펄스 레이저 증착법을 이용하여 ZnO 박막을 quartz 기판 위에 증착하였으며, 기판 온도에 따른 박막의 구조적 및 광학적 특성을 조사하였다. 기판 온도 변화에 관계없이 모든 박막이 (002) 방향으로 성장하였으며, 400 $^{\circ}C$ 에서 반가폭은 0.24$^{\circ}$로 가장 우수한 결정성을 갖는 박막이 제작되었다. 또, 박막의 발광 특성을 조사한 결과, 모든 박막에서 UV 발광 피크와 deep-level 발광 피크가 관찰되었으며, 기판 온도에 따른 발광 피크의 변화가 관찰되었다. 가장 우수한 UV 발광 특성은 400 $^{\circ}C$ 에서 관찰되었으며, 반가폭은 14 nm 였다. 기판 온도에 무관하게 가시광 영역에서 약 85 % 정도의 투과도를 나타내었다. 투과도 측정을 통하여 얻은 광학 밴드갭 에너지와 UV 발광 중심 값을 비교한 결과, 두가지 결과 값들이 서로 유사한 값을 나타냈다. 이로부터 UV 발광 중심 값이 ZnO 의 near band edge emission 을 나타낸다는 사실을 알 수 있었다.
International Journal of Precision Engineering and Manufacturing
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제6권3호
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pp.19-23
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2005
To minimize the weld defect in manufacturing of the welded tube by using $CO_2$ laser, the monitoring of the welding quality and the seam tracking along the butt-joint lengthwise to the tube axis are studied. The longitudinal butt-joint is shaped from $60kgf/mm^2$ grade steel sheet by 2 roll bending method, and welded by the $CO_2$ laser welding system equipped with the seam tracker and plasma sensor. The laser welded tube has the thickness of 1.5mm, diameter of 105.4mm and length of 2000mm. The precise positioning of the laser beam on the butt-joint to be assembled is obtained within $200{\mu}m$ by the laser vision sensor. The artificial defects in the butt-joint are well observed by the signal of plasma intensity measured from the plasma sensor of UV wavelength range within 400nm. The developed $CO_2$ laser tube welding system has the function of the precision seam tracking and the real-time monitoring of the welding quality. In conclusion, the laser welded tube can be used for manufacturing of automobile chassis and components after hydro-forming.
The friction force of patterned needle in elastomer have been investigated to verify the application for bio and plastic industry. The micro pattern on the needle surface were prepared by 266 nm, 20 ns laser and 800 nm, 220 fs laser, which were able to generate the different surface roughness. The friction force was measured by the load cell of 10 N capacity. As the results, the friction force of no patterned needle is almost constant during the needle penetrates the silicone rubber sample. However, the needle having asperities shows the variation of the friction force. The higher the surface roughness is, the smaller the friction force is until the surface roughness is very high. In our experiment conditions, the reduction of the friction force by 20 % compared to no pattern needle was achieved with straight and $50{\mu}m$ discrete line generated by 266 nm, 20 ns laser.
The burr of micro drilling and micro cutting on thin metal film is a major obstacle to mass production for micro PCB boards in micro technologies of personal computing and telecom explosion. As the burr affects on the assembling process, it is necessary to study continuously on control or elimination of the burr. In order to get higher valued products, it is also needed to competitive techniques with the high resolution. In this paper, we studied experimentally the burr generation that when it is processed on the copper foil by laser in micro-hole machining. Unlike mechanical machining the burr produced on substrate is a resultants of melt and re-solidification of a melten metal which was heated and treated by laser. And higher laser energy increases the size of burr. Therefor in micro-drilling with laser, it is difficult to reduce the effects of burr for very thin metal sheets. We investigated the stale of the burr and analyzed the laser ablation Cu micro machining with respect to laser intensity and processing time.
Photosensitive amorphous materials are attractive for the formation of several optical elements by a specific laser beam irradiation. For example the optical fiber gratings prepared by UV laser irradiation are one of the key elements for the recent worldwide progress of wavelength division mutiplexing optical fiber network. This paper reviews the representative studies on the photosensitive materials and the origin of photosensitivity in amorphous oxide materials.
A computer simulation code of UV preionized discharge KrF laser is developed, including time dependent circuit equations, boltzmann equations, and plasma kinetic equations for various atomic and molecular species. Rate constants for electron collision processes are calculated with a boltzmann equations as a function of E/N. In this study, we studied mainly the $KrF^*$ formation process, relaxation process, and the 248nm absorption process as a function of charging voltage.
한국정보디스플레이학회 2009년도 9th International Meeting on Information Display
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pp.254-257
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2009
The crystallization and activated annealing effect of Si films using an excimer laser and a new CW blue laser are described comparing with furnace annealing (SPC) for the application of advanced TFTs and future applications. Currently, pulsed ELA is used extensively as a LTPS process on glass substrates as the efficiency is high in UV region for thin Si film of 40- 60 nm thickness. ELA enables extremely low resistivity for both n- and p-typed Si films. On the other hand, CW BLDA enables the smooth Si surface having arbitral grains from micro-grains to anisotropic huge grain structure only controlling its power density.
Transactions on Electrical and Electronic Materials
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제13권5호
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pp.245-247
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2012
In this study, ZnO films have been grown on PES (polyethersulfone) of flexible polymer substrate by PLD (pulsed laser deposition) and characterized for crystalline and optical properties. Growing conditions were changed with substrate temperatures ranging from 50 to $200^{\circ}C$ and laser power density ranging from 0.2 to $0.4J/cm^2$. When ZnO thin films are deposited at low temperature with a small laser power density, the (002) peaks of XRD to signify the crystal quality of ZnO thin films appear to be very weak and the (101) peaks to signify the chemical composition of oxygen and zinc are strong. The (002) peaks increase with the substrate temperature and laser power density because the energy needed for the supply of the combination regarding zinc and oxygen has increased. In this study, the best condition for growing ZnO thin film on PES is at a substrate temperature of $200^{\circ}C$ and with a laser density of $0.3J/cm^2$. The characteristics of PL were measured by UV and green luminescence.
한국마이크로전자및패키징학회 2001년도 The IMAPS-Korea Workshop 2001 Emerging Technology on packaging
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pp.119-126
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2001
Chip-on-glass(COG) mounting of area array electronic packages was attempted by heating the rear surface of a contact pad film deposited on a glass substrate. The pads consisted of an adhesion(i.e. Cr or Ti) and a top coating layer(i.e. Ni or Cu) was heated by an UV laser beam transmitted through the glass substrate. The laser energy absorbed on the pad raised the temperature of a solder ball which is in physical contact with the pad, forming a reflowed solder bump. The effects of the adhesion and top coating layer on the laser reflow soldering were studied by measuring temperature profile of the ball during the laser heating process. The results were discussed based on the measurement of reflectivity of the adhesion layer. In addition, the microstructures of solder bumps and their mechanical properties were examined.
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[게시일 2004년 10월 1일]
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