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ALD 설비의 NH3(Ammonia)누출 시나리오에 대한 내부유동 및 제어 속도 해석 (Analysis of Internal Flow and Control Speed for NH3 (Ammonia) Leakage Scenario of ALD Facility)

  • 이성삼;안형환
    • 한국가스학회지
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    • 제26권5호
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    • pp.22-27
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    • 2022
  • 반도체 생산 설비 중 ALD는 열이나 플라즈마로 분해한 Gas를 Wafer에 증착시켜 원자층을 형성시키는 설비로 주로 인화성 물질인 NH3와 SIH4이 사용된다. 이중 NH3는 연소·폭발 범위가 상한(UFL) 33.6%, 하한(LEL) 15%로 폭발 범위가 비교적 좁지만 많은 양이 갑자기 한곳에 모이면 폭발할 수 있고, 피부에 닿거나 흡입하면 치명적이다. NH3는 ALD Gas inlet의 배관과 전기·기계 기구를 통해 Chamber로 공급되는데 많은 누출 가능점이 존재하여 누출 시 화재·폭발 또는 중독 사고로 이어질 수 있어 NH3 누출 시나리오에 대한 내부 유동과 제어 속도를 이해하고 고환기가 가능한 배기장치를 설계하는 것이 필요하여 본 연구자는 NH3의 누출시나리오를 CFD에 적용하여 내부유동과 제어 속도를 수치 분석하여 설계 시 반영할 수 있도록 하였다.

갈륨 스캔을 이용한 폐암의 치료 후 섬유성 변성과 재발의 감별 (Discrimination of Postradiotherapy Lung Fibrosis from Recurrence by Gallium-67 Scan in Lung Cancer)

  • 류삼열;이재태
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제9권1호
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    • pp.81-85
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    • 1991
  • 폐암의 방사선 치료후 발생하는 치료부위의 섬유성 변성과 암종의 재발의 구별이 어려울때가 많으나 아직 이렇다 할 감별진단 방법이 없다. 경북대학교 병원 치료방사선과에서 1989년 1월부터 1990년 6월까지 방사선 치료를 받은 폐암 환자 중 섬유성 변성이나 재발의 가능성이 높은 22명을 대상으로 Gallium-67 스캔의 유용성을 연구하였다. 대상환자는 편평 세포암 17명, 소세포암이 3명, 선암 2명이었고, 편평 세포암은 약물치료를 하지 않았고, 소세포암은 CAV와 Vp-16및 cis-platin으로 병용치료 하였으며, 선암은 폐엽절제술을 시행하였다. 방사선 치료는 조직형과 병용치료의 양상에 따라 5~6주에 걸쳐 45~60 Gy를 투여하였으며, 치료후 정기적으로추적 검진하였다. 재발과 상관 없이 방사선 폐염이 발생한군에서는 모두 Gallium 축적을 보였고, 12명의 재발 혹은 잔여 종양이 있는 군에서는 11명 이 Gallium 축적을 보였다(92%), 무병상태의 10명 중 방사선 폐염을 가진 5명에서는 Gallium축적이 있었으나, 섬유성 변성만 있는 5명에서는 4명에서 Gallium이 축적되지 않았다(80\%). 섬유성 변성은 모두 치료 종료 후 8개월 이후에 임상적으로 출현되었다. 이 시기에 재발과 섬유성 변성의 구별이 용이하지 않고 치료방침에도 결정적 영향을 미치므로, 치료 후 1년이 지난 환자에서 Gallium-67 scan이 임상적으로 유용할 것으로 사료된다.

