$SiN_x$ /고분자 이중층 게이트 유전체를 가진 Zinc 산화물 박막 트랜지스터의 저온 공정에 관한 연구
(Study on the Low-temperature process of zinc oxide thin-film transistors with $SiN_x$ /Polymer bilayer gate dielectrics)
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- 한국응용과학기술학회지
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- 제27권2호
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- pp.137-143
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- 2010