• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제22권4호
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• pp.26-31
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• 2023

We investigated the impact of NF₃ / H₂O remote plasma dry cleaning conditions on the SiO₂ etching rate at different preparation states during the fabrication of ultra-large-scale integration (ULSI) devices. This included consideration of factors like Si crystal orientation prior to oxidation and three-dimensional structures. The dry cleaning process were carried out varying the parameters of pressure, NF₃ flow rate, and H₂O flow rate. We found that the pressure had an effective role in controlling anisotropic etching when a thin SiO₂ layer was situated between Si₃N₄ and Si layers in a multilayer trench structure. Based on these observations, we would like to provide further guidelines for implementing the dry cleaning process in the fabrication of semiconductor devices having 3D structures.

• 전기전자학회논문지
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• 제18권4호
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• pp.447-455
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• 2014

본 연구에서는 4H-SiC MOSFET의 주요 문제점인 $SiC/SiO_2$ 계면의 특성을 향상시키기 위해 PECVD (plasma enhanced chemical vapor deposition) 공정을 이용하여 n-based 4H-SiC MOS Capacitor를 제작하였다. 건식 산화 공정의 낮은 성장속도, 높은 계면포획 밀도와 $SiO_2$의 낮은 항복전계 등의 문제를 극복하기 위하여 PECVD와 NO어닐링 공정을 사용하여 MOS Capacitor를 제작하였다. 제작이 끝난 후, MOS Capacitor의 계면특성을 hi-lo C-V 측정, I-V 측정 및 SIMS를 이용해 측정하고 평가하였다. 계면의 특성을 건식 산화의 경우와 비교한 결과 20% 감소한 평탄대 전압 변화, 25% 감소한 $SiO_2$ 유효 전하 밀도, 8MV/cm의 증가한 $SiO_2$ 항복전계 및 1.57eV의 유효 에너지 장벽 높이, 전도대 아래로 0.375~0.495eV만큼 떨어져 있는 에너지 영역에서 69.05% 감소한 계면 포획 농도를 확인함으로써 향상된 계면 및 산화막 특성을 얻을 수 있었다.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.88-88
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• 2009

실리콘 이종접합 태양전지 제작을 위한 주요 요소기술 중 TCO/a-Si:H 간의 계면 특성은 태양전지 효율을 결정하는 주요 인자이다. 일반적으로 투명전도 산화막으로는 ZnO:Al 또는 ITO 가 사용되고 있으며 Zn, In, Sn, O 등의 확산과 Si원소의 확산으로 TCO/a-Si:H 계면에서 $SiO_x$가 생성되어 태양전지 충진률을 감소시키는 영향을 미친다. 따라서 본 연구에서는 TCO/a-Si 계면에서 확산을 방지 하면서 패시베이션 역할을 하는 완충층을 삽입하여 실리콘 이종접합 태양전지의 효율을 높이는 연구를 수행하였다. 완충층으로 사용된 ZnO:Al의 수소화와 Zn 박막, $TiO_2$ 박막의 전기 광학적 특성을 분석하였고 AES 분석을 통해 $SiO_x$의 생성과 각 원소의 확산정도를 분석하고, CTLM을 이용하여 TCO/완충층/a-Si 간의 접촉저항을 측정하였다. 결과적으로 완충층으로 사용된 $TiO_2$(5nm)는 광특성에 큰 감소요인 없이 전기적 특성과 접촉저항 특성이 우수하였으며, 원소들간의 확산방지층으로도 우수한 특성을 보였다. ZnO:Al의 수소화는 SIMS 분석 결과 수소원소들이 계면쪽에 위치하지 않고 표면쪽에 다수 존재함으로써 패시베이션 특성을 크게 보이지 않았으나 AZO 박막의 전기적 특성은 크게 향상 시켰다. 그밖에 완충층으로 사용된 Zn 박막은 두께가 두꺼원 질수록 접촉저항의 감소를 가져왔으나 광학적 특성이 크게 감소하면서 효율적인 광포획 특성을 가지지 못하였다. 본 연구를 통하여 TCO/a-Si:H 간의 완충층 삽입을 통해 접촉저항을 낮추고 원소간의 확산을 억제하여 계면 패시베이션 특성을 향상 시킬수 있었다.

