• 한국유체기계학회 논문집
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• 제15권1호
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• pp.13-20
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• 2012

A vertical-axis multistage pump with low specific speed was developed, satisfying performance requirements such as flow rate, total head, and NPSH. The developed pump was designed through conceptual design, configuration design, and performance analysis by CFD which were established in KIMM. The prototype pump's mechanical wholesomeness besides hydraulic performances were verified by running test, performance test, and reliability test.

• 한국기계가공학회지
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• 제14권2호
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• pp.67-74
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• 2015

In this study, analysis and experiments were carried out on temperature distributions and thermal deformations in a dry vacuum pump with vertical screws for safe operation. When a vacuum pump is working, it is necessary to get rid of the heat generated by the friction of bearings and the compression of air to prevent the vacuum pump from being damaged by interference between two screws and housing through thermal deformation. Additional cooling was proposed by using oil flow through the inner channel of the rotating axis for lower temperature control of the vacuum pump. Analysis and experimental results were compared in terms of temperature distribution and thermal deformation of the vacuum pump, and two sets of results matched reasonably well. These results for a dry vacuum pump with vertical screws can be used in similar model development and can minimize errors in design and manufacture by providing reasonably accurate prediction in advance.

• 대한기계학회논문집B
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• 제35권9호
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• pp.875-882
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• 2011

회전차 외경 가공에 따른 축추력 평형 및 체적 효율 변화에 대하여 고찰하였다. 평형장치로 평형피스톤이 장착된 저비속도 다단 원심 펌프를 연구 대상으로 해석을 수행하였다. 수평축 다단 펌프와 2종의 수직축 다단 펌프에 대해 해석 수행을 한 결과, 회전차 외경 가공에 의해 펌프 전방으로 추가적인 축추력이 발생하였다. 이러한 축추력 불균형은 수평축 펌프보다 수직축 펌프에서 크게 발생하였다. 축추력 불균형을 방지하기 위해 평형피스톤의 외경을 증가시키는 방안을 제시하였고, 이를 위해 필요한 평형피스톤의 직경 변화율을 산출하였다. 피스톤의 직경 변화량은 회전차 외경 가공률에 비례하여 증가하였다. 피스톤 직경 변화량이 클수록 틈새 면적 증가로 인해 체적효율이 감소하므로, 피스톤의 길이를 함께 증가시켜 체적 효율의 감소를 방지하는 것이 효과적이다.

• 한국진공학회지
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• 제12권2호
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• pp.144-149
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• 2003

주사전자현미경을 이용한 전자빔의 직접조사에 의해 실리콘 캔틸레버 위에 탄소상 탐침을 성장하였다. 오일확산 펌프의 잔류가스 분위기에서 실리콘 캔틸레버와 전자빔을 수직으로 정렬한 다음 전자현미경의 스폿 모드를 통해 전자빔을 일정시간 동안 조사시켜 탄소상 탐침을 성장시켰다. 주사전자현미경의 제어변수인 조사시간, 가속전압, 방출 전류, 전자빔 프로브 전류 등을 변화시킴으로써 다양한 종횡비를 가지는 탐침을 성장시킬 수 있었으며, 성장 위치의 표면 형상과 무관하게 탐침을 성장시킬 수 있었다. 그 결과 유효길이 0.5 $\mu\textrm{m}$, 바닥직경 90 nm,콘의 반각 $3.5^{\circ}$인 탐침을 성장시켰다. 탐침이 없는 캔틸레버에 고종횡비 탄소상 탐침을 성장시킬 수 있는 기술은 PZT 박막구동기가 집적화된 AFM 캔틸레버의 탐침 형성 과정에서 발생하는 제작과정의 번거로움을 극복하는데 적용될 수 있다.