• 제목/요약/키워드: Uniform Process

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ADP Dry Etcher 장비개발의 현황 (ADP DRY ETCHER TECHNOLOGY)

  • 김정태
    • 한국반도체및디스플레이장비학회:학술대회논문집
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    • 한국반도체및디스플레이장비학회 2008년도 춘계학술대회
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    • pp.23-29
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    • 2008
  • - High Density Plasma Source-CCP-Dual/Triple, RF Frequency Control - Radical/Flux Analysis - Low Pressure Process - Chamber Design (Process gap/Wall gap) - Chamber Temp. Control. - ESC Dielectric Materials - Uniform Gas Injection

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웨이퍼 본딩 장비용 Uniform Press 개발 (Development of Uniform Press for Wafer Bonder)

  • 이창우;하태호;이재학;김승만;김용진;김동훈
    • 대한기계학회논문집 C: 기술과 교육
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    • 제3권4호
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    • pp.265-271
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    • 2015
  • 스마트폰을 비롯한 고성능 모바일 전자기기의 발전에 따라서 경박단소한 전자부품의 요구가 커지고 있으며 이를 위해서 새로운 패키징 방법이 탄생하고 있다. 이러한 새로운 패키징 공정에서 웨이퍼 본딩 공정이 많이 요구되고 있다. 웨이퍼 본딩에서 많이 활용되는 방법이 열 압착 방법으로 가열된 헤드로 웨이퍼에 압력을 가하여 본딩하는 방법이다. 열 압착 방법에서 요구되는 공정조건은 온도 균일성과 Uniform Press이다. 온도 균일성은 마이크로 히터와 열 해석을 통한 설계로 비교적 쉽게 요구조건을 만족 시킬 수 있지만 Uniform Press를 가공과 조립으로만 요구조건을 만족시키기 위해서는 매우 높은 정밀도가 요구된다. 열 압착 방법은 고온에서 동작되므로 열 변형에 대한 기계적인 오차를 고려하여 설계, 가공, 조립이 진행되어야하므로 많은 어려움이 따른다. 본 연구에서는 Air 스프링과 Metal Form의 자가 보정장치를 이용하여 가공, 조립, 열 변형으로 발생하는 기계적 오차를 보상하여 성능과 신뢰성을 향상시켰다.

전통 국기복 디자인 개발에 관한 연구 - 씨름복을 중심으로 - (A Research on the Development of Design for Traditional Active Sports Wear - Focusing on Korean Wrestling Uniform -)

  • 윤을요;박선경
    • 디자인학연구
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    • 제19권1호
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    • pp.5-14
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    • 2006
  • 본 논문은 씨름복 디자인의 미학적 고찰에 관한 후속 연구로서, 씨름복 개발에 대한 실질적인 디자인 전개에 관한 내용이다. 연구의 과정 및 내용은 기초연구의 결론을 토대로 진행하였으며, 구체적인 사례로 전통 씨름을 문화 상품으로 승화시켜 부가가치를 누리고 있는 일본의 씨름 및 씨름복에 관한 문화 마케팅 전략에 대하여 고찰하고, 이를 우리나라의 씨름복과 비교 분석하였다. 또한 실질적인 디자인은 컨셉을 중심으로 색상, 소재, 스타일로 나누어 연구하였다. 씨름복 디자인에 있어서 가장 중요한 요소는 전통성과 현대성의 조화이다. 민족적 정서가 내재되어 있으면서도, 현대적인 시대정신이 잘 표현되어 있는 디자인, 현대적인 스포츠마케팅과 조화된 체계적이고 일관성 있는 디자인의 운용과 관리가 무엇보다도 중요하다. 본 논문은 앞서 고찰한 씨름복의 미적 요소를 근간으로 하나의 일관된 컨셉을 통해 씨름복 디자인을 전개함으로써 전통 국기복은 물론 전통 문화상품 디자인에 관한 표본적 예시로서 의미를 지닌다고 하겠다.

