• 한국정보처리학회논문지
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• 제6권5호
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• pp.1385-1392
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• 1999

본 논문에서는 웨이퍼를 세정하는데 사용되는 Wet Station 장비의 상태를 감지하고, 이를 간접적으로 제어하기 위한 모니터링 시스템의 설계에 관하여 기술한다. 대부분의 기존 모니터링 시스템은 하드웨어 및 소프트웨어에 의존되어 있다. 제시한 모니터링 시스템의 기본 설계 목표는 사용자의 편의성과 시스템의 이식성을 제공하는 것이다. 이러한 요구조건을 만족시키기 위하여, 본 논문에서는 IBM PC 호환 기종의 윈도우즈 NT 환경에서 GUL 기능과, TCP/IP 통신 프로토콜을 기본으로 한 EtherNet 보드를 이용하여 시스템을 설계하였다.

• 보존과학회지
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• 제28권1호
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• pp.21-27
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• 2012

조선시대 양반가의 장례시 매장방식은 회곽묘제를 사용하였으며, 그 유물들이 현대에 형태를 유지한 채로 출토되는 경우가 종종 있다. 그러나 그 내부에서 발견되는 섬유유물들은 예전에는 염직물이었을 것으로 예상되나 오랫동안 시즙과 수분에 의해 오염되어 고유의 색상 및 물성에 변화를 일으킬 수 있다. 이러한 오염은 출토 후에도 계속적으로 유물의 변퇴색 및 열화에 영향을 미칠 것으로 예상되므로 적합한 세척이 요구된다. 따라서 본 연구는 습식세척 후 출토염직물의 색변화를 최소화할 적합한 세정조건을 조사하기 위하여 적색계 7종, 청색계 1종, 황색계 6종, 녹색계 4종, 자색계 4종의 천연염색 염색포(견과 면)을 만들어서 이를 돈육과 함께 6개월간 냉장보관한 후 꺼내어 물, 음이온계면활성제(SDS), 비이온계면활성제(TritonX-100), 천연계면활성제(Saponin) 등 4종의 세정액를 이용하여 $20^{\circ}C$와 $40^{\circ}C$의 온도에서 습식세척하여 염직품들의 색상변화에 대한 영향을 조사하였다. 그 결과 색상의 변화는 세정온도, 섬유소재, 세정제, 이용한 염료의 종류에 따라 차이를 나타내었다.

• 대한전기학회:학술대회논문집
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• 대한전기학회 1996년도 하계학술대회 논문집 C
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• pp.1450-1452
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• 1996

In order to optimize the characteristics of gate insulator for FED(field emission device), we investigated the effect of wet-etching process on the gate insulator for fabrication of FED. We used the general three types of etchants for fabrication of the metal tip FEA(field emitter array), they are MO and oxide etchants to form the gate hole, and Al etchant to remove the release layer. In the result of the breakdown field of the insulator by the measure of the current-voltage characteristics, the breakdown field of insulator for immersing in oxide etchant was rapidly lowering with increasing etching time, but that for immersing in Al etchant was slow lowering. Also, in comparing cleaning with non-cleaning samples, the breakdown field of the cleaning samples was higher than that of non-cleaning samples.

• 대한기계학회:학술대회논문집
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• 대한기계학회 2003년도 춘계학술대회
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• pp.1240-1247
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• 2003

Water jet nozzle for LCD has been used as a wet cleaning process in many industries. It is necessary for the nozzle to consider cleaning effect and flux. In this paper, we applied the bubble dynamic theory(Rayleight-Plesset equation) to improve the cleaning efficiency. Generally, Rayleigh-Plesset equations for cavitation bubbles are used in analyzing computer simulation for caviting flows. Burst of bubbles causes potential energies and we can use these energies to remove organic and inorganic compounds on the LCD. Therefore, it is necessary to analyze the bubble generations and axiomatic design by computational fluid dynamics(CFD). By comparing the weight matrix of neural networks to the design matrix of axiomatic design, we propose methods to verify designs objectively. The optimal solution could be deduced by the regression analysis using the design parameters.

