Nanoimprint lithography (NIL) is an emerging technology enabling cost effective and high throughput nanofabrication. To successfully imprint a nanometer scale patterns, the understanding of the mechanism in nanoimprint forming is essential. In this paper, a numerical analysis of polymer flow in thermal NIL was performed. First, a finite element model of the periodic mold structure with prescribed boundary conditions was established. Then, the volume of fluid (VOF) and grid deformation method were utilized to calculate the free surfaces of the polymer flow based on an Eulerian grid system. From the simulation, the velocity fields and the imprinting pressure for constant imprinting velocity in thermal NIL were obtained. The velocity field is significant because it can directly describe the mode of the polymer deformation, which is the key role to determine the mechanism of nanoimprint forming. Effects of different mold shapes and various thicknesses of polymer resist were also investigated.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제25권6호
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pp.1324-1329
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2001
The depression of the external situation like the departure of WTO system and the plan of EEZ proclaim is forcing fishery into improving their fishing condition. By this international and domestic circumstance, development of the sea water cooling apparatus for fish hold storage is demanded sincerely. This study represents the thermal characteristics of the fish hold storage during transportation. The numerical analysis in this study is the finite volume method with the SIMPLE computational algorithm to study the seawater flow behavior in the fish hold storage. The computation were carried out with the variations of the circulating flow velocity and depth of fish hold storage. As the result of the three dimensional simulations, the mean temperature doesn't almost change by the circulating flow rate. find the mean temperature is suddenly changed by the ratio of depth of fish hold storage.
Upon a turbopump's running, cavitation may occur at the inlet of the LOx pump by pressure drop and heat transfer along the LOx feeding line. Since the cavitation can cause serious damage to the pump or to stop running, the absence of the cavitation at the inlet of a turbopump should be confirmed before the using the turbopump. In the present study, the calculation of the volume fraction of LOx gas phase at the inlet of the pump are performed with different temperatures of LOx in the tank, pressure drops and heat transfers along the feeding line. This calculation method can be applied to define the limits of thermal and hydraulic characteristics during the design of a LOx feeding system.
Journal of Advanced Marine Engineering and Technology
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제41권2호
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pp.150-155
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2017
Many engineering issues are caused because of sloshing phenomena. Numerical solution methods including the computational fluid dynamics (CFD) technique, are used to analyze these sloshing problems. In this study, a numerical technique was used to analyze sloshing impact loads in a prismatic tank under forced horizontal motion. The volume-of-fraction (VOF) method was adopted to model the sloshing flow. Six cases were used to compare the effects of the natural frequencies of a simple rectangular and prismatic tank, with impact pressure on the prismatic tank wall. This study also investigated the variable pressure loads and sloshing phenomena in prismatic tanks when the frequencies were changed. The results showed that the average of the peak pressure value for ${\omega}^{\prime}1=4.24=4.24$ was 22% higher than that of ${\omega}_1=4.6$.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제9권2호
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pp.8-10
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2008
Chemical mechanical polishing (CMP) is a very precise planarization technique where a wafer is polished by a slurry-coated pad. A slurry is dropped on the rotating pad surface and is supplied between the wafer and the pad. This research aims at reducing the slurry consumption and removing waste particles quickly from the wafer. To study the roles of grooves, slurry flows were simulated using the volume of fluid method (two-phase model for air and slurry) for pads with no grooves, and for pads with circular grooves.
The mathematical model for the heat exchangers of absorber and desorber is made in the elementary control volume method and the thermodynamic properties of working fluid. water/ammonia mixture. are calculated by some fundamental subroutines in RefProp 7.0 and flash subroutines made by authors The simulation results show that two-stage cycle has higher COP than single stage if temperature lift is high: the performance of single stage compression cycle can be improved by increase of absorber pressure. but the performance of two-stage compression cycle can not be improved in this way : the compressor discharging temperature of two-stage compression is much lower than that of single stage cycle. which is very important to the safety operation of CA heat pump. Major parameter comparison between the cycles at their optimal configurations is also given.
In vacuum ejector-diffuser systems where a finite volume secondary chamber is used, the secondary jet exhibits transient characteristics during start-up. A steady state is achieved after some time in which mass entrainment prevails indefinitely inside the ejector, though there is no flow from the secondary chamber. An attempt is made in this work to study the infinite entrainment of secondary jet into the primary jet from a finite secondary chamber, with the help of a computational fluid dynamics method. The present study is also intended to identify the operating range of vacuum ejector-diffuser systems where the steady flow assumption can be applied without uncertainty. The results obtained show that the only condition in which an infinite mass entrainment is possible is the generation of a re-circulation zone near the primary nozzle exit. The flow in the secondary chamber attains a state of dynamic equilibrium at this point. Steady flow assumption is valid only after this point.
In this paper, we propose a novel type valveless micro-pump that uses extensional vibration mode of traveling wave as a volume transporting means for solving some problems about check valves, essential parts of usual pumps. The proposed pump consists of two piezoelectric ceramic rings and a metal body located in the middle of them respectively. Because the drift of bended surface that results from the traveling wave excitation controls the fluid flow, check valves are not needed in this pump model. In accordance with the variation of the pump body dimension, we analyzed the vibration displacement characteristics of pump model, determined the optimal design condition, fabricated the prototype pump from the analysis results and evaluated its efficiency.
This study analyzes the planar 4:1 contraction flow of viscoelastic fluids with retardation time using finite volume method. To consider separately the elasticity effect of the viscoelastic fluid without shear thinn-ing effect, Oldroyd B liquid model is adopted for the numerical simulation. Instead of the stream function-vorticity formulation, SIMPLER algorithm with staggered grid system which incorporates primitive variable has been introduced in discretizing the momentum equations. An upwind corrected scheme has been used in discetizing the constitutive equations for the non-Newtonian part of the stress. The size of the corner vortex is shown to be slightly influenced by the Weissenberg number. However as the Weissenberg number is increased the chang-ing of the vortex shape agrees qualitatively well with some experimental studies.
Numerical simulation is conducted to clarify the heat transfer and fluid flow characteristics of HVAC(Heating, Ventilating and Air-Conditioning) for Mugunghwa passenger car. The HVAC system is installed under the floor of carbody. This new HVAC system has a lot of merits in respect of the center of gravity of carbody, flow induced noise and reduction of condensation water etc. The standard k-epsilon turbulent model and SIMPLEC algorithm based on finite volume method are used to solve the physical HVAC model. To assure convergence, QUICK scheme for momentum equation and the first order upwind scheme for turbulent equations are used. From the results of simulation, the temperature and velocity magnitude are also distributed uniformly in the interior of car.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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