A Study on Characteristics of TiN Thin Films Deposited by Unbalanced Magnetron Sputtering Method for the Application of Diffusion Barrier Layers in Displays (디스플레이 확산 방지층 응용을 위한 비대칭 마그네트론 스퍼터로 증착된 질화 티타늄 박막의 특성에 대한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.32 no.2
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- pp.129-133
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- 2019