The Pohang Accelerator Laboratory X-ray Free Electron Laser (PAL-XFEL) is a 0.1 nm hard X-ray FEL which aims at providing photon flux higher than $1{\times}10^{12}$ photons/pulse using a 10-GeV electron linac. The vacuum system of the machine consists of an injector section including an S-band photocathode RF gun, 10-GeV electron linac section based on S-band normal conducting accelerating structures and a 150-m long out-vacuum undulator system. We introduce the present status of PAL-XFEL vacuum systems.
An ECR-PECVD system with the characteristics of high ionization rat다 ability of plasma processing in a wide pressure range and deposition at low temperature was manufactured and characterized for the deposition of thin films. The system consists of a vacuum chamber, sample stage, vacuum gauge, vacuum pump, gas injection part, vacuum sealing valve, ECR source and a control part. The control of system is carried out by the microprocessor and the ROM program. We have investigated the vacuum characteristics of ECR-PECVD system, and also have diagnosed the characteristics of ECR microwave plasma by using the Langmuir probe. From the data of system and plasma characterization, we could confirmed the stability of pressure in the vacuum chamber according to the variation of gas flow rate and the effect of ion bombardment by the negative DC self bias voltage. The plasma density was increased with the increase of gas flow rate and ECR power. On the other hand, it was decreased with the increase of horizontal radius and distance between ECR source and probe. The calculated plasma densities were in the range of 49.7\times10^{11}\sim3.7\times10^{12}\textrm{cm}^{-3}$. It is also expected that we can estimate the thickness uniformity of film fabricated by the ECR-PECVD system from the distribution of the plasma density.
International journal of advanced smart convergence
/
제7권4호
/
pp.84-91
/
2018
In this paper, we simulated three different HV systems and analyzed of each vacuum characteristics by VacCAD modelling. In each of modelled vacuum systems, selection of chamber materials, combination of rough pump with high vacuum pump and conductance of roughing line (diameter and length) were proposed as system variables. In the modelling of chamber materials, the pumping times to ultimate pressures of different chamber materials (stainless steel, aluminum) were compared by the variations of chamber volume. In this model, the effects of outgassing dependent on the chamber materials was also simulated and aluminum was estimated to optimum chamber materials. It was also obtained that modelling of vane and roots pump with diffusion pump and diameter, length of $50{\times}250$ [mm]roughing line were characterized as optimum variables to reach the ultimate pressure of 10E-7 [mbar] most effectively. Optimum design factors for vacuum characteristics of modelled vacuum system were achieved by VacCAD simulations. Feasibility of VacCAD as vacuum simulator was verified and applications of VacCAD expected to be increased to fields in vacuum needed.
Pneumatics is widly used in the industrial implementation, in the operation of air-powered actuators and the control devices needed in their operation. However, there are many empirical factors in pneumatics design, it might cause excessive design of pneumatic components. For that reason, we developed VDES(Vacuum Design Expert System) for the economic design of pneumatic vacuum equipment. VDES is achieved with CLIPS(C Language Integrated Production System) and knowledge base that contains a number of facts and rules for pneumatic vacuum design. Forward chaining and depth first search technique are used in this system. Appling VDES to the actual field, this system is verified to be a good efficiency and could be applied to the field of pneumatic vacuum equipment design.
정적법(constant volume method)을 이용하여 $1Pa\sim100kPa$ 영역에서 진공게이지의 직접교정 (direct calibration) 장치를 개발하였다. 이 장치는 피 교정 게이지의 이동 없이 in-situ 상태에서 비교교정(comparison calibration)도 가능하다. 이 장치가 개발됨으로서 산업체 교정기관의 생산성을 높이고 개발도상국에 국가 진공표준과 교정기술을 보급할 수 있게 되었다.
한국마린엔지니어링학회 2001년도 추계학술대회 논문집(Proceeding of the KOSME 2001 Autumn Annual Meeting)
/
pp.45-49
/
2001
To maintain the freshness of produce, because of stand away between produced and consumer, we need refrigeration system that can supply to consumer at cold chain as soon as gathering. General refrigeration system consist of refrigeration chamber or low temperature store. But the vacuum technology can rapidly refrigeration without refrigerator. This precool system possible to get low precooled temperature, suitable for the fishes, the meat, the vegetables, the fruit etc. Especially get advantage that quality maintain through rapid refrigeration of ferment directly generate heat. Vacuum precool system's principle is that water saturated temperature reduce according to pressure is get to vacuum area, so product temperature reduce as water evaporation at product. In vacuum suction, unit, on early experiment period run the rotary type vacuum pump at purpose pressure, then maintain pressure by water-diven ejector. As the results, cabbage took about 60 minutes to reach from $23.2^{\circ}C$ to $4.5^{\circ}C$at 5mgHg abs.
