플라즈마중합법에 의한 헥사매틸디실록산 박막의 제조 및 전기전도특성 (A study on the fabrication and electric conduction characteristics of Hexamethyldisiloxane thin films by plasma polymerization method)
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- 대한전기학회:학술대회논문집
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- 대한전기학회 1995년도 하계학술대회 논문집 C
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- pp.1168-1170
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- 1995