• 제목/요약/키워드: Vacuum standards

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초음파 음향임피던스 변환기를 이용한 저압 저진공 측정기술 연구 (The Study of Pressure Vacuum Measurement Techniques Using Ultrasonic Acoustic Impedance Transducers)

  • 홍승수;신용현;조승현;안봉영;임종연;최인묵
    • 한국진공학회지
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    • 제19권5호
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    • pp.319-325
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    • 2010
  • 초음파 변환기의 기체 음향임피던스 변화를 이용해서 압력진공 측정기술을 연구하였다. 상용화된 한 쌍의 500 kHz 공중 초음파 변환기(air-coupled ultrasonic transducer)를 진공용기에 넣고 초음파 진폭을 측정하였다. 그 결과 6.66 kPa에서 202.65 kPa (약 2기압)까지 4회 반복 측정값으로부터 계산된 표준편차는 0.0093에서부터 0.3325 사이에 있었으며, 표준편차를 압력으로 나누어서 백분율로 나타낸 값은 133.32 kPa에서 0.018%이었고 202.65 kPa에서는 0.164%이었다.