중진공 국가표준기의 자동화를 위한 하드웨어 및 측정 프로그램 개발에 관한 연구를 수행하였다. 이 장치는 부피가 서로 다른 여러 개의 진공용기, 배기장치, 진공게이지, 온도계, 그리고 밸브 등 많은 부품들로 구성되어 있을 뿐만 아니라 복잡한 측정방법 때문에 자동화가 꼭 필요하다. 개발한 자동화 장치의 성능 평가를 위하여 진공용기의 부피율을 측정하고 용량형 격막식 진공게이지를 교정해 보았다.
International journal of advanced smart convergence
/
제11권4호
/
pp.88-95
/
2022
Vacuum simulation is associated with the prediction and calculation of how materials, pumps and systems will perform using mathematical equations. In this investigation, three different high vacuum systems were simulated and estimated with each vacuum characteristics by VacTran simulator. In each of modelled vacuum systems, selection of gas loads into vessel, combination of rough and high vacuum pumps and dimension of conductance elements were proposed as system variables. In pump station model, the pumping speed to pressures by the combination of root pump was analyzed under the variations of vessel volume. In this study, the effects of outgassing dependent on vessel materials was also simulated and aluminum vessel was estimated to optimum materials. It was obtained from the modelling with diffusion pump that the diameter, length of 50×250[mm]roughing line was characterized as optimum variables to reach the ultimate pressure of 10E-7[torr]. Optimum design factors for vacuum characteristics of modelled vacuum system were achieved by VacTran simulator. Feasibility of VacTran as vacuum simulator was verified and applications of VacTran in high tech process expected to be increased.
In the present study, we proposed a simulation model of vacuum booster with AMESIM software to predict the output characteristic. And we performed the sensitivity analysis of output characteristic with main design parameters, such as diaphragm diameter. All of these parameters are main design parameters in the procedure of vacuum booster design. The simulation results of this paper offer qualitative information of vacuum booster output. Therefore, the simulation results of this paper will be used effectively for the design procedure of vacuum booster in the industrial field.
A vacuum chamber temperature control system of Pohang Accelerator Laboratory (PAL) storage ring is a subsystem upgraded PAL control system, which is based upon Experimental Physics and Industrial Control System (EPICS) [1]. There are two control components, data acquisition system (SA120 data logger), development control system IOC (Input/Output Controller) at the storage ring of PAL. There are 240 vacuum chamber at the storage ring. It was a very important problem to solve how to monitor such a large number of vacuum chamber temperature distributed around the ring. The IOC connect MODBUS/JBUS field network to asynchronous serial ports for communication with serial device. It can simultaneously control up to 4 data acquisition systems. Upon receiving a command from a IOC running under Windows2k through the network, the IOC communicate through the slave serial interface ports to SA120. We added some software components on the top of EPICS toolkit. The design of the vacuum control system is discussed. This paper describes the development vacuum chamber temperature control system and how the design of this system.
본 웹사이트에 게시된 이메일 주소가 전자우편 수집 프로그램이나
그 밖의 기술적 장치를 이용하여 무단으로 수집되는 것을 거부하며,
이를 위반시 정보통신망법에 의해 형사 처벌됨을 유념하시기 바랍니다.
[게시일 2004년 10월 1일]
이용약관
제 1 장 총칙
제 1 조 (목적)
이 이용약관은 KoreaScience 홈페이지(이하 “당 사이트”)에서 제공하는 인터넷 서비스(이하 '서비스')의 가입조건 및 이용에 관한 제반 사항과 기타 필요한 사항을 구체적으로 규정함을 목적으로 합니다.
제 2 조 (용어의 정의)
① "이용자"라 함은 당 사이트에 접속하여 이 약관에 따라 당 사이트가 제공하는 서비스를 받는 회원 및 비회원을
말합니다.
