Journal of the Korean Vacuum Society (한국진공학회지)

The Korean Vacuum Society (한국진공학회)
권호 표지

A study on the system automation of medium-vacuum standard

중진공 표준기 자동화에 관한 연구

  • 홍승수 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 임인태 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 신용현 (한국표준과학연구원 진공기술센터) ;
  • 정광화 (한국표준과학연구원 진공기술센터)
  • Published : 2003.12.01
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Abstract

We have developed the hardware and software for automation of the national medium vacuum standard. The automation is necessary to control and monitor the complex system consists of several vacuum chambers, pumping systems, vacuum gauges, thermometers, and valves. By using the automation program, we have measured volume ratios of the system and performed calibration of a capacitance diaphragm gauge in order to evaluate the system.

중진공 국가표준기의 자동화를 위한 하드웨어 및 측정 프로그램 개발에 관한 연구를 수행하였다. 이 장치는 부피가 서로 다른 여러 개의 진공용기, 배기장치, 진공게이지, 온도계, 그리고 밸브 등 많은 부품들로 구성되어 있을 뿐만 아니라 복잡한 측정방법 때문에 자동화가 꼭 필요하다. 개발한 자동화 장치의 성능 평가를 위하여 진공용기의 부피율을 측정하고 용량형 격막식 진공게이지를 교정해 보았다.

Keywords

References

  1. Metrologia v.39 A.Miiller
  2. J. Vac. Soc. v.32 no.3 M.Hirata
  3. J. Vac. Soc. v.38 no.3 M.Hirata
  4. 새물리 v.44 홍승수;최상철;임인태;신용현;정광화
  5. NPL report K.W.T.Elliot;P.B.Clapham
  6. 한국징공학회지 v.5 홍승수;신용현;정광화