소성 조건에 따른 WO$_3$ 계 후막센서소자의 제조 및 응답특성
(Fabrication and Gas Sensing Properties of WO$_3$ Thick Film Gas Sensor Dependent on Heat-Treatment Condition)
-
- 마이크로전자및패키징학회지
- /
- 제6권2호
- /
- pp.63-68
- /
- 1999