• 공업화학
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• 제8권4호
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• pp.582-588
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• 1997

고체산 촉매인 헤테로폴리산 촉매를 이용하여 대기오염 방지를 위한 옥탄가 향상제인 TAME, ETBE 및 MTBE 합성반응에 대한 실험을 고정층 상압유통식 반응장치에서 수행하였다. 일반적으로 TAME, ETBE 및 MTBE 합성반응에서 헤테로폴리산에 hetero원자와 poly원자를 치환시켜 비교한 결과, 배위된 poly원자가 W, hetero원자가 Si인 $H_4SiW_{12}O_{40}$ 촉매의 활성이 가장 우수하였고, 또한 치환된 금속에 따라 촉매의 활성이 달랐으며 이는 촉매의 산성질과 관련이 있음을 알 수 있었다. 헤테로폴리산 촉매를 이용한 합성반응에서 TAME 경우는 $FeHPW_{12}O_{40}$과 $K_3PM_{o12}O_{40}$이 비교적 활성이 좋았으나, ETBE나 MTBE 경우에 비해서는 다소 활성이 낮았다. 그리하여 본 연구에서는 활성이 좋은 헤테로폴리산 촉매들을 선정하여 각각에 대하여 1:1로 다음과 같이 혼합하여 $H_4SiW_{12}O_{40}$ : $Sr_2SiW_{12}O_{40}$, $H_4SiW_{12}O_{40}$ : $NaH_2PW_{12}O_{40}$, $Fe_{1.5}PW_{12}O_{40}$ : $Mg_2SiW_{12}O_{40}$ 및 $Mg_2SiW_{12}O_{40}$ : $Ba_2SiW_{12}O_{40}$ 실험한 결과, 혼합촉매들이 각각의 단일성분 촉매때보다 TBA의 전화율과 ETBE나 MTBE의 선택율이 더욱 향상되었음을 알 수 있었다.

• 천문학회보
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• 제39권2호
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• pp.112.2-112.2
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• 2014

We propose simultaneous monitoring observations of 22 GHz $H_2O$ and 43/86/129 GHz SiO masers toward ~15 evolved stars in order to investigate spatial structure and dynamical effect from SiO to $H_2O$ maser regions including mass-loss process and development of asymmetry in circumstellar envelopes. We also aim at investigating mutual association and difference between SiO and $H_2O$ masers for establishing SiO and $H_2O$ maser models coupled to hydrodynamical model of circumstellar envelope. In addition, the correlation and difference of SiO maser properties among J=1-0, J=2-1, and J=3-2 transition masers are traced according to different type of stars for constraining SiO pumping models. These scientific goals and target sources were determined based on KVN single dish and VLBI feasibility test observations at 4 bands. As a total observing time of every 2 month monitoring, about 90 and 360 hours (in average per year) are required for single dish and VLBI observations, respectively. From the 2014B observing season, these monitoring observations will be derived as one of KVN key science programs.

• 천문학회지
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• 제47권6호
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• pp.293-302
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• 2014

Simultaneous time monitoring observations of $H_2O$ $6_{16}-5_{23}$, SiO J = 1-0, 2-1, 3-2, and $^{29}SiO$ ${\upsilon}=0$, J = 1-0 lines are carried out in the direction of the Mira variable star TX Cam with the Korean VLBI Network single dish radio telescopes. For the first time, the $H_2O$ maser emission from TX Cam is detected near the stellar velocity at five epochs from April 10, 2013 (${\phi}=3.13$) to June 4, 2014 (${\phi}=3.89$) including minimum optical phases. The intensities of $H_2O$ masers are very weak compared to SiO masers. The variation of peak antenna temperature ratios among SiO ${\upsilon}=1$, J = 1-0, J = 2-1, and J = 3-2 masers is investigated according to their phases. The shift of peak velocities of $H_2O$ and SiO masers with respect to the stellar velocity is also investigated according to observed optical phases. The $H_2O$ maser emission occurs around the stellar velocity during our monitoring interval. On the other hand, the peak velocities of SiO masers show a spread compared to the stellar velocity. The peak velocities of SiO J = 2-1, and J = 3-2 masers show a smaller spread with respect to the stellar velocity than those of SiO J = 1-0 masers. These simultaneous observations of multi-frequencies will provide a good constraint for maser pumping models and a good probe for investigating the stellar atmosphere and envelope according to their different excitation conditions.

• 한국결정성장학회지
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• 제17권2호
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• pp.47-51
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• 2007

저굴절 재료인 F-doped SiOC : H 박막을 Si 웨이퍼와 유리기판위에 rf power, 기판온도, 그리고 가스유량($SiH_4,\;CF_4$ and $N_2O$)을 변수로 하여 PECVD법으로 증착하였다. 기판 온도와 rf power증가에 따라 F-doped SiOC : H 박막의 굴절률은 감소하는 경향을 보였다. $N_2O$ 가스 유량이 감소함에 따라 증착된 박막의 굴절률은 감소하였으며, rf power가 180W 기판온도 $100^{\circ}C$, 그리고 $N_2O$ 가스를 첨가하지 않은 조건에서 증착한 박막은 최소 굴절률인 1.3778을 갖는 것을 알 수 있었다. Rf power 60W에서 180W로 증가시킴에 따라 증착된 박막의 불소 함량은 1.9at%에서 2.4at%로 증가하였으며 이러한 이유로 박막의 굴절률은 감소하는 경향을 나타냈다.