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수평 배관의 메탄 폭발특성에 있어서 불균일성 혼합기의 영향 (Influence of Mixture Non-uniformity on Methane Explosion Characteristics in a Horizontal Duct)

  • 한우섭;최이락;김형욱;임진호
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제62권1호
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    • pp.27-35
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    • 2024
  • 메탄, 프로판 등을 주성분으로 하는 연료가스는 폭발위험장소에서 사용될 수 있으며, 누출로 인한 공정조건의 영향으로 불균일한 혼합기를 형성할 수 있다. 균일한 혼합기를 대상으로 측정된 문헌 데이터를 이용한 화재 폭발 위험성 평가, 손상 예측은 가스 누출에 의한 실제 폭발 사고와 다른 결과를 얻을 수 있다. 본 연구에서는 가스 누출시 나타날 수 있는 농도 변화에 있어서 불균일성 혼합기의 폭발압력, 화염속도 등의 폭발특성을 조사하였다. 길이 0.82 m의 스테인리스 재질의 밀폐 배관에서 수행하였으며 컬러 초고속 카메라 및 압력 센서를 사용하여 관찰하였다. 또한 배관 내의 시간에 따른 농도차이 변화에 대해 회귀분석 모델을 사용하여 불균일 혼합물의 정량화 방법을 제안하였다. 본 연구의 농도 불균일성 조건에 있어서 메탄 폭발 시 전파화염은 불균일성 농도가 높아짐에 따라 화염 면적의 증가가 관찰되었고 이는 난류 화염의 주름진 화염 구조와 유사하였다. 메탄의 최대압력까지 걸리는 소요시간은 불균일성이 클수록 감소하였고, 폭발압력은 불균일성이 클수록 증가하였다. 농도가 불균일한 메탄의 KG(폭연지수)의 범위는 1.30~1.58 [MPa·m/s]으로서 메탄의 농도가 균일성에서 불균일성로 변화하면서 17.7% 증가하였다.

열 화학 기상 증착법을 이용한 삼극관 구조의 탄소 나노 튜브 전계 방출 소자의 제조 (Fabrication of Triode Type Field Emission Device Using Carbon Nanotubes Synthesized by Thermal Chemical Vapor Deposition)

  • 유완준;조유석;최규석;김도진
    • 한국재료학회지
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    • 제14권8호
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    • pp.542-546
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    • 2004
  • We report a new fabrication process for high performance triode type CNT field emitters and their superior electrical properties. The CNT-based triode-type field emitter structure was fabricated by the conventional semiconductor processes. The keys of the fabrication process are spin-on-glass coating and trim-and-leveling of the carbon nanotubes grown in trench structures by employing a chemical mechanical polishing process. They lead to strong adhesion and a uniform distance from the carbon nanotube tips to the electrode. The measured emission property of the arrays showed a remarkably uniform and high current density. The gate leakage current could be remarkably reduced by coating of thin $SiO_{2}$ insulating layer over the gate metal. The field enhancement factor(${\beta}$) and emission area(${\alpha}$) were calculated from the F-N plot. This process can be applicable to fabrication of high power CNT vacuum transistors with good electrical performance.

A modified RBSM for simulating the failure process of RC structures

  • Zhao, Chao;Zhong, Xingu;Liu, Bo;Shu, Xiaojuan;Shen, Mingyan
    • Computers and Concrete
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    • 제21권2호
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    • pp.219-229
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    • 2018
  • In this paper, a modified rigid body spring model (RBSM) is proposed and used to analyze the damage and failure process of reinforced concrete (RC) structures. In the proposed model, the concrete is represented by an assembly of rigid blocks connected with a uniform distribution of normal and tangential springs to simulate the macroscopic mechanical behavior of concrete. Steel bars are evenly dispersed into rigid blocks as a kind of homogeneous axial material, and an additional uniform distribution of axial and dowel springs is defined to consider the axial stiffness and dowel action of steel bars. Perfect bond between the concrete and steel bars is assumed, and tension stiffening effect of steel bars is modeled by adjusting the constitutive relationship for the tensile reinforcement. Adjacent blocks are allowed to separate at the contact interface, which makes it convenient and easy to simulate the cracking process of concrete. The failure of the springs is determined by the Mohr-Coulomb type criterion with the tension and compression caps. The effectiveness of the proposed method is confirmed by elastic analyses of a cantilever beam under different loading conditions and failure analyses of a RC beam under two-point loading.

