• 제목/요약/키워드: X-ray microscope

검색결과 1,436건 처리시간 0.033초

근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막 면저항의 비파괴 관측 특성 연구 (Nondestructive measurement of sheet resistance of indium tin oxide(ITO) thin films by using a near-field scanning microwave microscope)

  • 윤순일;나승욱;윤영운;유현준;이영주;김현정;이기진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2004년도 추계학술대회 논문집 Vol.17
    • /
    • pp.522-525
    • /
    • 2004
  • ITO thin films $({\sim}150\;nm)$ are deposited on glass substrates by different deposition condition. The sheet resistance of ITO thin films measured by using a four probe station. The microstructure of these films is determined using a X-ray diffractometer (XRD) and a scanning electron microscope (SEM) and a atomic force microscope (AFM). The sheet resistance of ITO thin films compared $s_{11}$ values by using a near field scanning microwave microscope.

  • PDF

근접장 마이크로파 현미경을 이용한 ITO 박막 면저항의 비파괴 관측 특성 연구 (Nondestructive measurement of sheet resistance of indium tin oxide(ITO) thin films by using a near-field scanning microwave microscope)

  • 윤순일;나승욱;유현준;이영주;김현정;이기진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2004년도 하계학술대회 논문집 Vol.5 No.2
    • /
    • pp.1042-1045
    • /
    • 2004
  • ITO thin films ($\sim150nm$) are deposited on glass substrates by different deposition condition. The sheet resistance of ITO thin films measured by using a four probe station. The microstructure of these films is determined using a X-ray diffractometer (XRD) and a scanning electron microscope (SEM) and a atomic force microscope (AEM). The sheet resistance of ITO thin films compared $s_11$ values by using a near field scanning microwave microscope.

  • PDF

다층박막 거울을 이용한 단색 엑스선 획득 (Acquisition of Monochromatic X-ray Using Multilayer Mirror)

  • 천권수
    • 대한방사선기술학회지:방사선기술과학
    • /
    • 제33권3호
    • /
    • pp.179-184
    • /
    • 2010
  • 나노 공간분해능을 갖는 영상을 얻기 위한 경엑스선 현미경 시스템에서는 단색 엑스선이 요구된다. 엑스선관에서 발생되는 화이트 빔으로부터 8.4 keV의 텅스텐 $L_{\alpha}$ 특성방사선을 84% 이상 반사시킬 수 있는 5.65 nm의 단위막 두께를 가지는 C/W 다층박막 거울을 설계하였고, 이온빔 스파터링 장치를 이용하여 $50{\times}50\;mm$ 크기로 제작하였다. 제작된 C/W 다층박막 거울은 99.5% 이상의 균일도(Uniformity)를 가지며, TEM 사진을 이용해 그 구조를 확인하였다. 8.05 keV의 구리 특성방사선을 광원으로 하는 엑스선 반사율 측정 장치를 이용한 다층박막 거울의 반사율을 측정함으로써 C/W 다층박막 거울의 8.4 keV에서의 반사율을 예상할 수 있었다. 제작된 C/W 다층박막 거울과 엑스선관을 이용하여 8.4 keV의 특성방사선을 획득함으로써 단색 엑스선을 획득하였다. 이때의 반사율은 77.1%였고, 단색 엑스선의 반치폭은 0.21 keV이었다. 엑스선관에서 높은 효율로 단색 엑스선을 획득할 수 있어 실험실 규모의 경엑스선 현미경 장치의 광원으로써 사용될 수 있는 가능성을 확인하였고, 다층박막 거울의 단위막 두께를 수 나노미터로 제작한다면 17.5 keV의 몰리브덴 특성방사선에 해당하는 단색 엑스선을 얻어 유방촬영에도 적용할 수 있을 것이다.

