• 제목/요약/키워드: Wet deposition

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Ni/4H-SiC Field Plate Schottky 다이오드 제작 시 과도 식각에 의해 형성된 Nickel_Titanium 이중 금속 Schottky 접합 특성과 공정 개선 연구 (Characteristics of Nickel_Titanium Dual-Metal Schottky Contacts Formed by Over-Etching of Field Oxide on Ni/4H-SiC Field Plate Schottky Diode and Improvement of Process)

  • 오명숙;이종호;김대환;문정현;임정혁;이도현;김형준
    • 한국재료학회지
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    • 제19권1호
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    • pp.28-32
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    • 2009
  • Silicon carbide (SiC) is a promising material for power device applications due to its wide band gap (3.26 eV for 4H-SiC), high critical electric field and excellent thermal conductivity. The Schottky barrier diode is the representative high-power device that is currently available commercially. A field plate edge-terminated 4H-SiC was fabricated using a lift-off process for opening the Schottky contacts. In this case, Ni/Ti dual-metal contacts were unintentionally formed at the edge of the Schottky contacts and resulted in the degradation of the electrical properties of the diodes. The breakdown voltage and Schottky barrier height (SBH, ${\Phi}_B$) was 107 V and 0.67 eV, respectively. To form homogeneous single-metal Ni/4H-SiC Schottky contacts, a deposition and etching method was employed, and the electrical properties of the diodes were improved. The modified SBDs showed enhanced electrical properties, as witnessed by a breakdown voltage of 635 V, a Schottky barrier height of ${\Phi}_B$=1.48 eV, an ideality factor of n=1.04 (close to one), a forward voltage drop of $V_F$=1.6 V, a specific on resistance of $R_{on}=2.1m{\Omega}-cm^2$ and a power loss of $P_L=79.6Wcm^{-2}$.

춘천지역의 대기오염도와 은행나무의 생리적 변화에 관한 연구 (Air Pollutants Levels and Physiological Variation of Ginkgo biloba in Chuncheon)