경량 마그네슘 합금(AZ31B)의 도금층 형성 연구 (Study of Plating Layer Formation of Lightweight Magnesium Alloy (AZ31B))

  • 최경수;최순돈;민봉기;이승현;신현준
    • 한국표면공학회지
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    • 제44권6호
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    • pp.239-245
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    • 2011
  • Magnesium alloys is the lightest by structural metals, but it is not good corrosion resistant because of pit, void. Particularly, AZ31B magnesium alloy sheets that have slag, scratch by rolling process indicate some defects. The objective of this research is to perform uniform plating on AZ31B by studying etching and zincate process. Especially, zincate treatment by zinc salt and pyrophosphate is the most important in the decoration plating. Dissolution of magnesium is reduced by the formation of uniform zinc conversion layer during strick and post process, which decreases defects for plating process.

충격압출 공정을 이용한 직사각형 배터리 케이스 성형 시 불균일 금속 유동 발생 원인 고찰 (An investigation of non-uniform metal flow during rectangular battery case using impact extrusion process)

  • 임재혁;김용배;이종섭
    • Design & Manufacturing
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    • 제10권2호
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    • pp.24-28
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    • 2016
  • In this study, relevant to impact extrusion process of the rectangular batter case for electric vehicles, numerical and experimental analyses were conducted to reduce the earring defects induced in the unevenness of metal flow. Since the earring is caused by the non-uniform metal flow induced in the friction and aspect ratio in the bottom section. As a way to reduce the earring, variable land die concept was applied. In order to analyze numerically the complex metal flow by using commercial finite element package, DEFORM 3D, impact extrusion process was simplified in upsetting mode at bottom section and extrusion mode at land section. The impact extrusion experiments were conducted to verify the assessment of process parameter for impact extrusion. As results, variable land die which has longer longitudinal section makes reduce earring defects. In addition, it was confirmed that the effect that slug shape like dog-bone also can reduce the earring. This study is expected to be able to present the useful design guidelines for manufacturing the battery case.

Prevention of Crack Formation by Changing Tool Shapes in Powder Compaction Process

  • Pang, Y.C.;Lee, H.C.
    • 한국분말야금학회:학술대회논문집
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    • 한국분말야금학회 2006년도 Extended Abstracts of 2006 POWDER METALLURGY World Congress Part 1
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    • pp.30-31
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    • 2006
  • In a multi-action tooling system, which is usually used for the powder compaction process to fabricate the complex multilevel parts, crack formation is crucially detrimental and should be avoided. Among various process factors, tool shape is an important factor to prevent the crack formation during powder compaction process. In this work, the effects of different tool shapes were investigated through the experimental oberservation of pore distribution in real products and the finite element analysis of residual stresses. The results were interpreted based on non-uniform powder density in the compacted parts.

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유기화학적 방법에 의한 제조된 ZnO 바리스터의 특성 (Characteristics of ZnO Varistors Prepared by Organiz Process)

  • 안충선;심영재;조성걸;조병두
    • 한국세라믹학회지
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    • 제29권4호
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    • pp.253-258
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    • 1992
  • ZnO varistors were prepared by the organochemical method which used citric acid and ethylene glycol as gelling agents. The microstructure of the sintered specimens exhibited small grains, uniform grain size distribution, and few intragranular pores. Thermal decomposition of the organic resin formed during the powder preparation process was completed around 450$^{\circ}C$. No significant changes were observed in microstructure and current voltage characteristic with respect to calcination temperatures. A major advantage of the organochemical method used in this experiment is a possible uniform mixing of trace amounts of dopants. Therefore, this powder preparation method seems promising in investigating the effect of Li or In ion, which is added in ppm level to ZnO varistors, on the pulse respose characteristic.

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