② "회원"이라 함은 서비스를 이용하기 위하여 당 사이트에 개인정보를 제공하여 아이디(ID)와 비밀번호를 부여
받은 자를 말합니다.
③ "회원 아이디(ID)"라 함은 회원의 식별 및 서비스 이용을 위하여 자신이 선정한 문자 및 숫자의 조합을
말합니다.
④ "비밀번호(패스워드)"라 함은 회원이 자신의 비밀보호를 위하여 선정한 문자 및 숫자의 조합을 말합니다.
제 3 조 (이용약관의 효력 및 변경)
① 이 약관은 당 사이트에 게시하거나 기타의 방법으로 회원에게 공지함으로써 효력이 발생합니다.
② 당 사이트는 이 약관을 개정할 경우에 적용일자 및 개정사유를 명시하여 현행 약관과 함께 당 사이트의
초기화면에 그 적용일자 7일 이전부터 적용일자 전일까지 공지합니다. 다만, 회원에게 불리하게 약관내용을
변경하는 경우에는 최소한 30일 이상의 사전 유예기간을 두고 공지합니다. 이 경우 당 사이트는 개정 전
내용과 개정 후 내용을 명확하게 비교하여 이용자가 알기 쉽도록 표시합니다.
제 4 조(약관 외 준칙)
① 이 약관은 당 사이트가 제공하는 서비스에 관한 이용안내와 함께 적용됩니다.
② 이 약관에 명시되지 아니한 사항은 관계법령의 규정이 적용됩니다.
제 2 장 이용계약의 체결
제 5 조 (이용계약의 성립 등)
① 이용계약은 이용고객이 당 사이트가 정한 약관에 「동의합니다」를 선택하고, 당 사이트가 정한
온라인신청양식을 작성하여 서비스 이용을 신청한 후, 당 사이트가 이를 승낙함으로써 성립합니다.
② 제1항의 승낙은 당 사이트가 제공하는 과학기술정보검색, 맞춤정보, 서지정보 등 다른 서비스의 이용승낙을
포함합니다.
제 6 조 (회원가입)
서비스를 이용하고자 하는 고객은 당 사이트에서 정한 회원가입양식에 개인정보를 기재하여 가입을 하여야 합니다.
제 7 조 (개인정보의 보호 및 사용)
당 사이트는 관계법령이 정하는 바에 따라 회원 등록정보를 포함한 회원의 개인정보를 보호하기 위해 노력합니다. 회원 개인정보의 보호 및 사용에 대해서는 관련법령 및 당 사이트의 개인정보 보호정책이 적용됩니다.
제 8 조 (이용 신청의 승낙과 제한)
① 당 사이트는 제6조의 규정에 의한 이용신청고객에 대하여 서비스 이용을 승낙합니다.
② 당 사이트는 아래사항에 해당하는 경우에 대해서 승낙하지 아니 합니다.
- 이용계약 신청서의 내용을 허위로 기재한 경우
- 기타 규정한 제반사항을 위반하며 신청하는 경우
제 9 조 (회원 ID 부여 및 변경 등)
① 당 사이트는 이용고객에 대하여 약관에 정하는 바에 따라 자신이 선정한 회원 ID를 부여합니다.
② 회원 ID는 원칙적으로 변경이 불가하며 부득이한 사유로 인하여 변경 하고자 하는 경우에는 해당 ID를
해지하고 재가입해야 합니다.
③ 기타 회원 개인정보 관리 및 변경 등에 관한 사항은 서비스별 안내에 정하는 바에 의합니다.
제 3 장 계약 당사자의 의무
제 10 조 (KISTI의 의무)
① 당 사이트는 이용고객이 희망한 서비스 제공 개시일에 특별한 사정이 없는 한 서비스를 이용할 수 있도록
하여야 합니다.
② 당 사이트는 개인정보 보호를 위해 보안시스템을 구축하며 개인정보 보호정책을 공시하고 준수합니다.
③ 당 사이트는 회원으로부터 제기되는 의견이나 불만이 정당하다고 객관적으로 인정될 경우에는 적절한 절차를
거쳐 즉시 처리하여야 합니다. 다만, 즉시 처리가 곤란한 경우는 회원에게 그 사유와 처리일정을 통보하여야
합니다.