  • 이상덕;주영특;한진석
    • 한국농림기상학회지
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    • 제7권2호
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    • pp.141-147
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    • 2005
  • 본 연구는 강원도 춘천지역의 산성장하물중 습성강하물의 농도와 침착량을 산정하고, 대기오염도의 측정과 함께 가로수로 식재되어 있는 은행나무의 계절적 엽중산도와 수용성황함량의 변화를 조사하여, 대기오염과 수목의 생리적 변화를 통해 환경영향평가로서의 수목의 역할을 알아보는데 그 목적이 있다. 계절별 춘천지역의 대기오염도, 산성강하물의 농도와 침착량, 은행나무의 생리적 변화는 다음과 같이 조사되었다. $SO_2$농도는 연평균 0.004ppm으로 전국 연평균 0.006ppm과 비교해 보았을 때 다소 낮은 수치를 나타냈으며, 계절별 $SO_2$의 농도는 겨울 0.007ppm, 봄 0.004ppm, 여름 0.003ppm, 가을 0.004ppm으로 측정되었고, $NO_2$의 농도는 연평균 0.013ppm으로 전국 연평균 0.024ppm과 비교해 보았을 때 다소 낮은 수치를 나타냈으며, 계절별 $NO_2$의 농도는 겨울에 0.024ppm, 봄에 0.020ppm, 여름에 0.013ppm, 가을에 0.017ppm으로 측정되었다 $PM_{10}$ 경우에는 $66{\mu}g/m^3$으로 나타나 전국 연평균농도 $56{\mu}g/m^3$에 비해 다소 높은 수치를 보였으며, 계절별로는 겨울에 $587.64{\mu}g/m^3$, 봄에 $82.14{\mu}g/m^3$, 여름에 $48.34{\mu}g/m^3$, 가을에 $46.03{\mu}g/m^3$으로 측정되었다. 산성강하물의 주요 이온인 $SO_4\;^{2-},\;NO_3^-,\;Cl^-,\;NH_4\;^+$의 연평균 농도는 각각 3.584 mg/l, 2.803 mg/l, 1.485 mg/l, 0.998 m/l를 보이고 있는데, $SO_4\;^{2-}$는 5.135 mg/l의 농도를 보인 겨울에 가장 높은 값을, 봄에 2.156mg/l 가장 낮은 값을 보였으며, $NO_3^-$의 경우에도 3.875mg/l의 농도를 보인 겨울에 가장 높은 값을, 봄에 1.586mg/l로 가장 낮은 값을 나타났고 $Cl^-$의 경우 여름에 2.559mg/l로 가장 높은 값을, 겨울에 0.820mg/l로 가장 낮은 값을 나타냈다. $NH_4^+$의 경우에는 1.284mg/l를 보인 여름에 가장 높은 값을, 봄에 0.653mg/l로 가장 낮은 값을 보였다. 산성(습성)강하물의 연간 침착량을 살펴보면 $SO_4^{2-}\;3.865g/m^2/yr,\;NO_3^-\;2.924g/m^2/yr,\;Cl^-\;2.773g/m^2/yr,\;NH_4^\;+1.485g/m^2/yr$이 조사기간 동안 침착되었고, 계절별로는 여름철에 강수가 집중됨으로서 습성강하물 침착량이 총량적으로 증가하였으며, 그 값은 $SO_4^{2-}\;2.118g/m^2/season,\;NO_3^-\;1.509g/m^2/season,\;Cl^-\;2.185g/m^2/season,\;NH_4\;^+\;1.096g/m^2/season$로. 나타났다. 계절별 잎의 평균 pH의 변화는 봄 pH $5.9\pm0.5$, 여름 pH $5.5\pm0.4$, 가을 pH $5.1\pm0.3$을 나타내었고, 엽중 수용성 황함량의 계절별 평균값은 봄 $0.012\pm0.004\%$, 여름 $0.012\pm0.002\%$, 가을 $0.020\pm0.007\%$ 수준을 보이고 있다. 수피 내 함유되어 있는 수용성 황함량의 계절별 평균값은 봄 $0.0071\pm0.0003\%$, 여름 $0.0066\pm0.0004\%$, 가을 $0.0063\pm0.0004\%$, 겨울 $0.0071\pm0.0003\%$ 수준을 나타냈다.

산지(山地) 물순환과정(循環過程)에 있어서 산도(酸度), 전기전도도(電氣傳導度) 및 용존산소량(溶存酸素量)의 변화(變化) (Water Quality Variations of pH, Electrical Conductivity and Dissolved Oxygen in Forest Hydrological Processes)

  • 이헌호;전재홍
    • 한국산림과학회지
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    • 제85권4호
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    • pp.634-646
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    • 1996
  • 본 연구는 산지유역을 대상으로 하여 임지의 수질정화능을 구명하고자 실시했다. 대한리 및 박달리의 2개 유역에서 임외우 및 수관통과우, 수간류, 토양수, 계류수의 산지 물순환 각 과정에 대한 수량과 산도, 전기전도도, 용존산소 등을 측정하여 수질변화를 분석한 결과는 다음과 같다. 1. 임외우의 평균 pH는 박달리 7.6, 대한리 6.4로 나타났다. 2. 적송과 리기다소나무의 수간유하수와 수관통과우의 수질을 비교한 결과, 형균 pH는 대한리에서 각각 4.32와 4.22, 박달리에서 각각 3.34와 4.81로 나타났으며, 평균 전기전도도는 박달리에서 각각 $230.0{\mu}S/cm$, $82.0{\mu}S/cm$이었고, 대한리에서 각각 $119.7{\mu}S/cm$, $96.8{\mu}S/cm$로 나타났다. 3. 계류수의 pH는 유출량의 증가에 따라 감소하였으나, 전기전도도 및 용존산소량은 값이 높아지는 것으로 나타났다. 4. 적송의 임내우(수간류와 수관통과우)가 상수리나무의 임내우보다 pH는 낮게 나타났으며, 전기전도도는 높게 나타났다. 5. 두 시험지의 산지 물순환 과정 중에서 산림토양의 수질정화능력이 가장 높은 것으로 나타났다. 6. 물순환 과정에 따라 수질 변화를 분석한 결과, 습성 강하물에 의한 오염물질의 부하보다는 건성강하물에 의한 부하와 수목의 수피에 의한 영향이 더 큰 것으로 판단되었다. 그러나 산성 임내우도 토양을 거치면서 모암에 의해 중화되고 토양입자에 의한 침착이 일어나면서 계류로 유출되는 유출수의 수질은 양호하게 나타났다.

