Damascene 공정을 이용한 $Pb(Zr,Ti)O_3$ 캐패시터 제조 연구
(Fabrication of $Pb(Zr,Ti)O_3$ Thin Film Capacitors by Damascene Process)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 2006년도 추계학술대회 논문집 전기물성,응용부문
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- pp.105-106
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- 2006