연 X-선 현미경을 이용한 금 나노입자 세포영상 (Cellular Imaging of Gold Nanoparticles Using a Compact Soft X-Ray Microscope)

  • 권영만;김한경;김경우;김선희;윤홍화;천권수;강성훈;박성훈;정선관;윤권하
    • Applied Microscopy
    • /
    • 제38권3호
    • /
    • pp.235-243
    • /
    • 2008
  • 연 x-선 현미경은 '물의 창' 영역 ($2.3{\sim}4.4nm$)의 파장을 이용하여, 수십 nm의 분해능으로 세포를 파괴하지 않고 살아있는 상태에서 세포의 내부구조를 관찰할 수 있어 가시광선현미경과 전자현미경을 단점을 보완하는 특징을 갖는 세포 생물학 연구에 적합한 현미경이다. 그러나 기존 연 x-선 현미경은 광원으로 방사선 가속기를 이용하기 때문에 사용이 제한적이었다. 이에, 본 연구에서는 2.88nm의 연 x-선을 광원으로 사용하는 소형 연 x-선 현미경을 이용하여, 내포작용에 의해 금 나노입자를 포획한 HT1080과 MDA-MB 231 세포의 영상을 약 60nm 분해능으로 획득하였다. 금 나노입자의 세포에 대한 독성을 제거하기 위하여 폴리에틸렌 글리콜을 캡핑하였고, 2.88nm 파장의 연 x-선에 대하여 충분한 조영효과로 인하여 세포영상에서 뚜렷한 대조도를 나타내었다. 내포작용에 의해 액포에 포함되어 있는 다양한 크기의 금 나노입자 군집을 확인하였으며, 세포내부의 액포의 분포상태도 관찰할 수 있었다. 따라서 고분해능을 가진 소형 연 x-선 현미경을 이용하여 금 나노입자를 세포내의 미세기관이나 특정 단백질에 표지하면 연 x-선에 대한 조영효과의 증가에 의하여 더욱 유용한 정보를 획득할 수 있을 것으로 생각한다.

결정 성장 조건에 따른 copper(II)-phthalocyanine 박막의 전기전도도 특성 (Conductivity of copper(II)-phthalocyanine thin films due to a grain growth)

  • 박미화;유현준;이기진
    • 한국전기전자재료학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국전기전자재료학회 2004년도 춘계학술대회 논문집 디스플레이 광소자분야
    • /
    • pp.132-136
    • /
    • 2004
  • 열 증착 방법을 이용하여 copper(II)-phthalocyanine(CuPc) 박막을 glass 기판 위에 제작하였다. 열처리 조건은 $150^{\circ}C$에서 후열(annealing) 처리 하는 방식과 예열하는 두 가지 방식으로 달리하였다. 제작된 박막의 전기전도도를 평가하기 위해 마이크로웨이브 근접장 효과를 이용한 근접장 현미경(near-field scanning microwave microscope)을 이용하여 비파괴적인 방식으로 CuPc 박막의 반사계수(reflection coefficient)를 측정하였다. CuPc 박막의 전기전도도 특성을 UV 흡수도를 통한 에너지 밴드갭의 shift 현상과 관련지어 설명하고 또한 x-ray diffraction(XRD) data를 통해 박막의 결정 특성과 비교하였다. 박막 표면 특성은 SEM(scanning microscope microscopy)을 통해 관측하였다. 열처리 조건에 따른 CuPc 박막의 전기전도도 특성은 후열 처리한 박막의 경우 예열 처리한 박막보다 전기 전도 특성이 향상되었음을 관측할 수 있었다.

  • PDF

전해액 조성이 전기도금으로 제작된 구리박막의 특성에 미치는 영향 (Effect of electrolyte composition on Cu thin film by electroplating)

  • 송유진;서정혜;이연승;염기수;류영호;홍기민
    • 한국정보통신학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국해양정보통신학회 2008년도 추계종합학술대회 B
    • /
    • pp.95-99
    • /
    • 2008
  • 반도체 소자의 소형화에 따라 낮은 비저항을 가진 구리가 ULSI의 금속배선으로 사용되고 있다. 구리선의 비저항은 RC delay와 집적회로의 신호전달에 영향을 미치게 된다. 본 논문에서는 전기도금 된 구리박막의 비저항에 대해 전해액이 미치는 영향을 조사하였다. 4탐침 표면저항측정기로 비저항을 평가하였고, XRD (X-ray Diffraction), AFM (Atomic Force Microscope), FE-SEM (Field Emission Scanning Electron Microscope), XPS (X-ray Photoelectron Spectroscopy)로 박막의 특성을 조사하였다. 실험한 결과, 전해액의 조건이 전기도금으로 증착된 낮은 비저항을 갖는 구리박막의 형성에 있어 중요한 역할을 하는 것을 확인하였다.

