처에서 자구벽이 형성된 것을 관찰하였다.

중수소 결합 형성 방법에 따른 다결정 실리콘 광검출기의 광반응 특성 (Photo-response of Polysilicon-based Photodetector depending on Deuterium Incorporation Method)

  • 이재성
    • 전자공학회논문지
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    • 제52권11호
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    • pp.29-35
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    • 2015
  • 다결정 실리콘으로 구성된 금속-반도체-금속(MSM) 구조의 광검출기의 광 응답 특성을 개선시키기 위해 중수소를 사용한 후속 공정을 행하였다. 다결정 실리콘 내 중수소 결합 형성 방법에 따른 광검출기의 특성 변화를 전기적 측정을 통해 비교하였다. 광검출기는 Schottky 접합 특성을 갖기 위해 Al/Ti 전극 금속이 사용되었다. 본 연구에서는 광 흡수 영역인 다결정 실리콘 내에 중수소 결합을 형성시켜 다결정 실리콘 내에 존재하는 결함을 효과적으로 passivation하여 결함밀도를 감소시키고자 한다. 후속 중수소 공정으로는 열처리 확산 방법과 이온 주입 방법을 각각 사용하였다. 중수소 열처리 확산 방법을 통해서 중수소는 다결정 실리콘의 표면 근처에 대부분 존재하였다. 다결정 실리콘의 표면은 광 흡수가 일어나는 부분이므로 중수소의 결합을 통해 광 응답 특성이 개선됨을 확인하였다. 중수소 이온 주입 방법을 통해서는 중수소를 다결정 실리콘 내부로 쉽게 분포시킬 수 있지만 다결정 실리콘 표면 근처에 결함을 만들 수 있어 광 응답 특성을 저하시키는 원인이 되었다.