The Development of Optimal Design and Control System for Ultra-Precision Positioning on Single Plane X-Y Stage (평면 X-Y 스테이지의 초정밀 위치결정을 위한 최적 설계 및 제어시스템 개발)
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- Proceedings of the Korean Society of Precision Engineering Conference
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- 2002.05a
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- pp.348-352
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- 2002