Characteristic Properties of TiN Thin Films Prepared by DC Magnetron Sputtering Method for Hard Coatings (Hard Coating 응용을 위한 DC 마그네트론 스퍼터링 방법을 이용하여 증착한 TiN 박막의 특성에 대한 연구)
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- Journal of the Korean Institute of Electrical and Electronic Material Engineers
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- v.21 no.7
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- pp.660-664
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- 2008