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Sodium Amylosulfate의 Salmonella typhi 증식에 대한 영향 (Effect of Sodium Amylosulfate on the Growth of Salmonella typhi)

  • 정윤섭;김성옥;이삼열
    • 대한미생물학회지
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    • 제11권1호
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    • pp.27-32
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    • 1976
  • Sodium amylosulfate(SAS) has been reported to be an effective substance to inactivate the anti-bacterial activity of blood in blood culture media. The advantage of the use of SAS over sodium polyanethol sulfonate(SPS) is that it does not inhibit the growth of some bacteria! species which are known to be inhibited by SPS. As to S. typhi, SPS is reported to enhance the growth, however the effect of SAS on this organism is not known as yet. Using 43 strains of S. typhi, isolated from clinical materials, the authors tried to determine the effect of SAS on this organism. The methods used for this study were : the SPS and SAS paper disk I sensitivity test, tests on the growth in trypticase soy broth(TSB) with SPS and with SAS, and experimental blood culture in SPS and SAS incorporated TSB. The following results were obtined. 1). S. typhi strains with the turbidity of No. 0.5 tube of MacFarland nepherometer were inoculated onto Mueller-Hinton plate and 1mg disk of SPS and SAS were applied. After 24-hour incubation, none of the 43 strains showed inhibition zone by SPS disk, but all of them showed zones by SAS disk with a mean zone diameter of 9.5mm(Table 1). 2) Inocula consisting of one to 54 viable counts of 37 strains were inoculated into three different media; TSB with 0.05% SPS, TSB with 0.05% SAS and TSB alone. After 24-hour incubation the mean of the optical densities of each medium were 0.483, 0.482 and 0.459 respectively, showing that SAS does not inhibit the growth of S. typhi. Moreover it was shown that there was no correlation between the amount of inocula and growth(Table 2 and Fig. 1). 3). Each set of media in 5 ml amounts consisting of one tube of TSB with 0.05% SPS, one tube of TSB with 0.05% SAS and two tubes of TSB were inoculated with 8, 64. 640 and 6400 viable counts of bacteria. Then 0.5 ml of fresh normal blood was added to all tubes except for one tube of TSB. Macroscopic observation after 24 hour incubation showed a heavy growth in all tubes except for the tube of TSB plus blood, which showed only a light growth in the tube of the heaviest inoculum. This result clearly demonstrates that the growth of S. typhi is inhibited by some antibacterial activities of fresh blood, which are counter acted by SPS and SAS(Table 3). Between SPS and SAS, there was no significant difference found(Table 4 and Fig. 2). With all these results it can be postulated that the addition of SAS into a rountine blood culture media may raise the positivity of S. typhi isolation and shorten the incubation period.

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프로필렌의 화재 및 폭발 위험성 평가를 위한 온도 200 ℃에서 산소농도와 압력의 변화에 따른 실험적 연구 (Experimental Study on the Changes in the Oxygen Concentration and the Pressure at Temperature of 200 ℃ for the Assessment of the Risks of Fire and Explosion of Propylene)

  • 최유정;최재욱
    • Korean Chemical Engineering Research
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    • 제58권3호
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    • pp.356-361
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    • 2020
  • 프로필렌은 석유화학제품의 제조 시 기초 유분으로 산업 공정에서 널리 사용되고 있으며, 새로운 물질을 제조하기 위하여 200 ℃ 이상의 온도에서 합성되고 있다. 그러나 프로필렌은 인화성 가스로써 화재 및 폭발의 위험성이 존재하므로, 이를 방지하기 위하여 불활성 가스 중 가격이 저렴하고 공기 중 가장 많이 존재하는 질소를 주입하여 사용한다. 본 연구에서는 프로필렌-질소-산소를 사용하여 온도 200 ℃에서 압력의 변화(0.10 MPa, 0.15 MPa, 0.20 MPa, 0.25 MPa)에 따른 실험적 연구를 수행하였다. 산소농도가 21%일 때 압력이 0.10 MPa에서 0.25 MPa로 상승할수록 폭발 하한계는 2.2%에서 1.9%로감소하였으며, 폭발상한계는 14.8%에서 17.6%로증가하였다. 또한최소산소농도는 10.3%에서 10.0%로 감소하여 압력이 증가할수록 폭발 범위가 넓어져 위험성이 증가하였다. 폭발압력은 압력이 0.10 MPa에서 0.25 MPa로 상승할수록 1.84 MPa에서 6.04 MPa로 증가하였으며, 최대 폭발압력상승속도는 90 MPa/s에서 298 MPa/s로 크게 증가하였다. 고온 및 고압에서는 폭발의 위험성이 증가하므로 프로필렌을 사용하는 사업장의 폭발사고 예방을 위한 기초자료를 제공하고자 한다.