제 11 조 (회원의 의무)
① 이용자는 회원가입 신청 또는 회원정보 변경 시 실명으로 모든 사항을 사실에 근거하여 작성하여야 하며,
허위 또는 타인의 정보를 등록할 경우 일체의 권리를 주장할 수 없습니다.
② 당 사이트가 관계법령 및 개인정보 보호정책에 의거하여 그 책임을 지는 경우를 제외하고 회원에게 부여된
ID의 비밀번호 관리소홀, 부정사용에 의하여 발생하는 모든 결과에 대한 책임은 회원에게 있습니다.
③ 회원은 당 사이트 및 제 3자의 지적 재산권을 침해해서는 안 됩니다.
제 4 장 서비스의 이용
제 12 조 (서비스 이용 시간)
① 서비스 이용은 당 사이트의 업무상 또는 기술상 특별한 지장이 없는 한 연중무휴, 1일 24시간 운영을
원칙으로 합니다. 단, 당 사이트는 시스템 정기점검, 증설 및 교체를 위해 당 사이트가 정한 날이나 시간에
서비스를 일시 중단할 수 있으며, 예정되어 있는 작업으로 인한 서비스 일시중단은 당 사이트 홈페이지를
통해 사전에 공지합니다.
② 당 사이트는 서비스를 특정범위로 분할하여 각 범위별로 이용가능시간을 별도로 지정할 수 있습니다. 다만
이 경우 그 내용을 공지합니다.
제 13 조 (홈페이지 저작권)
① NDSL에서 제공하는 모든 저작물의 저작권은 원저작자에게 있으며, KISTI는 복제/배포/전송권을 확보하고
있습니다.
② NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 상업적 및 기타 영리목적으로 복제/배포/전송할 경우 사전에 KISTI의 허락을
받아야 합니다.
③ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 보도, 비평, 교육, 연구 등을 위하여 정당한 범위 안에서 공정한 관행에
합치되게 인용할 수 있습니다.
④ NDSL에서 제공하는 콘텐츠를 무단 복제, 전송, 배포 기타 저작권법에 위반되는 방법으로 이용할 경우
저작권법 제136조에 따라 5년 이하의 징역 또는 5천만 원 이하의 벌금에 처해질 수 있습니다.
제 14 조 (유료서비스)
① 당 사이트 및 협력기관이 정한 유료서비스(원문복사 등)는 별도로 정해진 바에 따르며, 변경사항은 시행 전에
당 사이트 홈페이지를 통하여 회원에게 공지합니다.
② 유료서비스를 이용하려는 회원은 정해진 요금체계에 따라 요금을 납부해야 합니다.
제 5 장 계약 해지 및 이용 제한
제 15 조 (계약 해지)
회원이 이용계약을 해지하고자 하는 때에는 [가입해지] 메뉴를 이용해 직접 해지해야 합니다.
제 16 조 (서비스 이용제한)
① 당 사이트는 회원이 서비스 이용내용에 있어서 본 약관 제 11조 내용을 위반하거나, 다음 각 호에 해당하는
경우 서비스 이용을 제한할 수 있습니다.
- 2년 이상 서비스를 이용한 적이 없는 경우
- 기타 정상적인 서비스 운영에 방해가 될 경우
② 상기 이용제한 규정에 따라 서비스를 이용하는 회원에게 서비스 이용에 대하여 별도 공지 없이 서비스 이용의
일시정지, 이용계약 해지 할 수 있습니다.
제 17 조 (전자우편주소 수집 금지)
회원은 전자우편주소 추출기 등을 이용하여 전자우편주소를 수집 또는 제3자에게 제공할 수 없습니다.
제 6 장 손해배상 및 기타사항
제 18 조 (손해배상)
당 사이트는 무료로 제공되는 서비스와 관련하여 회원에게 어떠한 손해가 발생하더라도 당 사이트가 고의 또는 과실로 인한 손해발생을 제외하고는 이에 대하여 책임을 부담하지 아니합니다.
제 19 조 (관할 법원)
서비스 이용으로 발생한 분쟁에 대해 소송이 제기되는 경우 민사 소송법상의 관할 법원에 제기합니다.
[부 칙]
1. (시행일) 이 약관은 2016년 9월 5일부터 적용되며, 종전 약관은 본 약관으로 대체되며, 개정된 약관의 적용일 이전 가입자도 개정된 약관의 적용을 받습니다.