  • PDF

분전반의 화염에 의한 소손패턴 분석 (Damage Pattern Analysis of Voltage Cabinet Panel due to Flame)

  • 김동욱;이기연;김향곤;김만건
    • 한국화재조사학회논문지
    • /
    • 제11권1호
    • /
    • pp.37-40
    • /
    • 2008
  • 본 연구는 저압 분전함내에서 발생한 사고사례를 분석하여 사고의 메커니즘과 사고특성 등을 연구하여 사고 패턴을 제시함으로서 전기설비 사고 원인 분석 및 진단을 위한 자료를 확보하고자 하였다. 이를 위해 금속현미경, X-ray, FI-IR 등의 분석을 하였다.

  • PDF

Nanotube Shape Variation on the Ti-xNb Alloys with Alloying Elements and Applied Potentials

  • Byeon, In-Seop;Choe, Han-Cheol
    • 한국표면공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국표면공학회 2015년도 춘계학술대회 논문집
    • /
    • pp.112-112
    • /
    • 2015
  • The purposed of this work was to determine nanotube shape variation on the Ti-xNb alloys with alloying elements and applied potentials. Samples were prepared by arc melting, followed by followed by homogenization for 12 hr at $1000^{\circ}C$ in argon atmosphere. This study was evaluated the phase and microstructure of Ti-xNb alloys using an X-ray diffraction (XRD) and optical microscopy (OM). The morphology of the samples was investigated with a field-emission scanning electron microscope (FE-SEM) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS). The nanotube on the alloy surface was formed in 1 M $H_3PO_4$ with small additions of NaF 0.8 wt.%. All anodization treatments were carried out using a scanning potentiostat (Model 362, EG&G, USA) at constant voltage 30 V for 120 min, respectively. The morphology of the samples was investigated with a field-emission scanning electron microscope (FE-SEM) and energy dispersive X-ray spectroscopy (EDS). Surface characteristics of nanotbue formed on Ti-xNb alloys was investigated by potentiodynamic test and potentiostatic in 0.9% NaCl solution at $36.5{\pm}1^{\circ}C$. It was observed that the changed ${\alpha}$ phase to ${\beta}$ phase with Nb content.

  • PDF

Bacteria를 이용한 연약한 흙의 고결화 가능성 (Possibility of cementation of soft soil using Bacteria)

  • 김대현;김호철;박경호
    • 한국지반공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국지반공학회 2010년도 추계 학술발표회
    • /
    • pp.379-391
    • /
    • 2010
  • In order to understand the mechanism of cementation of soft soils treated with bacteria, three types of specimens(untreated, normal bacteria concentration treated, and high bacteria concentration treated) were made. Scanning Electron Microscope(SEM), EDX and X-ray diffraction(XRD) analyses were performed on the soft silt and loose sand specimens. Compared with the untreated specimen, a clearer cementation between particles was observed in the high bacteria concentration treated specimen. Based on the scanning electron microscope(SEM) EDX analyses, more calcium carbonate was observed in the specimen treated with high bacteria concentration than other specimens. On the basis of the preliminary results, it appears that microbial cementation can occur in the soft soil. Further study on the cementation of soils using bacteria is necessary to validate this result.

  • PDF

X선 회절과 유한요소법을 이용한 터빈 블레이드의 파괴기구에 관한 연구 (A Study on the Failure Mechanism of Turbine Blade using X-Ray Diffraction and FEM)

  • 김성웅;홍순혁;전형용;조석수;주원식
    • 대한기계학회논문집A
    • /
    • 제26권8호
    • /
    • pp.1645-1652
    • /
    • 2002
  • The failure analysis on fractured parts is divided into the qualitative method by naked eyes and metallurgical microscope etc. and the quantitative method by SEM and X-ray diffraction etc. X-ray fractography can be applied to contaminated surface as well as clean surface and gain the plastic deformation and the residual stress near the fractured surface. Turbine blade is subject to cyclic bending force by steam pressure and suffers fatigue damage according to the increasing operating time. Therefore, to clean up the fracture mechanism of torsion-mounted blade in nuclear plant, the fatigue and the X-ray diffraction test was performed on the 12%Cr steel fur turbine blade and the fractured parts. The correlation of X-ray parameter and fracture mechanics parameter was determined, and then the load applied to actual broken turbine blade was predicted. Failure analysis was performed by contact stress analysis and Goodman diagram of torsion-mounted blade.