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태안지역 강우의 중금속 함량 평가 (Wet Deposition of Heavy Metals during Farming Season in Taean, Korea)

  • 정구복;김민경;이종식;김원일;김건엽;고병구;강기경;권순익
    • 한국환경농학회지
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    • 제30권2호
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    • pp.153-159
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    • 2011
  • 태안지역 영농기 빗물의 중금속 농도 및 부화특성을 구명하기 위하여 2002년과 2003년 4~10월 사이에 빗물을 채수하여 중금속 분포와 가중평균 변화, 화학성분과의 관계 및 부화정도를 비교 검토하였다. 빗물 중 화학성분 함량은 조사 시기에 따라 함량변이가 심하였고, 강우량 대비 pH의 가중평균 값은 5.0~5.1 수준이었다. 빗물의 중금속 가중평균은 Pb > Zn > Cu > Ni > As > Cr > Cd 순이었고, 2002년과 비교하여 2003년에 Cu, Pb, 및 Zn 성분이 상대적으로 높게 나타났다. 강우중의 주 이온성분(${NH_4}^+$, $Ca^{2+}$, $Mg^{2+}$, $K^+$, $Na^+$, ${SO_4}^{2-}$${NO_3}^-$)은 중금속 중 As, Cd, Zn, Cr 및 Ni 성분함량과 고도의 정의 상관을 보였다. 빗물의 중금속 농도분포를 이해하기 위하여 부화계수(Enrichment factor)를 조사한 결과, 부화계수 평균치가 대체로 Cd > Pb > AS > Cu > Zn > Ni > Cr 순이었고, 주로 자연적 발생 유래원소로 알려진 Fe, Mg 및 Ca 등보다 상대적으로 높은 경향을 보였다. 월별 빗물의 중금속부하계수는 8~9월이 상대적으로 높았고, 중금속의 습식침적은 대체로 강우량의 영향을 받아 강우기인 7~8월에 높은 경향을 보였다.

소백산변성대(小白山變成帶)와 옥방(玉房) 및 상동중석광상내(上東重石鑛床內)의 각섬석질암(角閃石質岩)의 지화학(地化學) 및 성인(成因)에 관(關)한 연구(硏究) (The Chemistry and Origin of Amphibolitic Rocks in the Sobaegsan Metamorphic Belt and the Ogbang and Sangdong Tungsten Mine Areas, Korea)