tert-Amylalcohol(TAA)의 물질안전보건자료(MSDS) 연소특성치의 신뢰도 (Reliability of Combustion Properties of MSDS(Material Safety Data Sheet) of tert-Amylalcohol(TAA))

  • 하동명
    • 한국가스학회지
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    • 제23권6호
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    • pp.17-24
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    • 2019
  • 산업현장에서 사용되고 있는 인화성물질의 연소특성치로는 하부/상부인화점. 폭발하한계/상한계, 최소자연발화온도(AIT), 연소점, 최소산소농도(MOC) 등이 있다. 공정 및 근로자 안전을 위해서는 이들 특성치의 정확한 평가가 이루어져야 한다. 본 연구에서는 에폭시수지와 폴리우레탄의 용매, 올레핀의 산화제, 연료용 기름과 바이오물질의 주원료 등으로 다양하게 사용되고 있는 tert-Amylalcohol(TAA)를 선정하였다. 그 이유는 다른 가연성물질에 비해 연소특성치의 신뢰성에 비교 고찰하였다. TAA의 인화점은 밀폐식 Setaflash, Pensky-Martens와 개방식 Tag, Cleveland 장치로 측정하였고, AIT는 ASTM 659E를 사용하였다. 그리고 TAA의 폭발하한계/상한계는 측정된 하부/상부인화점을 이용하여 예측하였다. Setaflash, Pensky-Martens에 의한 인화점은 19 ℃와 21 ℃, Tag와 Cleveland는 각각 28 ℃와 34 ℃, AIT는 437 ℃로 측정되었다. Setaflash에서 측정된 인화점에 의한 폭발하한계/상한계는 1.1 vol%와 11.95 vol%로 계산되었다.

뇌척수액에서의 Listeria monocytogenes 분리 2예 보고 (Two cases of Listeria monocytogenes isolation from celebrospinal fluid)

  • 정윤섭;김윤정;김병수;이귀녕;이삼열
    • 대한미생물학회지
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    • 제13권1호
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    • pp.1-5
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    • 1978
  • Listeria monocytogenes infection was considered a rather rare disease and occurs mostly either in newborn babies or in young children. However, there has been increasing reports of this infection in elderly person with various underlying disease. Recently we have experienced two cases of Listeria meningitis; one in a 4-year-old male with an acute lymphoblastic leukemia, and the other in a 43-year-old female with a breast cancer. Both were on various chemotherapeutic agents for their primary diseases when the organism, L. monocytogenes was found in their celebospinal fluid(CSF). The degree of CSF pleocytosis were quite different by cases. The former case showed a marked increase, $3,350/mm^3$, and the latter slight, $410/mm^3$, Both showed a slight decrease of CSF glucose ranging 39 to 43mg/100ml. It seems that a routine CSF analysis bears a limitted value in the diagnosis or Listeria meningitis. A direct smear of CSF with Gram's stain revealed gram-positive bacilli in one case, but none in the other. Bacterial culture of CSF yielded plenty colonies in one case, but a few in the other. It seems that isolation of L. monocytogenes must not be considered very easy, and a negative direct smear does not necessarily mean a negative culture. The two isolates we obtained showed the typical cultural and biochemical characteristics of L. monocytogenes and were found to belong to serotypes 1b and 4b. It was our experience that the identification of this organism was not very much matter because of its distinct characteristics, but the most important matter was how to think of the possibility of this organism at the begining. The two isolates were both susceptible to cephalothin, chloramphenicol, erythromycin, tetracycline and gentamicin; intermediate to ampicillin, penicillin and kanamycin; and resistant to cloxacillin.