• 한국세라믹학회지
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• 제35권12호
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• pp.1329-1336
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• 1998

A twt -step carbothermal reduction scheme has been employed for the synthesis of SiC whiskers in an Ar or a H2 atmosphere via vapor-solid two-stage and vapor-liquid-solid growth mechanism respectively. It has been shown that the whisker growth proceed through the following reaction mechanism in an Ar at-mosphere : SiO2(S)+C(s)-SiO(v)+CO(v) SiO(v)3CO(v)=SiC(s)whisker+2CO2(v) 2C(s)+2CO2(v)=4CO(v) the third reaction appears to be the rate-controlling reaction since the overall reaction rates are dominated by the carbon which is participated in this reaction. The whisker growth proceeded through the following reaction mechaism in a H2 atmosphere : SiO2(s)+C(s)=SiO(v)+CO(v) 2C(s)+4H2(v)=2CH4(v) SiO(v)+2CH4(v)=SiC(s)whisker+CO(v)+4H2(v) The first reaction appears to be the rate-controlling reaction since the overall reaction rates are enhanced byincreasing the SiO vapor generation rate.

• 천문학회보
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• 제46권2호
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• pp.49.1-49.1
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• 2021

We carried out simultaneous monitoring observations of five maser lines, H₂O (22 GHz), SiO 𝝊 =1, 2, J =1-0 (43.1, 42.8 GHz), and SiO 𝝊 =1, J=2-1, J =3-2 (86.2, 129.3 GHz), toward the Mira variable star WX Serpentis with the 21-m antennas of the Korean VLBI Network (KVN) in 2009-2021 (~12 years). Most spectra of the H₂O maser are well separated into two parts of two blue- and one redshifted features within ± 10 km s-1 of the stellar velocity. All detected SiO masers are generally concentrated within ± 5 km s-1 of the stellar velocity, and sometimes appear split into two components. Overall, the profiles of SiO and H₂O masers detected in WX Serpentis illustrate typical characteristics of the Mira variable. In addition, flux variations of both SiO and H₂O masers are well correlated with the optical light curve of the central star, showing a phase lag of ~ 0.1 for SiO masers and ~ 0.2 for H₂O maser. This phenomenon is considered to be the direct effect of propagating shock waves generated by the stellar pulsation, because SiO and H₂O masers are sequentially distributed at different positions with respect to the central star. In addition, we analyzed long-term trends and characteristics of maser velocities, maser ratio, and the velocity extents (the full width at zero power; FWZP). We also investigated a spectral energy distribution (SED) ranging from 1.2 to 240 ㎛ obtained using several infrared data: 2MASS, WISE, IRAS, ISO, COBE DIBRE, RAFGL, and AKARI (IRC and FIS). From the IRAS LRS and ISO SWS spectra of this star, we identified 9.7 and 12 ㎛ silicate emission features consistent with the SE6 spectrum model, corresponding to the typical AGB phase.

• 천문학회보
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• 제35권2호
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• pp.79.2-79.2
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• 2010

We present the results of simultaneous observations of SiO v=1, 2, J=1-0, $^{29}SiO$ v=0, J=1-0, and $H_2O$ $6_{16}-5_{23}$ maser lines performed with the KVN Yonsei 21 m radio telescope from 2009 Nov. to 2010 Jan (ApJ, 719, 126, 2010). We searched for these masers in 47 symbiotic stars and detected maser emission from 21 stars, giving the first time detection from 19 stars. Both SiO and $H_2O$ masers were detected from seven stars of which six stars are D-type symbiotic and one is an S-type star, WRAY 15-1470. In the SiO maser emission, the $^{28}SiO$ v=1 maser was detected from 10 stars, while the v=2 maser detected from 15 stars. In particular, the $^{28}SiO$ v=2 maser emission without the v=1 maser detection was detected from nine stars with its detection rate of 60 %, which is much higher than that of isolated Miras/red giants. The $^{29}SiO$ v=0 maser emission was also detected from two stars, H 2-38 and BF Cyg, together with the $^{28}SiO$ v=2 maser. We conclude that these different observational results between isolated Miras/red giants and symbiotic stars may be related with the presence of hot companions in a symbiotic binary system.