• 제목/요약/키워드: Vapor growth

검색결과 1,157건 처리시간 0.026초

Comparisons of the growth properties of Ce$O_{2}$ and $Y_{2}$$O_{3}$ buffer layers on Ni tapes

  • S. M. Lim;Kim, H. S.;D. Youm
    • 한국초전도저온공학회:학술대회논문집
    • /
    • 한국초전도저온공학회 2003년도 학술대회 논문집
    • /
    • pp.113-116
    • /
    • 2003
  • The growth properties of $Y_2$O$_3$ and CeO$_2$ films for the buffer layers on Ni tapes were studied comparatively. The water vapor larger than 2$\times$10$^{-5}$ Torr and the substrate temperature higher than $700^{\circ}C$ were required for the proper growth of $Y_2$O$_3$ films, while the upper limits of the water vapor and the lower limit of the substrate temperatures for the proper growth of CeO$_2$ were 1$\times$10$^{-5}$ Torr and 50$0^{\circ}C$, respectively. These imply that the windows of the growth conditions of CeO$_2$ are wider than those of $Y_2$O$_3$. However the formation of cracks in CeO$_2$ films were its disadvantage, while $Y_2$O$_3$ showed no cracks. PACS. No 85.25.K, 81.15.A.

  • PDF

Degradation analysis of horizontal steam generator tube bundles through crack growth due to two-phase flow induced vibration

  • Amir Hossein Kamalinia;Ataollah Rabiee
    • Nuclear Engineering and Technology
    • /
    • 제55권12호
    • /
    • pp.4561-4569
    • /
    • 2023
  • A correct understanding of vibration-based degradation is crucial from the standpoint of maintenance for Steam Generators (SG) as crucial mechanical equipment in nuclear power plants. This study has established a novel approach to developing a model for investigating tube bundle degradation according to crack growth caused by two-phase Flow-Induced Vibration (FIV). An important step in the approach is to calculate the two-phase flow field parameters between the SG tube bundles in various zones using the porous media model to determine the velocity and vapor volume fraction. Afterward, to determine the vibration properties of the tube bundles, the Fluid-Solid Interaction (FSI) analysis is performed in eighteen thermal-hydraulic zones. Tube bundle degradation based on crack growth using the sixteen most probable initial cracks and within each SG thermal-hydraulic zone is performed to calculate useful lifetime. Large Eddy Simulation (LES) model, Paris law, and Wiener process model are considered to model the turbulent crossflow around the tube bundles, simulation of elliptical crack growth due to the vibration characteristics, and estimation of SG tube bundles degradation, respectively. The analysis shows that the tube deforms most noticeably in the zone with the highest velocity. As a result, cracks propagate more quickly in the tube with a higher height. In all simulations based on different initial crack sizes, it was observed that zone 16 experiences the greatest deformation and, subsequently, the fastest degradation, with a velocity and vapor volume fraction of 0.5 m/s and 0.4, respectively.

열화학 기상 증착법에 의한 비정질 SiOx 나노와이어의 성장 (Growth of Amorphous SiOx Nanowires by Thermal Chemical Vapor Deposition Method)

  • 김기출
    • 융합정보논문지
    • /
    • 제7권5호
    • /
    • pp.123-128
    • /
    • 2017
  • 나노구조를 갖는 물질들은 나노구조물이 갖는 고유의 체적 대비 높은 표면적 비와 양자 갇힘 효과에 기인하는 독특한 전기적, 광학적, 광전기적, 자기적 특성으로 인하여 많은 주목을 받아왔다. 열화학 기상 증착 공정은 나노 구조물의 성장과정에서 다양한 구조를 갖는 나노소재의 합성 능력 때문에 더욱 주목을 받아왔다. 본 연구에서는 두 영역 열화학 기상 증착법과 소스 물질 $TiO_2$ 파우더를 이용하여 VLS 공정으로 Si\$SiO_2$(300 nm)\Pt(5~40 nm) 기판 위에 실리콘 옥사이드 나노와이어를 성장시켰다. 성장된 실리콘 옥사이드 나노와이어의 형상과 결정학적 특성을 전계방출 주사전자현미경과 투과전자현미경으로 분석하였다. 분석결과, 성장된 실리콘 옥사이드 나노와이어의 형상인 지름과 길이는 촉매 박막의 두께에 의존하여 다른 모양을 나타내었다. 또한 성장된 실리콘 옥사이드 나노와이어는 비정질 상을 갖는 것으로 분석되었다.

주사형 탐침 현미경을 이용한 Ru(0001) 위 그래핀의 에피탁시얼 성장 조건에 대한 연구 (Epitaxial Growth of Graphene by Surface Segregation and Chemical Vapor Deposition on Ru(0001) Studied with Scanning Tunneling Microscopy)

  • 장원준;강세종
    • 한국진공학회지
    • /
    • 제22권6호
    • /
    • pp.285-290
    • /
    • 2013
  • 금속 기판 위에 성장한 그래핀은 원자구조와 전자구조 연구에 우수한 기반이 된다. 그래핀은 금소 기판에서 탄소의 surface segregation 이나 chemical vapor deposition으로 성장할 수 있는데, 이 두 방법의 성장 양상에 대한 비교 연구는 아직까지 없었다. 본 연구에서는 surface segregation, 흡착된 에틸렌의 post-annealing, 에틸렌의 high-temperature dose 등 3 방법으로 성장한 그래핀의 성장구조를 주사형 터널링 현미경으로 연구했다. 처음 2종류의 방법에서는 $100nm^2$ 수준의 작은 그래핀 영역이 나타났고, 3 번째 방법에서는 $10^4nm^2$ 보다 큰 그래핀이 육각형 무아레 무늬와 함께 타나났다. 본 연구에서는 에틸렌의 high-temperature dose 방법이 추가적인 분자성장 등에 필요한 넓은 그래핀을 성장하기에 가장 좋은 방법임을 보였다.

고온벽 화학기상증착법을 이용한 에피 실리콘 증착과 열화학적 해석 (Growth of epitaxial silicon by hot-wall chemical vapor deposition (CVD) technique and its thermochemical analysis)

  • 윤덕선;고욱현;여석기;이홍희;박진호
    • 한국결정성장학회지
    • /
    • 제12권4호
    • /
    • pp.215-221
    • /
    • 2002
  • $SiH_2Cl_2/H_2$ 기체혼합물을 원료로 사용하여 (100) Si 기판 위에 고온벽 화학기상증착법(hot-wall CVD)으로 에피 실리콘을 증착시켰다. 공정변수(증착온도, 반응기 압력, 입력 기체의 조성비($H_2/SiH_2Cl_2$)등)가 실리콘 증착에 미치는 영향을 조사하기 위해 열화학적 전산모사를 수행하였으며, 전산모사를 통해 얻은 공정조건의 범위를 바탕으로 실험한 결과, 전산모사의 결과와 실험이 잘 일치함을 알 수 있었다. 실험을 통해 얻은 최적 증착 조건은 증착온도가 850~$950^{\circ}C$, 반응기 압력은 2~5 Torr, $H_2/SiH_2Cl_2$비는 30~70 정도임을 알 수 있었고, 증착된 에피 실피콘은 두께 및 비저항의 균일도가 우수하고 불순물 함량이 낮은 양질의 박막임을 확인할 수 있었다.