$Si_3N_4$ 를 이용한 금속-유전체-금속 구조 커패시터의 유전 특성 및 미세구조 연구
(A Study on the Dielectric Characteristics and Microstructure of $Si_3N_4$ Metal-Insulator-Metal Capacitors)
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- 한국진공학회지
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- 제9권2호
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- pp.162-166
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- 2000