  • 소칠섭;김상명
    • 자원환경지질
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    • 제8권3호
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    • pp.147-164
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    • 1975
  • 소백산(小白山) 변성대내(變成帶內)의 옥방(玉房), 선산(善山), 지례(知禮) 및 단성(丹城)일대에 분포하는 각섬석질암(角閃石質岩) 중 옥방지역(玉房地域)의 것은 주변 변성암류(變成岩類)에 상합적(相合的)이며 엽이(葉理)가 잘 발달되어 있고 그외 지역의 것은 심한 화강암화작용(花岡岩化作用)의 영향을 받아 편마암(片磨岩)및 화강암질암내(岡岩質岩內)에 lense 상(狀)의 잔류체(殘留體)로 산출(産出)된다. 본 연구에서는 주로 소백산(小白山) 변성대내(變成帶內)의 각섬석질암(角閃石質岩)옥방중석광상((玉房重石鑛床) 포함)과 그의 경계부에 위치한 옥천지향사대내(沃川地向斜帶內)의 상동광상(上東鑛床)의 염기성변성암(鹽基性變成岩)의 시료를 대상으로 습식(濕式) 및 방출분광분석(方出分光分析)을 수행하여, 24개 주성분(主成分) 및 희유원소(稀有元素)의 정성(定性) 정량적(定量的)인 값을 variation trend와 discriminant function analysis 를 통하여 비교검토함으로써 이들의 성인(成因)을 밝혀보려 하였다. 주성분원소(主成分元素)의 Niggli value를 사용한 각종 도면에서는 화강암화작용(花岡岩化作用)으로 인한 alkali, alumina, 및 silica 등의 증가로 인하여 충분한 data를 얻지못했으나, 연구(硏究) 대상 시료(試料)의 희유원소(稀有元素)들은 alkli, alumina, silica의 증감(增減)에 영향을 받지않아 (도면 12, 13) 성인규명(成因規明)에 만족한 결과를 얻을 수 있었다. 옥방(玉房), 선산(善山), 지례(知禮) 및 단성지역(丹城地域)의 각섬석질암(角閃石質岩)은 각 도표에서 높은 비율의 Cr, Ni, Co, Ti, Sr 및 V의 값을 가지며 염기성(鹽基性) 화성암(火成岩)의 variation trend를 잘 보여주고, 상동지역(上東地域)의 염기성변성암(鹽基性變成岩)은 낮은 Cr, Ni, Co, Ti, Sr 및 V의 값과 낮은 Niggli mg 값을 가져서 화성(火成), 퇴적(堆積)의 두 특징을 동시에 나타내고 있으나 화성기원의 특징을 더욱 강조하여 준다. 한편 Discriminant function test ($X_1$, $X_2$, $X_3$)에서도 옥방(玉房), 선산(善山), 지체(知體), 단성(丹城)지역의 각섬석질암(角閃石質岩)은 한 개의 시료(試料)를 제외하고는 모두 $X_1$, $X_2$, $X_3$ 중 둘이상이 positive값을 가져 화성기원(火成起源)을 지시해주며 상동광상(上東鑛床)의 것은 하나의 시료는 둘이상의 positive 값 ($X_1$=7.08, $X_2$=0.43, $X_3$=-4.42) 을 나타내고 두 개의 시료는 둘 이상의 negative 값($X_1$=7.66, -8.60, $X_2$=-0.78, -2.13, $X_3$=4.62, -1.00) 을 나타낸다. 또한 기원암(起源岩)의 규명에서 본 연구의 대상이 된 모든 염기성(鹽基性) 변성암(變成岩)이 분출암(憤出岩)및 퇴적암(堆積岩)의 특징인 높은 oxidation ratio (2 $Fe_2O_3{\times}100/2$ $Fe_2O_3+FeO$, in mols)를 가지는 것으로 보아 주성분(主成分) 및 희유원소(稀有元素) 연구(硏究)결과와 비교하여 보면 분출암(憤出岩)에서 유래된 것으로 결론 될 수 있으나 소백산변성암(小白山變成帶)의 경우는 oxidation ratio의 증가가 심한 화강암화작용(花岡岩化作用)의 영향 일수도 있으며 야외산출상태와 현미경기재에서도 분출암(憤出岩)의 잔류증거를 찾지못하였다. 결론적으로 소백산변성대내의 옥방(玉房), 선산(善山), 지체(知體), 단성(丹城)일대의 각섬석질암(角閃石質岩)은 염기성(鹽基性) 관입암(慣入岩)으로부터 유래된 것으로 사료되고, 옥천지향사대내(沃川地向斜帶內)의 상동광상(上東鑛床)일대의 염기성변성암(鹽基性變成岩)은 Kamp (1968)와 Orville (1969)가 취급한 연구 결과에서와 같이 탄산염퇴적물(炭酸鹽堆積物)의 퇴적환경에서 침천한 염기성(鹽基性) tuff로부터 유래된 가능성이 많다.

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