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직접 메탄올 연료전지용 메탄올 센서의 백금 두께의 변화에 따른 전류-전압 특성 변화 (I-V Characteristics of a Methanol Sensor for Direct Methanol fUel Cell(DMFC) as a Function of Deposited Platinum(Pt) Thickness)

  • 양진석;김성일;김춘근;박정호
    • 마이크로전자및패키징학회지
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    • 제14권1호
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    • pp.49-53
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    • 2007
  • 직접 메탄올 연료전지는 간단한 구조와 디자인 그리고 높은 에너지 밀도와 에너지 변환 효율등의 장점으로 인하여 휴대용 장치들의 전력원으로 사용된다. 본 논문에서는 직접 메탄올 연료전지의 연료 농도를 감지하기 위한 얇은 나피온 막과 Pt 촉매전극의 합성으로 만들어진 메탄을 센서를 제작하였다. 제작된 메탄을 센서를 사용하여 메탄올 농도와 촉매전극(Pt)의 두께 변화에 따른 전류-전압 특성을 분석하였다. Pt 촉매전극 10nm, 전압이 1V 이고 메탄올 농도 1, 2, 3M일 때 전류 값이 각각 $1.30{\times}10^{-6}A,\;1.96{\times}10^{-6}A,\;2.80{\times}10^{-6} A$ 이었다. 메탄올 농도를 2M로 고정하고 촉매전극의 두께를 5, 10, 15nm로 변화시켰을 때 전류 값은 각각 $3.06{\times}10^{-6}A,\;1.96{\times}10^{-6}A,\;1.00{\times}10^{-6}A$ 이었다. 촉매전극이 얇을수록 전류가 증가하고 전기화학반응이 더 활발히 일어나는 것으로 사료된다.

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양.음이온교환 크로마토그래피와 유도결합플라스마 원자방출분광법을 이용한 모의 사용후핵연료 중 핵분열생성물 분석 (Determination of Fission Products in Simulated Nuclear Spent Fuels by Cation.Anion Exchange Chromatography and Inductively Coupled Plasma Atomic Emission Spectrometry)

  • 최광순;손세철;표형렬;서무열;김도양;박양순;지광용
    • 분석과학
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    • 제13권4호
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    • pp.446-452
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    • 2000
  • 질산에 잘 녹지 않는 백금족 원소를 포함하고 있는 모의 사용후핵연료(SIMfUEL)를 고압산분해 방법으로 녹였다. 핵분열생성물 원소들은 우라늄과 분리한 다음 유도결합플라스마 원자방출분광법 (ICP-AES)으로 분석하였다. 핵분열생성물 원소들의 피크가 우라늄 스펙트럼으로부터 분광학적 간섭을 받으므로 Mo, Pd, Rh 및 Ru은 양이온교환수지로 Ba, Ce, La, Nd, Rh, Sr, Y 및 Zr는 음이온교환수지로 우라늄과 원소들을 군분리하였다. 사용후핵연료의 조성과 비슷한 모의 핵연료용액을 만들어 양이온 교환수지로 분리한 다음 측정한 회수율은 99-103%이고, 음이온교환수지로 분리하고 측정한 회수율은 이트륨을 제외하고 96.5-107%이었다. 이 방법을 금속원소의 농도가 수백에서 수천 ppm 존재하는 SIMFUEL에 적용하여 측정한 상대표준편차는 1.3-6.7%이었다.

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6MV X선에 있어서 쇄기형 조사야와 개방 조사야 사이의 깊이 선량률의 차이 (Variation in Depth Dose Data between Open and Wedge Fields for 6 MV X-Rays)

