5, 10, $20\;{\mu}m$ Silicon Diaphgrams and Features Fabricated without Using An Etch Stop
(에치스탑을 사용하지 않고 제작된 5, 10, $20\;{\mu}m$ 두께의 실리콘 박막과 구조물)
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- Proceedings of the KIEE Conference
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- 1996.07c
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- pp.1977-1979
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- 1996