• 복식
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• 제47권
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• pp.89-100
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• 1999

This study was carried to a textile conservation process included washing effect fiber analysis such as fiber identification fabric density and thickness color fading and of extracted soils. the following results were obtained. 1. AS a result of investigating to fabric surfaces by S.E.M all of cleaning methods wet cleaning-solvent cleaning in charge system were effective to remove soils from fabrics. 2. The buried fabrics were made of silk few of them were cotton ramie and hemp. 3. According to fabric density and thickness used fabrics were almost medium weight fabrics. 4. Low values of L, a, b indicated that the colors of these fabrics were faded to yellow and brown. 5. The soil components were hydrocarbon-alkane group alkyl alcohol and ketone group.

• 한국문화재보존과학회:학술대회논문집
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• 한국문화재보존과학회 2007년도 제25회 학술대회발표 논문집
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• pp.73-74
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• 2007

• 한국재료학회:학술대회논문집
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• 한국재료학회 2006년도 춘계학술발표대회 및 제10회 신소재 심포지엄 논문개요집
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• pp.15.1-15.1
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• 2006

• 반도체디스플레이기술학회지
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• 제10권2호
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• pp.109-113
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• 2011

Hot air flow simulations of the wet station dryer module for the solar cell cleaning were conducted. Air incident angles such as to the substrates ($45^{\circ}$), to the bottom ($90^{\circ}$), and to the wall ($135^{\circ}$) were considered. Based on the simulated velocity and temperature profiles, appropriate incident angle was proposed, and it was well matched to experimental results. Additionally, uniform and non-uniform air hole sizes of the tube were compared for the uniform air flow distribution through the batch.

• Journal of information and communication convergence engineering
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• 제1권2호
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• pp.67-69
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• 2003

The experimental studies for the etch properties of the oxide grown on silicon substrate, which is in diluted hydrogen fluoride (HF) solution, are presented. Using different ion implantation dosages, dopants and energies, silicon substrate was implanted. The wet etching in diluted HF solution is used as a mean of wafer cleaning at various steps of VLSI processing. It is shown that the wet etch rate of oxide grown on various implanted silicon substrates is a strong function of ion implantation dopants, dosages and energies. This phenomenon has never been reported before. This paper shows that the difference of wet etch rate of oxide by ion implantation conditions is attributed to the kinds and volumes of dopants which was diffused out into $SiO_2$ from implanted silicon during thermal oxidation.

• 한국신재생에너지학회:학술대회논문집
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• 한국신재생에너지학회 2009년도 춘계학술대회 논문집
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• pp.168-168
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• 2009

고효율 실리콘 이종접합 태양전지 제작을 위한 요소기술 중 a-Si:H/c-Si 간의 계면 안정화는 태양전지 효율에 중요한 역할을 한다. 본 연구에서는 n-type 결정질 실리콘 기판을 사용하여, 소수전하들의 재결합을 방지하고, 계면 안정화를 실행하는 방안으로 실리콘 기판 습식 세정을 수행하였다. 반도체 공정에서 일반적으로 알려진 RCA 세정기법에 HF 세정을 마지막공정으로 추가하여 자연 산화막과 기타 불순물을 더욱 효과적으로 제거할 수 있도록 실험을 진행하였다. 마지막 공정으로 추가된 HF 세정에 의한 a-Si:H/c-Si 계면 안정화 효과를 관찰하기 위하여 HF농도와 HF 세정시간에 따른 소수반송자 수명을 측정하였다. 또한 HF 세정 이후 공정의 영향을 확인하기 위하여 PE-CVD법으로 a-Si:H 박막 증착 이전 실리콘 기판의 온도와 상온에서 머무는 시간에 따른 a-Si:H/c-Si 계면안정화 특성을 분석하였다. 본 실험을 통해 HF세정공정이 계면특성에 미치는 영향을 확인하였으며 실리콘 기판 습식 세정이 이종접합태양전지 특성에 미치는 영향을 분석하였다.