  • 우홍;류삼열;박인규
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제7권2호
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    • pp.279-285
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    • 1989
  • Tatcher식에 의하여 조직최대선량비와 깊이선량을 6MV X-선의 중심축상에서 측정하였다. 쐐기형 조사야에 있어서 깊이, 조사야 및 쐐기의 두께 등이 증가할수록 깊이선량은 개방 조사야에 비하여 크기가 증가하였다. 그러나 쐐기형 조사야에 있어서 조직산란보정 계수는 개방 조사야에 비하여 그 차이가 $1\%$ 미만이었다. 두 조사야에 있어서 중심축상의 깊이선량백분률의 차이가 발생하는 것은 쐐기에 의해서 X-선이 강화됨을 의미한다. 같은 각도의 쇄기에서 깊이선량백분률과 산란보정계수의 명목쐐기형 조사야와 유효쐐기형 조사야사이의 차이는 없었다. 개방조사야에서 조사야 $6cm{\times}6cm$, 깊이 7cm의 깊이선량백분률은 명목 또는 유효쐐기형 조사야 보다 $3.26\%$가 더 컸다. 그러나 조사야 $(10cm{\times}10cm)$가 커질수록 깊이선량백분률의 차이는 명목 또는 유효쐐기형 조사야보다 더 증가하였다-선량계측차이는 깊이 7cm에서 $3.56\%$, 12cm에서는 $5.30\%$였다 그러므로 심부종양치료시 선량의 계산이나 모니터세팅은 각 쐐기의 깊이 백분선량률과 투과율을 사용하여야 오차를 줄일 수 있을 것으로 사료된다.

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수술 불가능한 두경부 종양에서 방사선 단독요법과 유도 화학요법 및 방사선 병용요법의 비교 (A Comparision of Radiotherapy Alone with Induction Chemotherapy-Radiotherapy in Inoperable Head and Neck Cancer)

  • 박인규;윤상모;김상보;류삼열;박준식
    • Radiation Oncology Journal
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    • 제9권2호
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    • pp.205-213
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    • 1991
  • 수술불가능한 두경부 종양에서 유도 화학요법의 효과를 알아보기 위해, 저자들은 후향성 조사를 실시하였다. 55명의 환자가 유도 화학요법 및 방사선 병용요법으로 치료를 받았으며, 이 환자군은 방사선 단독요법으로 치료받은 54명의 환자와 비교되었다. 치료에 이용된 화학요법은 CF (cis-platine+5-FU), CVB(cyclophosphamide+vincristine, bleomycin), CAP (cyclophosphamide+adriamycine+prednisolone) 혹은 PVBM(cis-platine+vincristine+ bleomycine+methotrexate)이었다. 유도화학요법의 독성은 미미했고, 주로 오심 및 구토, 점막 염증그리고 골수 억제였다. 화학요법에 대한 주관해율은 $61.8\%$였고, 이중 완전관해율은 $14.5\%$ 그리고 부분관해율은 $47.3\%$로 나타났다. 유도 화학요법 및 방사선 병용요법에 있어서, 국소 치료이후 주관해율은 $87.3\%$(48/55), 이중 완전관해율은 $58.2\%$ (32/55)그리고 부분관해율은 $29.1\%$ (16/55)였다. 방사선 단독요법으로 치료한 군에서는 주관해율 $81.5\%$(44/55), 완전관해율 $50\%$(27/55) 그리고 부분관해율$31.5\%$ (17/55)로 나타났다(p=0.57) . 중앙 추적기간은 유도 화학요법 및 방사선 병용요법으로 치료한 군에서는 17개월, 방사선 단독요법으로 치료한 군에서는 11개월 이었다. 중앙 생존기간은 유도 화학요법 및 방사선 병용요법으로 치료한 군에서는 30개월, 방사선 단독요법으로 치료한 군에서는 24개월이었다(p=0.3). 2년, 3년, 그리고 5년 생존율은 유도 화학요법 및 방사선 병용요법으로 치료한 군에서는 각각 $60.9\%,\;48.6\%,\;42.5\%$로 나타났고, 방사선 단독요법으로 치료한 군에서는 $54.9\%,\;49.9\%,\;49.9\%$로 나타났다(p=0.33). 방사선 단독군과 유도 화학요법 및 방사선 병용요법 군에서 전체 종양의 병기, 원발 종양 및 임파절의 병기, 원발 병소의 위치, 그리고 조직학적 소견에 대하여 비교하여 보았으나, 모든 경우에 있어 생존율에 유의한 차이를 보이지 않았다. 따라서, 저자들은 이 후향성 조사에서 수술 불가능한 두경부 종양에 있어서 유도 화학요법의 이점을 발견하지 못했다.

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